公开(公告)号：KR101980894B1

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：KR1020170074812

申请日：2017-06-14

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박인규 ,  이정용 ,  권동욱 ,  나광민

IPC: G01L1/24 ,  H01L31/042 ,  C08L83/00

公开(公告)号：KR101927444B1

公开(公告)日：2019-03-12

申请号：KR1020170068881

申请日：2017-06-02

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박인규 ,  강경남 ,  이정용 ,  나광민

IPC: G01N21/78 ,  G01N33/00 ,  H01L31/042 ,  H02S40/38