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公开(公告)号：KR101347854B1
公开(公告)日：2014-01-07
申请号：KR1020100015005
申请日：2010-02-19
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은, 표면 에너지 차이를 이용한 마이크로 어레이 바이오칩 형성 방법 및 친수성 단백질 샘플을 디스펜싱하는 방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 바이오 칩 제조방법에 있어서, 슬라이드 글라스 일면 전체에 균일하게 소수성 SAM 코팅층을 형성하는 단계; 소수성 SAM 코팅층을 부분적으로 제거하여 표면 에너지 차이를 갖는 마이크로 어레이를 형성하는 단계; 소수성 SAM 코팅층이 제거된 부분에 친수성 코팅층을 형성시키는 단계; 친수성 코팅층에 친수성 단백질 샘플을 디스펜싱하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면에너지 차이를 이용한 바이오칩 제작방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101093592B1
公开(公告)日：2011-12-15
申请号：KR1020090075139
申请日：2009-08-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81C1/00
Abstract: 본 발명은 채널 형성방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 채널 형성방법은, 몰드 표면에, 그 단면이 소정의 가로세로의 비로 되는 복수 개의 홈 형상의 패턴을 소정 간격으로 이격시켜 형성하는 제1 단계, 몰드 표면에, 폴리 디메틸실록산(PDMS(polydimethylsiloxane), 이하 PDMS라 한다.)를 부어 홈 형상의 패턴에 PDMS를 채워, PDMS 몰드를 형성하는 제2 단계, 몰드 표면과 PDMS 몰드를 분리하는 제3 단계를 포함하고, 제3 단계에서는, 복수 개의 홈 형상의 패턴에 의하여 형성된 PDMS 몰드가 반데르 발스 힘에 의하여 그 패턴 간에 서로 들러붙어 채널이 형성된다.
가로세로의 비, PDMS, PDMS 몰드, 반데르 발스 힘-
公开(公告)号：KR101055697B1
公开(公告)日：2011-08-11
申请号：KR1020090072291
申请日：2009-08-06
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
Abstract: 본 발명은 패턴전사방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 패턴전사방법은, 제1 기판 표면에 자기조립 단분자막을 형성하는 제1 단계, 자기조립 단분자막의 소정 부위에 레이저를 조사하여 소정 부위의 상기 자기조립 단분자막을 제거하는 제2 단계, 자기조립 단분자막이 제거된 소정 부위에 전사재료를 올리는 제3 단계, 전사재료와 제2 기판을 소정 간격으로 이격시켜 서로 마주보도록 위치시키는 제4 단계, 제1 기판으로부터 제2 기판 방향으로 레이저를 조사하여, 전사재료를 제2 기판으로 전사하는 제5단계를 포함한다. 제1 단계는, 제1 기판 표면을 소수성 자기조립 단분자막 처리하여 자기조립 단분자막을 형성하고, 제3 단계는, 자기조립 단분자막이 제거된 소정 부위에 전사재료를 딥 코팅 또는 디 웨팅 방법으로 올린다.
자기조립 단분자막, 전사재료, 표면에너지, 패턴전사-
公开(公告)号：KR1020110017597A
公开(公告)日：2011-02-22
申请号：KR1020090075139
申请日：2009-08-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81C1/00
Abstract: PURPOSE: A channel formation method is provided to minimize the process forming micro channels by using polydimethylsiloxane mold. CONSTITUTION: A channel formation method is as follows. A plurality of groove shaped patterns is formed on the surface of a mold to be separated at a regular interval(S100). PDMS is poured into the mold surface to fill the pattern of the groove shape in order to make a PDMS mold(S200). The mold surface and PDMS mold are separated(S300).
