니켈·황 화합물을 이용한 리튬이차전지용 전극의 제조방법
    1.
    发明授权
    니켈·황 화합물을 이용한 리튬이차전지용 전극의 제조방법 失效
    니켈황화합물을이용한리튬이차전지용전극의제조방

    公开(公告)号:KR100406979B1

    公开(公告)日:2003-11-28

    申请号:KR1020010025926

    申请日:2001-05-11

    Abstract: PURPOSE: Provided are an electrode for lithium secondary cell using nickel/sulfur compound as electrode active material of lithium secondary cell, and a method for producing the same. CONSTITUTION: The method for producing an electrode for lithium secondary cell comprises the steps of (i) weighing nickel/sulfur compound as an active material, carbon powder as an electric conductor, an ion conductor, and a binder, and stirring the materials in solvent to form slurry, and (ii) drying the slurry to obtain an anode. The nickel/sulfur compound is at least one of NiS, NiS2, Ni7S6, and Ni3S2. The binder is polyethylene oxide when anode for high temperature is to be produced, or polyvinylidene fluoride when anode for ambient temperature is to be produced.

    Abstract translation: 目的:提供一种使用镍/硫化合物作为锂二次电池的电极活性材料的锂二次电池用电极及其制造方法。 构成:锂二次电池用电极的制造方法包括以下工序:(i)称量作为活性物质的镍/硫化合物,作为导电体的碳粉末,离子导体和粘合剂,搅拌溶剂 以形成浆液,和(ii)干燥浆液以获得阳极。 镍/硫化合物是NiS,NiS 2,Ni 7 S 6和Ni 3 S 2中的至少一种。 当生产用于高温的阳极时,粘合剂是聚环氧乙烷,或当要生产用于环境温度的阳极时,是聚偏二氟乙烯。

    표면 및 결합특성이 향상된 질화알루미늄(AIN) 박막의 제조방법
    2.
    发明授权
    표면 및 결합특성이 향상된 질화알루미늄(AIN) 박막의 제조방법 失效
    표면및결합특성이향상된질화알루미늄(AIN)박막의제조방표

    公开(公告)号:KR100372750B1

    公开(公告)日:2003-02-17

    申请号:KR1019990048652

    申请日:1999-11-04

    Abstract: 본 발명은 질화알루미늄 박막을 질소 플라즈마 처리를 하여, 낮은 공정온도에서도 표면 평탄도와 박막내의 화학적, 전기적 특성이 크게 향상된 질화알루미늄 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.
    본 발명에 의하면 기존의 방법보다 더욱 낮은 온도와 짧은 시간에, 박막의 평탄도, 화학적, 전기적 안정성을 뛰어나게 개선시킬 수 있어 표면탄성파 소자 제작시 압전기판재료로서 질화알루미늄의 조건을 만족시킬 수 있으며, 또한 질화갈륨의 완충층으로서 사용될 때도 뛰어난 기능을 할 수 있으리라 본다. 그리고 광학소자로 이용될 때에도 표면이 평탄해 짐에 따라 빛의 산란을 방지할 수 있을 것이며, 화학적 안정성 증가에 따라 실제 보호피막으로 사용될 때에도 부식방지에도 큰 역할을 하게 될 것으로 기대한다.

    Abstract translation: 氮化铝薄层的制造包括在沉积之后使薄层经受微波等离子体。 优选特征:使用选自气态氮,氢和氨的化学反应气体进行等离子体处理。 气体用于将离子加速到薄层上以实现蚀刻效果。 气体可以是氩气,氦气,氖气,氪气或氙气。

    플라즈마 처리를 이용한 질화알루미늄 박막의 안정화 방법
    3.
    发明公开
    플라즈마 처리를 이용한 질화알루미늄 박막의 안정화 방법 无效
    使用等离子体处理来稳定氮化铝薄膜的方法

    公开(公告)号:KR1020010088037A

    公开(公告)日:2001-09-26

    申请号:KR1020000012023

    申请日:2000-03-10

    CPC classification number: C23C14/5826 C23C14/0617 C23C14/5846

    Abstract: PURPOSE: A method for stabilizing an aluminum nitride thin film using plasma treatment is provided to solve the biggest problem of the hydrogen addition, chemical stability, by using microwave plasma treatment, and obtain a high quality aluminum nitride thin film displaying a very high surface flatness by plasma treating a surface flatness improved aluminum nitride thin film. CONSTITUTION: In a process for treating an aluminum nitride thin film, the method for stabilizing an aluminum nitride thin film using plasma treatment comprises the process of performing of plasma treatment after the process of adding hydrogen to the aluminum nitride thin film so as to improve the surface elasticity and stability of the aluminum nitride thin film, wherein a gas used in the plasma treatment is an inert gas selected from nitrogen, argon, helium, neon, krypton or xenon, or a mixed gas in which a gas used in the plasma treatment is an inert gas selected from nitrogen, argon, helium, neon, krypton or xenon is mixed in a volume ratio of nitrogen:inert gas=0.1:0.9 9 - 0.99:0.1, and wherein the conditions of the plasma treatment include 50 to 100 sccm of gas flow used in the plasma treatment, a pressure of 0.5 to 10 Torr, and a reaction time of 1 to 20 minutes.

