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公开(公告)号：KR1020170126578A
公开(公告)日：2017-11-20
申请号：KR1020160056764
申请日：2016-05-10
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L21/3065 , H01J37/3233 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01L21/02032 , H01L21/67017 , H01L2221/683 , H01J37/32091 , H01J37/32082 , H01J37/32165 , H01J37/32541 , H05H1/46 , H05H2001/4675 , H05H2001/4682
Abstract: 본발명은플라즈마처리장치를제공한다. 이플라즈마처리장치는제1 압력을가지는전자방출영역과상기제1 압력보다높은압력으로유지되고플라즈마가생성되고기판이배치되는처리영역을구비한진공용기; 상기전자방출영역에배치되고열전자를방출하는열전자방출수단; 접지되고상기열전자방출수단에서방출된전자를상기처리영역으로추출하는그리드전극; 상기진공용기의하부에배치되고상기처리영역에배치되고상기기판을장착하는기판홀더; 상기기판홀더에 RF 전력을인가하여플라즈마를발생시키는 RF 전원; 상기전자방출영역과연결되는제1 진공펌프; 및상기처리영역에연결되는제2 진공펌프를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种等离子体处理装置。 该等离子体处理装置包括：真空容器，其具有具有第一压力的电子发射区域和产生等离子体的处理区域，并且基板被设置，所述真空室被保持在高于所述第一压力的压力下; 设置在电子发射区内并发射热电子的热电子发射装置; 栅极接地并将从热电子发射装置发射的电子提取到处理区域中; 基板支架，其配置在所述真空容器的下部，配置在所述处理区域内，且安装所述基板; 通过向衬底支架施加RF功率来产生等离子体的RF功率源; 连接到电子发射区域的第一真空泵; 和连接到处理区域的第二真空泵。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101820238B1
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：KR1020160056764
申请日：2016-05-10
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L21/3065 , H01J37/3233 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01L21/67017 , H01L2221/683
Abstract: 본발명은플라즈마처리장치를제공한다. 이플라즈마처리장치는제1 압력을가지는전자방출영역과상기제1 압력보다높은압력으로유지되고플라즈마가생성되고기판이배치되는처리영역을구비한진공용기; 상기전자방출영역에배치되고열전자를방출하는열전자방출수단; 접지되고상기열전자방출수단에서방출된전자를상기처리영역으로추출하는그리드전극; 상기진공용기의하부에배치되고상기처리영역에배치되고상기기판을장착하는기판홀더; 상기기판홀더에 RF 전력을인가하여플라즈마를발생시키는 RF 전원; 상기전자방출영역과연결되는제1 진공펌프; 및상기처리영역에연결되는제2 진공펌프를포함한다.
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公开(公告)号：KR101675491B1
公开(公告)日：2016-11-14
申请号：KR1020140180638
申请日：2014-12-15
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B01D53/32
Abstract: 본개시는, 풍력발전기에테슬러코일원리를이용한미세먼지차단시스템에관한것으로서, 타워, 타워의상부에설치된나셀및 날개를포함하는풍력발전기; 메인전원, 제1 캐패시터, 상기타워의하부에설치된 1차코일및 스파크갭을포함한 1차LC회로; 및상기 1차코일과자기적으로결합하며, 타워의상부까지타워를권취하도록설치된 2차코일, 상기 2차코일로부터소정간격이격되어그 상부에설치된제2 캐패시터를포함하는 2차LC회로로이루어진미세먼지차단시스템을제공한다.
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公开(公告)号：KR101403323B1
公开(公告)日：2014-06-05
申请号：KR1020130001124
申请日：2013-01-04
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01S3/1022 , H01L31/0288 , H01S1/06 , H01S5/0615
Abstract: The present invention provides an oscillator and a method of manufacturing the same. The oscillator includes a first electrode, an insulating layer which is arranged on the first electrode and includes a through hole, and an antenna pattern which is arranged on the insulating layer and is made of a conductive material which covers the upper surface of the through hole. The through hole is filled with a gas. The charge particles of the gas vibrate by a DC voltage applied between the first electrode and the antenna pattern.
Abstract translation: 本发明提供一种振荡器及其制造方法。 所述振荡器包括第一电极，布置在所述第一电极上并包括通孔的绝缘层，以及布置在所述绝缘层上并且由覆盖所述通孔的上表面的导电材料制成的天线图案 。 通孔填充有气体。 气体的电荷颗粒通过施加在第一电极和天线图案之间的直流电压振动。
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公开(公告)号：KR101322865B1
公开(公告)日：2013-10-28
申请号：KR1020120043985
申请日：2012-04-26
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: An evaporation type deposition apparatus and a deposition method are provided to easily deposit a conductive layer on a substrate by using a substrate holder and a transport device. CONSTITUTION: A substrate holder (112) is arranged in a vacuum chamber. The substrate holder mounts a substrate including an organic martial layer. At least one tungsten wire (122) is extended to the plane of the substrate holder. A power source (129) is connected to both ends of the tungsten wire. A transport device (140) attaches/detaches a metal bar to/from the tungsten wire. [Reference numerals] (AA) Direction of gravity
Abstract translation: 目的：提供蒸发型沉积设备和沉积方法，以便通过使用基板保持器和输送装置容易地将导电层沉积在基板上。 构成：衬底保持器（112）布置在真空室中。 衬底保持器安装包括有机军事层的衬底。 至少一根钨丝（122）延伸到衬底保持器的平面。 电源（129）连接到钨丝的两端。 输送装置（140）将金属棒与钨丝连接/分离。 （附图标记）（AA）重力方向
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公开(公告)号：KR1020160072930A
公开(公告)日：2016-06-24
申请号：KR1020140180638
申请日：2014-12-15
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B01D53/32
CPC classification number: B01D53/323 , B01D2259/818
Abstract: 본개시는, 풍력발전기에테슬러코일원리를이용한미세먼지차단시스템에관한것으로서, 타워, 타워의상부에설치된나셀및 날개를포함하는풍력발전기; 메인전원, 제1 캐패시터, 상기타워의하부에설치된 1차코일및 스파크갭을포함한 1차LC회로; 및상기 1차코일과자기적으로결합하며, 타워의상부까지타워를권취하도록설치된 2차코일, 상기 2차코일로부터소정간격이격되어그 상부에설치된제2 캐패시터를포함하는 2차LC회로로이루어진미세먼지차단시스템을제공한다.
Abstract translation: 本公开涉及在风力发电机中使用特斯线圈原理的超细颗粒物质屏障系统。 这种超细颗粒物质屏障系统包括：具有塔和机舱的风力发电机和设置在塔的上部的叶片; 具有主电源，第一电容器和初级线圈的主LC电路和设置在塔的下部的火花隙; 以及具有次级线圈和第二电容器的次级LC电路。 次级线圈与初级线圈磁耦合并且设置成绕塔架缠绕直到塔的上部。 第二电容器设置在次级线圈上方预定距离处。
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