Abstract translation: 目的：提供通道形成方法，以通过使用聚二甲基硅氧烷模具最小化形成微通道的工艺。 构成：通道形成方法如下。 以规则的间隔在待分离的模具的表面上形成多个凹槽形图案（S100）。 将PDMS倒入模具表面以填充凹槽形状的图案以制成PDMS模具（S200）。 分离模具表面和PDMS模具（S300）。
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公开(公告)号：KR100816456B1
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：KR1020070001842
申请日：2007-01-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G12B5/00 , H01L21/027
CPC classification number: G12B5/00 , G02F1/1303
Abstract: A tilt stage for a large and heavy load is provided to maintain a flat state of an upper surface of a mold by stably supporting a large and heavy mold, such as an LGP(Light Guide Panel). A tilt stage for a large and heavy load comprises a lower plate(10), plural fixing units(20), a driver(30), and an upper plate(40). The fixing units are attached on the lower plate. The driver is attached to be parallel to the respective fixing units. The upper plate is placed on the respective drivers. The driver includes a horizontal bridge structure, a piezoelectric element, and a vertical half-bridge structure. The piezoelectric element is adjoined with the horizontal bridge structure in a first direction and connected to a voltage source. The vertical half-bridge structure is arranged to trespass the first direction on the horizontal bridge structure and bent upwards.
Abstract translation: 通过稳定地支撑诸如LGP（导光板）的大型和重型模具，提供了大而重的负载的倾斜台，以保持模具上表面的平坦状态。 用于大负重的倾斜台包括下板（10），多个固定单元（20），驱动器（30）和上板（40）。 固定单元安装在下板上。 驾驶员被安装成平行于相应的固定单元。 上板放置在相应的驱动器上。 驱动器包括水平桥结构，压电元件和垂直半桥结构。 压电元件与水平桥结构在第一方向上相邻并连接到电压源。 垂直半桥结构布置成在水平桥结构上侵入第一方向并向上弯曲。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100800387B1
公开(公告)日：2008-02-04
申请号：KR1020060081431
申请日：2006-08-28
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/09
CPC classification number: H01L41/09 , H01L41/0471 , H01L41/0838
Abstract: An amplification mechanism composed of a bride and a lever is provided to secure a required amplification by driving X-, Y-, and Z-axis driving. A bridge is formed on a center of an amplification mechanism. A lever(120) supports both sides of the bridge. First and second piezoelectric devices(130a,130b) are connected to a lower end of the bridge and an inner upper portion of the lever. Lengths of the first and second piezoelectric devices are changeable according to a voltage control. A control unit electrically controls the first and second piezoelectric devices. The bridge is comprised of a first pressurized unit(111) and a second pressurized unit, a third pressurized unit(113), and a supporting unit(114). The first and second pressurized units are connected to the inner upper portion of the lever. The third pressurized unit moves upwardly. The lever is comprised of a first connecting unit(121), a second connecting unit, a first fixing unit(123), and a second fixing unit. The first and second connecting units are connected to the first and second piezoelectric devices. The first and second fixing units are fixed by an amplification mechanism unit.
Abstract translation: 提供由新娘和杠杆组成的放大机构，以通过驱动X，Y和Z轴驱动来确保所需的放大。 在放大机构的中心形成桥。 杠杆（120）支撑桥的两侧。 第一和第二压电装置（130a，130b）连接到桥的下端和杠杆的内部上部。 第一和第二压电装置的长度可根据电压控制而改变。 控制单元电控制第一和第二压电器件。 该桥由第一加压单元（111）和第二加压单元，第三加压单元（113）和支撑单元（114）构成。 第一和第二加压单元连接到杠杆的内部上部。 第三加压单元向上运动。 杠杆包括第一连接单元（121），第二连接单元，第一固定单元（123）和第二固定单元。 第一和第二连接单元连接到第一和第二压电装置。 第一和第二固定单元由放大机构单元固定。
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公开(公告)号：KR101088011B1
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：KR1020090051868
申请日：2009-06-11
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 몰드 및 몰드 제조 방법, 패턴 전사 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 몰드 제조방법은, 몰드 표면을 친수처리하는 친수처리단계;상기 친수처리된 몰드 표면 상에 패턴 마스크를 코팅하는 패턴 마스크 코팅단계; 상기 패턴 마스크를 패터닝하여 상기 몰드 표면이 노출되는 노출영역과 상기 노출영역 사이에 상기 패턴 마스크가 유지되는 패턴 마스크막 영역을 형성하는 패턴마스크 패터닝단계; 상기 노출영역을 에칭하는 에칭단계; 상기 에칭된 노출영역과 상기 패턴 마스크막 영역을 소수처리하는 소수처리단계; 및 상기 패턴 마스크막 영역의 패턴 마스크를 제거하는 패턴 마스크 제거단계를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 패턴 전사 방법은, 몰드의 친수성 표면 상에 친수성 패턴재료를 코팅하는 코팅단계, 친수성 패턴 재료와 기판을 서로 맞대어 가압하는 가압단계, 서로 맞대어진 상태에 레이저 광을 주사하여, 친수성 패턴 재료를 기판 상으로 전사하는 전사단계를 포함한다.
