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公开(公告)号:KR101980270B1
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:KR1020170073908
申请日:2017-06-13
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 최지원 , 김진상 , 강종윤 , 김성근 , 백승협 , 김상태 , 이원재 , 파르마나렌드라싱 , 이영신
IPC: H01L21/04 , H01L29/45 , H01L21/02