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公开(公告)号：WO2013027900A1
公开(公告)日：2013-02-28
申请号：PCT/KR2011/009928
申请日：2011-12-21
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70408
Abstract: 본 발명은 헤테로다인 간섭 리소그래피 장치 및 그 장치를 이용한 미세패턴 형성방법에 대한 것이다. 두 개 또는 그 이상의 각기 다른 파장을 생성할 수 있는 레이저를 이용하여 간접 현상을 일으켜 나노패턴을 형성하고, 맥놀이 현상에 의한 마이크로 패턴을 동시에 형성할 수 있는 간섭 리소그래피 장치 및 패턴 형성방법에 관한 것이다. 이를 위해 서로 다른 파장을 갖는 레이저 빔을 발생시키는 멀티 레이져 광원부 (100); 레이저 빔을 투과시키거나 반사시키는 빔 분리기 (200); 투과된 레이저 빔의 편광성분을 반전시키는 편광 반전수단 (300); 반전된 레이저 범을 확장시키는 빔 확장기 (400); 및 확장된 레이저 빔과 확장된 레이저 빔의 반사에 의해 서로 간섭을 일으킴으로써 제 1패턴을 형성하고, 서로 다른 파장에 의한 파동의 간섭에 의해 새로운 합성파를 생성함으로써 제 2패턴을 형성하는 패턴 생성부 (500);를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭 리소그래피 장치가 개시된다.
Abstract translation: 外差干涉光刻设备技术领域本发明涉及一种外差干涉光刻设备以及使用其形成微图案的方法。 更具体地说，本发明涉及一种干涉光刻设备和一种形成图案的方法，其中该设备通过使用能够产生两个或更多个波长的激光产生干扰而形成纳米图案，并且通过拍子同时形成微图案 现象。 为此，公开了外差干涉光刻设备，其包括：用于产生具有不同波长的激光束的多激光光源部分（100） 用于传输或反射激光束的分束器（200）; 偏振反转装置（300），用于使发射的激光束的偏振分量反转; 用于扩展反转的激光束的光束扩展器（400） 以及用于通过使扩大的激光束和扩大的激光束的反射彼此干涉来形成第一图案的图案生成部分（500），并且由于波浪干扰而产生新的复合波形成第二图案 通过不同的波长。
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公开(公告)号：WO2013094848A1
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：PCT/KR2012/007161
申请日：2012-09-06
CPC classification number: H01L51/5072 , H01L51/0003 , H01L51/0037 , H01L51/0039 , H01L51/0042 , H01L51/0043 , H01L51/0085 , H01L51/0087 , H01L51/5092 , H01L51/56 , H05B33/10 , H05B33/26
Abstract: 본 발명은 유기발광소자에 관한 것으로, 유리 또는 유연성이 있는 플라스틱으로 형성된 기판(110)과; 상기 기판(110) 상에 형성된 양극(120)과; 상기 양극(120) 상에 형성된 정공수송층(130)과; 상기 정공수송층(130) 상에 형성된 발광층(140)과; 상기 발광층(140) 상에 형성되고, ZnO 나노입자를 포함하는 전자수송층(150)과; 상기 전자수송층(150) 상에 형성되며, 이온기를 포함하거나 자기조립단분자막을 형성하는 표면개질층(160)과; 상기 표면개질층(160) 상에 형성된 음극(170)으로 구성되어, 유기금속잉크 또는 금속나노입자잉크와 같이 용액화 되어있는 금속 소재를 이용하여 전극을 구성하기 위해서 음극과 전자수송층 사이에 자기조립단분자막을 표면개질층으로써 새로이 적용시킴으로써, 전 공정이 용액공정으로 제작이 가능하면서도 충분한 발광 효율을 얻을 수 있는 효과가 있다.
