公开(公告)号：WO2013054960A1

公开(公告)日：2013-04-18

申请号：PCT/KR2011/007647

申请日：2011-10-14

Applicant: 한국과학기술원 ,  장홍영 ,  안상혁

Inventor： 장홍영 ,  안상혁

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/18

CPC classification number: H01J37/32128

Abstract: 본 발명은 헬리콘 플라즈마 장치를 제공한다. 이 장치는 진공 챔버에 장착된 복수의 유전체 튜브들, 각각의 유전체 튜브들의 둘레에 배치된 안테나들, 안테나들과 수직하게 이격되어 배치된 토로이드 형태의 영구자석들, 영구 자석들의 일부 또는 전부를 고정하고 고정된 영구 자석들이 배치되는 배치 평면을 수직하게 이동시키는 이동부, 및 안테나들에 전력을 공급하는 RF 전원을 포함한다. 이동부를 이용하여 상기 안테나와 상기 영구 자석 사이의 수직 거리는 조절된다.

Abstract translation: 本发明涉及一种螺旋等离子体装置。 螺旋等离子体装置包括：安装在真空室上的多个电介质管; 设置在每个电介质管周围的天线; 具有环形形状且与天线垂直间隔开的永磁体; 固定一部分或全部永磁体以使垂直移动固定永久磁铁的平面的移动部分; 以及用于向天线供电的RF电源。 可以使用移动部件来调整天线和永磁体之间的垂直距离。

公开(公告)号：WO2012077843A1

公开(公告)日：2012-06-14

申请号：PCT/KR2010/008798

申请日：2010-12-09

Applicant: 한국과학기술원 ,  장홍영 ,  서상훈 ,  인정환 ,  이헌수 ,  이윤성 ,  주성엔지니어링(주)

Inventor： 장홍영 ,  서상훈 ,  인정환 ,  이헌수 ,  이윤성

IPC: H05H1/46 ,  H05H1/34

CPC classification number: C23C16/44 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32577 ,  H05H2001/2412

Abstract: 본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 장치는 진공 용기, 진공 용기의 내부에 배치되고 나란히 연장되는 복수의 접지 전극들, 진공 용기의 내부에 배치되고 접지 전극들 사이에 개재된 전원 전극들, 및 진공 용기의 내부에 배치되고 전원 전극과 접지 전극 사이에 개재된 전극 유전체들을 포함하고, 전원 전극들은 RF 전원에 연결된다.

Abstract translation: 等离子体发生器技术领域本发明涉及一种等离子体发生器，其包括：真空容器; 在真空容器内彼此平行延伸的多个接地电极; 多个电源电极，设置在接地电极之间和真空容器内; 以及设置在电源电极和接地电极之间以及真空容器内的多个电极电介质。 电源电极连接到RF电源。

公开(公告)号：WO2013055056A1

公开(公告)日：2013-04-18

申请号：PCT/KR2012/007977

申请日：2012-10-02

Applicant: 한국과학기술원 ,  주식회사 윈텔 ,  장홍영 ,  이진원

Inventor： 장홍영 ,  이진원

IPC: H05H1/36

CPC classification number: H01J37/3211 ,  H01J37/32165 ,  H01J2237/327 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667

Abstract: 본 발명의 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치를 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 진공 용기에 형성된 복수의 관통홀들에 각각 장착되는 복수의 유전체 튜브들, 진공 용기에 배치되는 대칭성에 따라 제1 그룹 및 제2 그룹으로 분류되고 유전체 튜브들의 외측에 각각 장착되는 안테나들, 제1 그룹의 안테나에 전력을 공급하는 제1 RF 전원, 제2 그룹의 안테나에 전력을 공급하는 제2 RF 전원, 및 제1 그룹의 안테나와 제1 RF 전원 사이에 배치되어 제1 RF 전원의 전력을 제1 그룹의 안테나에 전력을 분배하는 제1 전력 분배부를 포함한다.

Abstract translation: 本发明提供一种等离子体产生装置和基板处理装置。 等离子体发生装置包括：分别安装在形成在真空室中的多个通孔中的多个电介质管; 天线，其分别基于其在真空室中的对称布置分成第一组和第二组，并分别安装在电介质外管上; 用于向第一组天线供电的第一RF电源; 用于向第二组天线供电的第二RF电源; 以及第一配电单元，设置在所述第一组天线和所述第一RF电源之间，用于将功率从所述第一RF电源分配到所述第一组天线。

公开(公告)号：WO2012157844A1

公开(公告)日：2012-11-22

申请号：PCT/KR2012/002179

申请日：2012-03-26

Applicant: 한국과학기술원 ,  장홍영 ,  안상혁 ,  이진원

Inventor： 장홍영 ,  안상혁 ,  이진원

IPC: H05H1/46 ,  H03H7/40

CPC classification number: H05H1/24 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32174 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4667 ,  H05H2001/4682

