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公开(公告)号:KR1019960014480A
公开(公告)日:1996-05-22
申请号:KR1019940025657
申请日:1994-10-07
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 유광수 , 정형진 , 조남웅 , 정종학
IPC: H01L29/84