    Abstract translation: 目的:提供使用等离子体处理来稳定氮化铝薄膜的方法,以解决通过使用微波等离子体处理的氢添加,化学稳定性的最大问题,并获得显示非常高的表面平坦度的高品质氮化铝薄膜 通过等离子体处理表面平整度改善了氮化铝薄膜。 构成:在用于处理氮化铝薄膜的方法中,使用等离子体处理来稳定氮化铝薄膜的方法包括在向氮化铝薄膜添加氢之后进行等离子体处理的方法,以改善 氮化铝薄膜的表面弹性和稳定性,其中在等离子体处理中使用的气体是选自氮,氩,氦,氖,氪或氙的惰性气体,或其中在等离子体处理中使用的气体的混合气体 是选自氮气,氩气,氦气,氖气,氪气或氙气的惰性气体以体积比的氮气:惰性气体= 0.1:0.99-0.99:0.1进行混合,并且其中等离子体处理的条件包括50至100 在等离子体处理中使用的气体流量sccm,压力为0.5〜10托,反应时间为1〜20分钟。

    리튬2차전지용 탄소계 음극소재와 그 제조방법 및 장치(Carboneous material for anodes of rechargeable lithium-ion battery and its synthesis method and apparatus)

    公开(公告)号:KR100269514B1

    公开(公告)日:2000-10-16

    申请号:KR1019980001204

    申请日:1998-01-16

    Abstract: PURPOSE: A carboneous material used as cathode active material of rechargeable lithium ion battery is provided for having remarkably higher recharge/discharge capacity than typical graphite carboneous material. CONSTITUTION: The carboneous material for cathodes of rechargeable lithium ion battery is produced by the vapor-phase deposit method comprising introducing argon gas at 1.0-1.4 l/min and providing 10-100% liquid propane gas as the reaction gas when the temperature reaches 800-1300 deg.C; after the reaction time of 1-5 hours, stopping the introduction of liquid propane gas and maintaining the temperature until the propane gas is completed removed in the reaction pipe; then further introducing argon gas, cooling the pipe, and producing soot as the carboneous material of cathode of the rechargeable battery.

    Abstract translation: 目的:提供用作可再充电锂离子电池的阴极活性材料的碳材料,其具有比典型的石墨碳质材料显着更高的再充电/放电容量。 构成:可再充电锂离子电池阴极用碳材料是通过气相沉积法制备的,包括以1.0-1.4升/分钟的氩气导入,当温度达到800℃时,提供10-100%的液体丙烷气体作为反应气体 -1300℃; 反应时间为1-5小时后,停止引入液体丙烷气体并保持温度,直到丙烷气体完成在反应管中除去; 然后进一步引入氩气,冷却管道,并产生烟炱作为可再充电电池的阴极的碳质材料。

    산화아연/질화알루미늄 2층박막을 이용한 탄성표면과 필터 제조방법
    5.
    发明公开
    산화아연/질화알루미늄 2층박막을 이용한 탄성표면과 필터 제조방법 无效
    使用氧化锌/氮化铝薄膜的弹性表面和过滤器的制备方法

    公开(公告)号:KR1019980083268A

    公开(公告)日:1998-12-05

    申请号:KR1019970018515

    申请日:1997-05-13

    Abstract: 본 발명에서는 스퍼터링방법을 이용하여 실리콘 기판 위에 250W의 RF전원, 8mTorr의 증착압력, 12sccm의 총기체유량, 상온증착이며, 질화알루미늄 박막을 증착할 때는 아르곤과 질소기체의 유량은 모두 6sccm이고 산화아연 박막을 증착할 때 아르곤과 질소기체의 유량은 각각 4sccm, 8sccm의 증착조건에서 연속적으로 제조한 산화아연/질화알루미늄 2층 박막을 이용하여 탄성표면파필터를 제조하였다. 이때 두 박막은 모두 c축 배향성(c-axis preferred orientation)을 가졌다. 최적의 탄성표면파 필터 특성을 나타내는 산화아연 박막의 두께는 8.4㎛(kH=1.0, k=2π/λ)이고 질화알루미늄 박막의 두께는 4.2㎛(kH=0.5)이다. 이렇게 제조한 산화아연/질화알루미늄 2층 박막으로 구성된 탄성표면파필터는 탄성표면파 속도가 4224m/s이고 전기기계 결함계수는 3.23%이었다.