Abstract: 본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 진공 용기, 진공 용기를 형성된 관통홀에 연결된 복수의 유전체들， 유전체들 각각의 주위에 배치되고 전기적으로 병렬 연결된 동일한 구조의 복수의 RF 코일들， RF 코일들에 전력을 공급하는 RF 전원， RF 전원과 RF 코일들 사이에 배치된 임피던스 매칭 회로， 및 임피던스 매칭 회로와 RF 코일들의 일단 사이에 배치되어 RF 전원의 전력을 RF 코일들에 분배하는 전력 분배부를 포함한 다. 전력 분배부는 전원 분배라인; 및 전원 분배라인을 감싸고 있는 도전성 외피를 포함한다. 전력 분배부의 입력단과 상기 RF 코일들 사이의 거리가 동일하고， RF 코일들의 타단은 도전성 외피에 연결되어 접지된다.

Abstract translation: 本发明提供一种等离子体产生装置。 所述等离子体产生装置包括：真空容器; 多个电介质，其连接到形成在真空容器中的通孔; 多个具有相同结构的RF线圈，其设置在每个电介质附近并且并联电连接; RF电源，其向RF线圈供电; 阻抗匹配电路，设置在RF电源和RF线圈之间; 以及布置在所述阻抗匹配电路和所述RF线圈的一端之间的配电单元，并且将所述RF电源的功率分配给所述RF线圈。 配电单元包括配电线和封闭配电线的导电外盖。 配电单元的输入端与RF线圈之间的距离相同，RF线圈的另一端与导电外罩连接，使另一端接地。

公开(公告)号：WO2013109025A1

公开(公告)日：2013-07-25

申请号：PCT/KR2013/000274

申请日：2013-01-14

Applicant: 한국과학기술원 ,  장홍영 ,  서상훈 ,  박기정

Inventor： 장홍영 ,  서상훈 ,  박기정

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32541 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32165 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4675 ,  H05H2001/4682

Abstract: 본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치를 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 플라즈마를 형성하도록 제1 주파수의 제1 RF 전력을 공급받는 원판형의 제1 전극, 제1 전극의 둘레에 배치되고 제2 주파수의 제2 RF 전력을 공급받는 와셔 형태의 제2 전극, 제1 전극과 제2 전극 사이에 배치된 절연 스페이서, 제1 전극에 전력을 공급하는 제1 RF 전원, 및 제2 전극에 전력을 공급하는 제2 RF 전원을 포함한다.

Abstract translation: 本发明提供一种等离子体发生装置和基板处理装置。 等离子体产生装置包括：盘型第一电极，用于接收第一频率的第一RF功率以形成等离子体; 设置在所述第一电极的圆周周围并接收第二频率的第二RF功率的垫圈型第二电极; 插入在第一电极和第二电极之间的绝缘间隔件; 用于向第一电极供电的第一RF电源; 以及用于向第二电极供电的第二RF电源。

公开(公告)号：WO2012134199A2

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：PCT/KR2012/002337

申请日：2012-03-29

Applicant: 주성엔지니어링(주) ,  한국과학기술원 ,  장홍영 ,  서상훈 ,  이윤성

Inventor： 장홍영 ,  서상훈 ,  이윤성

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32568 ,  H01J37/32541

Abstract: 본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치를 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 진공 용기의 내부에 배치되고 나란히 연장되는 복수의 접지 전극들, 및 상기 접지 전극들 사이에 배치된 전원 전극들을 포함한다. 접지 전극과 전원 전극 사이의 간격이 일정한 영역을 포함하고, 전원 전극은 기판을 마주보는 방향으로 테이퍼지고, 상기 전원 전극들은 RF 전원에 연결되고, 기판을 마주보는 방향으로 상기 전원전극의 높이는 상기 접지 전극의 높이보다 크다.

Abstract translation: 本发明涉及等离子体发生装置和基板处理装置。 等离子体发生装置包括：布置在真空容器内且彼此平行延伸的多个接地电极; 和布置在接地电极之间的电力电极。 每个接地电极和电源电极之间的空间包含预定区域，并且功率电极在与衬底相反的方向上是锥形的。 电源电极连接到RF电源，并且每个电源电极的高度高于接地电极在与衬底相反的方向上的高度。

公开(公告)号：WO2010062008A1

公开(公告)日：2010-06-03

申请号：PCT/KR2009/000858

申请日：2009-02-24

Applicant: 한국과학기술원 ,  장홍영 ,  이헌수

Inventor： 장홍영 ,  이헌수

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F9/70 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 본 발명은 측정 패턴 구조체, 공정 패턴 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법을 제공한다. 이 방법은 하나 이상의 단위 측정 패턴을 포함하는 측정 패턴 구조체를 제공하는 단계, 처리 용기에서 측정 패턴 구조체 상에 배치된 제1 기판을 처리하는 단계, 단위 측정 패턴의 위치에 따른 제1 기판의 균일 처리 영역을 선택하는 단계, 균일 처리 영역에 대응하는 측정 패턴 구조체의 구조를 공정 패턴 구조체에 전사(transfer)하는 단계, 및 단위 공정 패턴을 포함하는 공정 패턴 구조체를 이용하여 처리 용기에서 제2 기판을 처리하는 단계를 포함할 수 있다.

