저온공정에 의한 비정질 실리콘 박막의 결정화 방법
    2.
    发明公开
    저온공정에 의한 비정질 실리콘 박막의 결정화 방법 无效
    低温工艺制备非晶硅薄膜的结晶方法

    公开(公告)号:KR1019990050318A

    公开(公告)日:1999-07-05

    申请号:KR1019970069415

    申请日:1997-12-17

    Abstract: 본 발명은 액정표시장치의 구동소자인 박막트랜지스터에 사용되는 다결정질 실리콘 박막제조를 위한 저온공정에 의한 비정질 실리콘 박막의 결정화 방법에 관한 것이다.
    본 발명은 비정질 실리콘 박막이나, 팔라듐등과 같이 결정화 반응을 촉진시키는 금속을 소량함유하는 비정질 실리콘 박막을 마이크로파 수소 프라즈마 분위기에서 결정화시킴으로써, 기존의 결정화 방법에 비하여 훨씬 낮은 온도와 짧은 시간에 양질의 다결정질 실리콘 박막의 제조가 가능하다.
    이 방법을 박막트랜지스터 소자 제작에 응용함으로써 공정온도의 감소나 공정시간의 단축은 물론 박막트랜지스터 소자 특성의 향상이 가능하다.

    리튬2차전지용 탄소계 음극소재와 그 제조방법 및 장치(Carboneous material for anodes of rechargeable lithium-ion battery and its synthesis method and apparatus)

    公开(公告)号:KR100269514B1

    公开(公告)日:2000-10-16

    申请号:KR1019980001204

    申请日:1998-01-16

    Abstract: PURPOSE: A carboneous material used as cathode active material of rechargeable lithium ion battery is provided for having remarkably higher recharge/discharge capacity than typical graphite carboneous material. CONSTITUTION: The carboneous material for cathodes of rechargeable lithium ion battery is produced by the vapor-phase deposit method comprising introducing argon gas at 1.0-1.4 l/min and providing 10-100% liquid propane gas as the reaction gas when the temperature reaches 800-1300 deg.C; after the reaction time of 1-5 hours, stopping the introduction of liquid propane gas and maintaining the temperature until the propane gas is completed removed in the reaction pipe; then further introducing argon gas, cooling the pipe, and producing soot as the carboneous material of cathode of the rechargeable battery.

    Abstract translation: 目的:提供用作可再充电锂离子电池的阴极活性材料的碳材料,其具有比典型的石墨碳质材料显着更高的再充电/放电容量。 构成:可再充电锂离子电池阴极用碳材料是通过气相沉积法制备的,包括以1.0-1.4升/分钟的氩气导入,当温度达到800℃时,提供10-100%的液体丙烷气体作为反应气体 -1300℃; 反应时间为1-5小时后,停止引入液体丙烷气体并保持温度,直到丙烷气体完成在反应管中除去; 然后进一步引入氩气,冷却管道,并产生烟炱作为可再充电电池的阴极的碳质材料。

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