몰드, 패턴 마스크, 패턴 재료, 친수처리, 소수처리-
公开(公告)号：KR1020110095503A
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：KR1020100015005
申请日：2010-02-19
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A method for forming a microarray pattern and a biochip having the pattern are provided to form a hydrophilic coating layer and to minimize material loss. CONSTITUTION: A method for manufacturing a bio-chip using surface energy difference comprise: a step of entirely forming a hydrophobic coating layer onto one side of a slide glass; a step of partially removing the hydrophobic coating layer to form a microarray; a step of dispensing a hydrophobic coating layer-removed hydrophilic protein sample; and a step of uniformly treating with SAM to form a hydrophilic SAM coating layer.
Abstract translation: 目的：提供一种形成微阵列图案的方法和具有该图案的生物芯片，以形成亲水涂层并使材料损失最小化。 构成：使用表面能量差制造生物芯片的方法包括：在载玻片的一侧上完全形成疏水涂层的步骤; 部分去除疏水性涂层以形成微阵列的步骤; 分配去除疏水性涂层的亲水性蛋白质样品的步骤; 以及用SAM均匀处理以形成亲水性SAM涂层的步骤。
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9.发明授权
公开(公告)号：KR101163707B1
公开(公告)日：2012-07-09
申请号：KR1020100015006
申请日：2010-02-19
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은, 초음파를 이용한 비접촉 방식으로 마이크로 어레이 패턴을 형성하는 방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 제 1 항의 마이크로 어레이 형성 시스템을 이용한 마이크로 어레이 형성 방법에 있어서, 하부판에 마이크로 홀을 복수로 구비하는 지그를 제작하는 단계; 지그의 내부에 마이크로 어레이 패턴의 재료가 되는 시약를 투입하는 단계; 초음파 발생기와 연결된 초음파 진동자를 시약에 침지시키는 단계; 하부판을 기판에 특정 간격으로 이격되도록 평행하게 접근시키는 단계; 초음파 발생기를 작동시켜 초음파 진동자의 진동에 의해 초음파가 발생되는 단계; 지그와 기판이 비접촉된 상태에서, 시약이 마이크로 홀을 통해 분사되는 단계; 및 분사된 시약이 기판에 마이크로 어레이 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 비접촉 마이크로 어레이 형성 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101081328B1
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：KR1020090072292
申请日：2009-08-06
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B05D5/00 , H01L21/027
Abstract: 본발명에따른패턴형성방법은, 소정의패턴이형성되어있는몰드표면에소수성박막층을형성하는제1 단계, 소수성박막층과기판을접촉시키는제2 단계, 소수성박막층과기판을대전시키는제3 단계, 소수성박막층과기판사이에패턴재료를공급하여, 패턴재료가모세관현상및 전기이동의힘(electrophoretic force)에의하여소수성박막층과기판사이에충진되는제4 단계, 소수성박막층과기판을떼어내는제5 단계를포함하고, 제1 단계에서형성되는소수성박막층은, 소정의패턴이형성된몰드표면상에소수성자기조립단분자막처리하여형성되는자기조립단분자막(Self-Assembly Monolayer)이고, 소수성박막층이소프트몰드를사용하여형성된경우에는기판을하드기판으로사용하고, 소수성박막층이하드몰드를사용하여형성된경우에는기판을소프트기판으로사용한다.
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