Abstract translation: 本发明提供了测量图案结构，处理图案结构，基板处理装置和基板处理方法。 该方法包括：提供包括至少一个单位测量图案的测量图案结构的步骤; 在处理容器中处理第一衬底的步骤，其中第一衬底布置在测量图案结构上; 根据单位测量图案的位置选择第一基板的均匀处理区域的步骤; 将测量图案结构的构图转印到其中测量图案结构对应于均匀处理区域的处理图案结构的步骤; 以及使用包括单位处理图案的处理图案结构来处理处理容器中的第二基板的步骤。

公开(公告)号：KR101913377B1

公开(公告)日：2018-10-30

申请号：KR1020170097290

申请日：2017-07-31

Applicant: 한국과학기술원 ,  주성엔지니어링(주)

Inventor： 장홍영 ,  서상훈 ,  이윤성

IPC: H05H1/46 ,  H05H1/34 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

Abstract: 본발명은플라즈마발생장치및 기판처리장치를제공한다. 이플라즈마발생장치는상판을포함하는진공용기, 상판의하부에배치되고공정가스를토출하는복수의노즐들을포함하는가스분배부, 가스분배부의하부에배치되고제1 방향으로나란히연장되는절연지지부들, 가스분배부의하부에배치되고상기제1 방향으로나란히연장되는접지전극들, 절연지지부의하부에배치되고접지전극들사이에서제1 방향으로나란히연장되는전원전극들, 및가스분배부및 절연지지부를관통하여전원전극들에 RF 전력을공급하는전력공급부를포함한다.

公开(公告)号：KR101735296B1

公开(公告)日：2017-05-15

申请号：KR1020120145015

申请日：2012-12-13

Applicant: 한국과학기술원 ,  주식회사 윈텔

Inventor： 장홍영 ,  이진원

IPC: H05H1/46 ,  H05H1/36

Abstract: 본발명의플라즈마발생장치및 기판처리장치를제공한다. 이플라즈마발생장치는진공용기에형성된복수의관통홀들에각각장착되는복수의유전체튜브들, 진공용기에배치되는대칭성에따라제1 그룹및 제2 그룹으로분류되고유전체튜브들의외측에각각장착되는안테나들, 제1 그룹의안테나에전력을공급하는제1 RF 전원, 제2 그룹의안테나에전력을공급하는제2 RF 전원, 및제1 그룹의안테나와제1 RF 전원사이에배치되어제1 RF 전원의전력을제1 그룹의안테나에전력을분배하는제1 전력분배부를포함한다.

Abstract translation: 提供了本发明的等离子体产生装置和基板处理装置。 等离子体发生器包括多个电介质管，每个电介质管安装在形成在真空容器中的多个通孔中，分别布置在真空容器中的第一组和第二组， 天线，向第一组天线供电的第一RF电源，向第二组天线供电的第二RF电源，以及设置在第一组天线和第一RF电源之间的第二RF电源， 以及用于将电源的电力分配给第一组天线的第一电力分配器。

公开(公告)号：KR101322865B1

公开(公告)日：2013-10-28

申请号：KR1020120043985

申请日：2012-04-26

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 장홍영 ,  배인식

IPC: H01L51/56 ,  C23C14/34

Abstract: PURPOSE: An evaporation type deposition apparatus and a deposition method are provided to easily deposit a conductive layer on a substrate by using a substrate holder and a transport device. CONSTITUTION: A substrate holder (112) is arranged in a vacuum chamber. The substrate holder mounts a substrate including an organic martial layer. At least one tungsten wire (122) is extended to the plane of the substrate holder. A power source (129) is connected to both ends of the tungsten wire. A transport device (140) attaches/detaches a metal bar to/from the tungsten wire. [Reference numerals] (AA) Direction of gravity

Abstract translation: 目的：提供蒸发型沉积设备和沉积方法，以便通过使用基板保持器和输送装置容易地将导电层沉积在基板上。 构成：衬底保持器（112）布置在真空室中。 衬底保持器安装包括有机军事层的衬底。 至少一根钨丝（122）延伸到衬底保持器的平面。 电源（129）连接到钨丝的两端。 输送装置（140）将金属棒与钨丝连接/分离。 （附图标记）（AA）重力方向