公开(公告)号：KR100656738B1

公开(公告)日：2006-12-14

申请号：KR1020050123337

申请日：2005-12-14

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 임굉수 ,  권성원 ,  곽중환 ,  박상일 ,  양지환 ,  김상환 ,  이유진 ,  신진국

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18

公开(公告)号：KR100725110B1

公开(公告)日：2007-06-04

申请号：KR1020050123355

申请日：2005-12-14

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 임굉수 ,  권성원 ,  곽중환 ,  박상일 ,  양지환 ,  김상환 ,  이유진 ,  신진국

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0216