    니켈·황 화합물을 이용한 리튬이차전지용 전극의 제조방법
    6.
    发明公开
    니켈·황 화합물을 이용한 리튬이차전지용 전극의 제조방법 失效
    使用镍和硫化合物的锂二次电池用电极及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020020086156A

    公开(公告)日:2002-11-18

    申请号:KR1020010025926

    申请日:2001-05-11

    Abstract: PURPOSE: Provided are an electrode for lithium secondary cell using nickel/sulfur compound as electrode active material of lithium secondary cell, and a method for producing the same. CONSTITUTION: The method for producing an electrode for lithium secondary cell comprises the steps of (i) weighing nickel/sulfur compound as an active material, carbon powder as an electric conductor, an ion conductor, and a binder, and stirring the materials in solvent to form slurry, and (ii) drying the slurry to obtain an anode. The nickel/sulfur compound is at least one of NiS, NiS2, Ni7S6, and Ni3S2. The binder is polyethylene oxide when anode for high temperature is to be produced, or polyvinylidene fluoride when anode for ambient temperature is to be produced.

    Abstract translation: 目的:提供使用镍/硫化合物作为锂二次电池的电极活性物质的锂二次电池用电极及其制造方法。 构成:锂二次电池用电极的制造方法包括以下步骤:(i)称量镍/硫化合物作为活性物质,碳粉末作为导电体,离子导体和粘合剂,并在溶剂中搅拌该物质 以形成浆料,和(ii)干燥浆料以获得阳极。 镍/硫化合物是NiS,NiS2,Ni7S6和Ni3S2中的至少一种。 当要生产用于高温的阳极时,粘合剂是聚环氧乙烷,或者当生产用于环境温度的阳极时聚偏二氟乙烯。

    플라즈마 처리에 의한 리튬전이금속 산화물 박막의 결정화방법
    7.
    发明授权
    플라즈마 처리에 의한 리튬전이금속 산화물 박막의 결정화방법 失效
    等离子体处理锂过渡金属氧化物薄膜的结晶方法

    公开(公告)号:KR100341407B1

    公开(公告)日:2002-06-22

    申请号:KR1020000023286

    申请日:2000-05-01

    Abstract: 본 발명은 박막형태의 리튬2차전지의 전극용 리튬전이금속 산화물 박막의 결정성과 전기화학적 특성 향상방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마이크로파 또는 라디오 주파수파에 의해 유기된 산소 또는 불활성 기체 플라즈마에 리튬전이금속 산화물 박막을 반응시킴으로써 결정성이 향상된 리튬전이금속 산화물 박막을 얻는 방법에 관한 것이다. 본 발명에서 리튬 박막전지의 전극용 리튬전이금속 산화물 박막은 두께 약 10μm 이하의 박막형태로 LiCoO
    2 , LiNiO
    2 , LiMn
    2 O
    4 , V
    2 O
    5 , V
    6 O
    13 , SnO
    2 , TiS
    2 , LiAl, LiGaO
    2, LiTiO
    2, Li
    3 PO
    4 중에서 선택된 어느 하나이거나 또는 이들을 혼합한 산화물을 실리콘, 알루미나 등의 기판물질 위에 증착한 것으로서 기존의 노열처리방법으로는 상기 산화물 박막을 결정화시키기 위하여 750℃ 이상의 고온에서 수시간 내지 수십시간이 필요하던 문제점을 상기 플라즈마 처리법을 사용하여 400℃ 이하의 저온에서 20분 이내의 시간으로 단축할 수 있으며 종래 유리기판 또는 알루미늄 등의 융점이 낮은 물질을 기판으로 사용할 수 없던 문제점을 해결할 수 있다.

    표면 및 결합특성이 향상된 질화알루미늄(AIN) 박막의 제조방법
    9.
    发明公开
    표면 및 결합특성이 향상된 질화알루미늄(AIN) 박막의 제조방법 失效
    制备具有改进表面的氮化铝薄膜和组合特性的方法

    公开(公告)号:KR1020010045383A

    公开(公告)日:2001-06-05

    申请号:KR1019990048652

    申请日:1999-11-04

    Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an aluminum nitride thin film having an improved surface and combination characteristic is provided to improve a surface planarization at a low process temperature and a chemical and electrical characteristic of the thin film, by processing the aluminum nitride thin film deposited by a low temperature process while using microwave plasma. CONSTITUTION: An aluminum nitride thin film is deposited. A microwave plasma process as a subsequent process of the aluminum nitride thin film is carried out. One of nitrogen gas, hydrogen gas and ammonia gas is selected as chemical reaction gas used in the plasma process.

    Abstract translation: 目的:提供一种具有改进的表面和组合特性的制造氮化铝薄膜的方法,以通过加工沉积的氮化铝薄膜来改善薄膜的低温处理温度和化学和电学特性的表面平坦化, 使用微波等离子体时的低温过程。 构成:沉积氮化铝薄膜。 进行作为氮化铝薄膜的后续工艺的微波等离子体处理。 选择氮气,氢气和氨气中的一种作为等离子体处理中使用的化学反应气体。

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