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公开(公告)号:KR102090019B1
公开(公告)日:2020-03-17
申请号:KR1020180072707
申请日:2018-06-25
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 황선빈 , 이동수 , 전대영 , 배수강 , 이승기 , 이상현 , 김태욱
IPC: G03F7/24 , G03F7/20 , H01L27/30 , H01L21/027