Abstract translation: 本发明涉及有机发光二极管，其包括：由玻璃或柔性塑料形成的基板（110）; 形成在所述基板（110）上的正极（120）; 形成在所述正极（120）上的空穴传输层（130）。 形成在空穴传输层（130）上的发光层（140）。 形成在发光层（140）上并含有ZnO纳米颗粒的电子传输层（150） 形成在所述电子传输层（150）上以包含离子基团或形成自组装单层的表面改性层（160） 和形成在表面改性层（160）上的负极（170）。 作为负极和电子传输层之间的表面改性层，新组装自组装单层，以构成使用有机金属油墨或金属纳米颗粒油墨等溶解金属材料的电极。 因此，整个制造过程可以是解决过程，并且可以实现足够的发光效率。
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公开(公告)号：WO2013065898A1
公开(公告)日：2013-05-10
申请号：PCT/KR2011/009924
申请日：2011-12-21
IPC: B82B3/00
CPC classification number: B22F9/24 , B22F1/0025 , B82Y30/00 , C01G3/02 , C01P2004/16
Abstract: 본 발명은 나노와이어 제조방법, 나노와이어 패턴 형성방법에 관한 것으로서, 구리 나노와이어를 산화시킨 후 레이저를 조사하여 산화된 구리 나노와이어를 환원시킴으로써 소결된 나노와이어를 생성하는 나노와이어 제조방법 및 나노와이어 패턴 형성방법에 관한 것이다. 이를 위해 나노와이어를 산화시킴으로써 산화 나노와이어를 생성하는 단계 (S610); 및 산화 나노와이어를 도포된 환원제와 함께 레이저 조사함으써 소결 및 환원된 나노와이어를 생성하는 단계 (S620);를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노와이어 제조방법이 개시된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种纳米线的制造方法和纳米线图案的形成方法，更具体地，涉及一种纳米线的制造方法以及纳米线图案的形成方法，其中通过氧化纳米线制造烧结纳米线 然后通过暴露于激光来还原氧化铜纳米线。 纳米线的制造方法包括：通过氧化纳米线形成氧化纳米线的步骤（S610）; 以及通过使用涂布的还原剂将氧化的纳米线暴露于激光来形成烧结和还原的纳米线的步骤（S620）。
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公开(公告)号：KR101834917B1
公开(公告)日：2018-03-08
申请号：KR1020160117001
申请日：2016-09-12
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N21/552 , G03F7/20 , G01N21/45
CPC classification number: G01N21/554 , G01N21/45 , G03F7/2053
Abstract: 나노패턴제조방법을개시한다. 본실시예에의하면, 나노패턴제조방법에있어서, 기판상에유기금속화합물잉크층을형성하는과정; 상기유기금속화합물잉크층을반고상으로경화시키는과정; 상기반고상의유기금속화합물잉크층에 4-빔간섭리소그래피를이용하여상기기판상에수직으로교차하는레이저를조사하여패턴이형성될부분을국부적으로경화시켜패턴을형성하는과정; 및상기반고상의유기금속화합물잉크층을제거하여상기패턴을남기는과정을포함하는나노패턴제조방법을제공한다.
Abstract translation: 公开了一种纳米图案制造方法。 根据本实施例，提供了一种制造纳米图案的方法，包括：在基底上形成有机金属化合物油墨层; 将有机金属化合物油墨层固化成半固体相; 使用4光束干涉光刻将垂直交叉的激光照射到衬底上以在半透明衬底上形成有机金属化合物油墨层以通过局部固化待图案化的部分来形成图案; 并去除半绝缘层上的有机金属化合物油墨层以留下图案。
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公开(公告)号：KR101649046B1
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：KR1020140168013
申请日：2014-11-28
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 잉크도포장치및 이에적용되는잉크도포방법이제공된다. 본잉크도포장치는기판상의특정위치에서의전극과의전압을측정하는수단과, 전압이변화되는지점에특정물질을분사하는수단을포함한다. 이에의해, 결함이있는위치의검출과분사기능을하나의장치로통합함으로써, 장비의구조적복잡함을피하고빠른동작수행을가능케하여제조공정의효율성을높일수 있게된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160069799A
公开(公告)日：2016-06-17
申请号：KR1020140175870
申请日：2014-12-09
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L51/56
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/0003 , Y02E10/549
Abstract: 본발명은박막제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는용액공정을기반으로한 박막제조로부터박막의균일도를높이기위한대면적박막제조방법에관한것이다. 본발명에의하면, 매우고 정도(precision)의대면적균일코팅이롤 투롤 공정기반에서쉽게이루어지고, 이에따라서용액공정을기반으로한 유기전자소자를증기증착법으로제작한유기전자소자에준하는고품질의소자를제작할수 있다. 또한, 용액공정으로제작하는유기전자소자제작공정자체의기반을바꿀만 한파괴적인방법이될 것이며, 용액공정유기전자소자의상용화를실현시키는데매우핵심적인기술이될 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造薄膜的方法，更具体地说，涉及一种制造大面积薄膜以提高薄膜均匀性的方法，该方法是通过制造基于溶液的薄膜方案制造的 处理。 该方法包括通过作为一个工艺的溶液处理在基板的一个表面上形成薄膜的步骤，以及在进行溶液涂覆之后以均匀的空气压力处理涂覆表面的步骤。 根据本发明，基于卷对卷方法容易地进行具有高精度的大面积均匀涂布，因此可以制造基于溶液法的有机电子器件，其质量相当于 以蒸镀方式制造的有机电子器件。 此外，本发明提供了一种创新的方法，其可以通过解决方法改变制造有机电子器件的工艺的基础，并且可以是可以使溶液工艺有机电子器件商业化的核心技术。
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公开(公告)号：KR101598583B1
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：KR1020140139791
申请日：2014-10-16
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은다공성금속전극의제조방법, 이에따라제조되는다공성금속전극및 이를포함하는슈퍼커패시터에관한것으로, 상세하게는금속유기화합물잉크를기판상에코팅하는단계(단계 1); 및상기기판상에코팅된금속유기화합물박막에레이저를조사하는단계(단계 2);를포함하는다공성금속전극의제조방법에관한것이다. 본발명에따른다공성금속전극의제조방법에따르면, 금속유기화합물잉크를사용하며, 레이저를조사하는단순한공정을사용하므로제조비용이저렴한장점이있다. 또한, 플래너형태의전극을제조하는경우, 레이저조사를통해전극및 패턴의형성을동시에할 수있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及多孔金属电极的制造方法，由此制造的多孔金属电极和包含该多孔金属电极的超级电容器。 特别地，本发明涉及一种多孔金属电极的制造方法，其特征在于，包括使用金属有机化合物油墨涂布基板的工序（工序1） 以及将激光照射到涂布在基板上的金属有机化合物薄膜的工序（工序2）。 根据本发明的多孔电极的制造方法，由于使用金属有机化合物油墨和照射激光的简单方法，所以制造成本低。 此外，在制造平面形状的电极的情况下，可以通过激光照射在其上形成电极和图案。
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公开(公告)号：KR101356627B1
公开(公告)日：2014-02-04
申请号：KR1020120051377
申请日：2012-05-15
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명의 목적은 코일권선을 제공하는 데 있다. 또한, 본 발명의 목적은 상기 코일권선의 제조방법을 제공하는 데 있다. 이를 위하여 본 발명은 실린더의 외주면에 나선형으로 연속적으로 형성된 홈 내부에 탄소나노튜브와 전도성물질을 포함하는 전도부가 구비되는 것을 특징으로 하는 코일권선을 제공한다. 또한, 실린더의 외주면을 표면처리하는 단계(단계 1), 상기 단계 1의 실린더를 내부에 포함하는 고분자 몰드를 제조하는 단계(단계 2), 상기 단계 2의 몰드를 실린더에서 분리한 후, 몰드의 내주면을 표면처리하는 단계 (단계 3), 상기 단계 3에서 몰드가 분리된 실린더의 외주면에 실린더의 일측 말단에서 시작하여 타측 말단까지 나선형으로 연속적으로 이어진 홈을 가공하는 단계(단계 4), 상기 단계 3에서 분리한 몰드를 가공된 홈을 포함하는 실린더에 덮는 단계(단계 5), 몰드의 내주면과 실린더 외주면의 홈에 의하여 형성되는 공간으로 탄소나노튜브와 전도성 물질을 포함하는 용액을 주입시키는 단계(단계 6) 및 몰드를 제거하는 단계(단계 7)를 포함하는 것을 특징으로 하는 코일권선의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따르면 열적 안정성이 높고, 부피가 작은 코일권선을 제조할 수 있다는 장점이 있다.
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公开(公告)号：KR1020140007531A
公开(公告)日：2014-01-20
申请号：KR1020120074435
申请日：2012-07-09
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01P15/00 , G01P15/097
CPC classification number: G01P15/0975 , G01P15/038 , G01P15/0802 , G01P15/11 , G01P2015/0862
Abstract: Disclosed are a tunable micro-accelerometer sensor using a magneto-rheological fluid and a manufacturing method thereof. The tunable micro-accelerometer sensor using a magneto-rheological fluid is formed in a substrate and its shape is spherical. The tunable micro-accelerometer sensor includes a hollow part of which upper and lower surface are coated with different electrode thin films; a cantilever formed on the substrate; an MR fluid formed in the hollow part; and a resistance vibration repulsion part vibrating up and down by the resistance vibration due to a magnetic field generated in the hollow part, formed in one end of the cantilever, and inserted into the hollow part. The resistance vibration repulsion part is made of an insulating material of a cylindrical shape.
Abstract translation: 公开了使用磁流变流体的可调微加速度传感器及其制造方法。 使用磁流变流体的可调谐微加速度传感器形成在基板中，其形状为球形。 可调微加速度计传感器包括中空部分，其上表面和下表面涂覆有不同的电极薄膜; 在基板上形成悬臂; 形成在中空部分中的MR流体; 以及电阻振动排斥部，其由形成在悬臂的一端的中空部产生的磁场的电阻振动上下反弹，插入中空部。 电阻振动排斥部分由圆柱形绝缘材料制成。
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10.发明授权패턴 형성방법 및 이를 적용한 투명전극, 터치스크린, 태양전지, 마이크로 히터, 투명 박막 트랜지스터, 플렉서블 디스플레이 패널, 플렉서블 태양전지, 전자책, 박막 트랜지스터, 전자파 차폐시트, 플렉서블 인쇄회로기판 有权用于形成图案，透明电极，触摸屏，太阳能电池，微型加热器，透明薄膜晶体管，柔性显示面板，柔性太阳能电池，电子书，薄膜晶体管，电磁屏蔽片，柔性印刷电路板
公开(公告)号：KR101317216B1
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：KR1020110113586
申请日：2011-11-02
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01B13/00 , H01B5/14 , G06F3/041 , H01L29/786
Abstract: 본 발명의 패턴 형성방법은, 탄소나노튜브 용액과 금속잉크와의 혼합물을 만드는 단계; 혼합물을 기판에 코팅하는 단계; 기판을 가열하여 혼합물의 점도를 레이저 조사가 용이하도록 조절하는 단계; 기판에 레이저를 조사하여, 금속잉크의 금속입자가 녹아 탄소나노튜브 용액의 탄소나노튜브를 연결하여, 소정 형상의 패턴을 선택적으로 형성하는 단계; 및 기판을 세척하는 단계;를 포함한다.
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