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公开(公告)号：KR101622202B1
公开(公告)日：2016-05-19
申请号：KR1020140072387
申请日：2014-06-13
Applicant: 한국과학기술원 , 연세대학교 산학협력단
IPC: H01L41/25 , H01L41/338 , H01L41/22
Abstract: 본발명에따른생체용플라스틱나노제너레이터제조방법은층상기판상에압전물질층및 금속층을적층시켜압전소자를형성하는단계; 상기압전소자상에분리유도금속을접합시키는단계; 상기층상기판을제거하는단계; 상기압전소자를플라스틱기판상에전사시키는단계; 및상기압전소자상에접합된분리유도금속을제거하는단계;를포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160006862A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：KR1020140086165
申请日：2014-07-09
Applicant: 한국과학기술원 , (주)아이블포토닉스
IPC: H01L41/22 , H01L41/16 , H01L41/083
CPC classification number: H01L41/22 , H01L41/083 , H01L41/16
Abstract: 본발명에따른플라스틱나노제너레이터제조방법은층상기판상에압전물질층및 금속층을적층시켜압전소자를형성하는단계, 상기압전소자상에분리유도금속을접합시키는단계, 상기압전소자상에전사기판을접합시키는단계, 상기층상기판을제거하는단계, 상기압전소자를플라스틱기판상에전사시키는단계, 및상기압전소자상에접합된분리유도금속을제거하는단계를포함하고, 상기압전물질층은단결정 PMN-PT (Pb(MgNb)O- PbTiO)를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的塑料纳米发生器的制造方法包括通过在压电基板上堆叠压电材料和金属层来形成压电元件的步骤，将分离感应金属接合到压电元件上的步骤， 电气元件，将转印基板接合到压电元件上的步骤，去除层叠基板的步骤，将压电元件转印到塑料基板上的步骤，以及将分离感应金属去除的步骤 压电元件。 压电材料包括单晶PMN-PT（Pb（Mg_1 / _3Nb_2 _ / _3）O_3-PbTiO_3）。
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公开(公告)号：KR1020150143978A
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：KR1020140072387
申请日：2014-06-13
Applicant: 한국과학기술원 , 연세대학교 산학협력단
IPC: H01L41/25 , H01L41/338 , H01L41/22
CPC classification number: H01L41/25 , H01L41/083 , H01L41/113 , H01L41/27 , H01L41/335
Abstract: 본발명에따른생체용플라스틱나노제너레이터제조방법은층상기판상에압전물질층및 금속층을적층시켜압전소자를형성하는단계; 상기압전소자상에분리유도금속을접합시키는단계; 상기압전소자상에전사기판을접합시키는단계; 상기층상기판을제거하는단계; 상기압전소자를플라스틱기판상에전사시키는단계; 및상기압전소자상에접합된분리유도금속을제거하는단계;를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明，生物塑料纳米发生器的制造方法包括以下步骤：通过在层基板上堆叠压电材料层和金属层来形成压电装置; 键合分离诱导金属到压电器件; 将转印基板接合到所述压电装置; 去除层基板; 将压电装置转移到塑料基板上; 并且去除结合到压电装置的分离诱导金属。
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公开(公告)号：KR1020150094945A
公开(公告)日：2015-08-20
申请号：KR1020140015885
申请日：2014-02-12
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/22
CPC classification number: A61N1/3785 , A61N1/0551 , A61N1/3605 , A61N1/36125 , A61N1/3756 , B32B38/10 , B32B2457/00 , B82Y40/00 , H01L41/113 , H01L41/312 , Y10S322/00 , Y10S977/948
Abstract: 희생기판 상에 버퍼층을 적층하는 단계; 상기 버퍼층 상에 나노제너레이터를 제조하는 단계; 상기 나노제너레이터 상에 금속층을 적층하는 단계; 및 상기 버퍼층으로부터 상기 나노제너레이터를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노제너레이터 분리방법이 제공된다.
본 발명은 종래의 습식 식각 등의 공정을 통하여 희생기판으로부터 나노제너레이터를 분리하는 방식이 아닌, 희생기판과 상기 금속층 사이의 응력 차이를 이용하여 나노제너레이터를 분리한다. 특히 니켈과 같은 금속층에서의 인장 응력과, 하부 실리콘 기판 사이의 압축 응력 차이에 따라 버퍼층인 실리콘 산화물층으로부터 나노제너레이터가 그대로 분리된다. 따라서, 기계적인 방식으로 나노제너레이터를 희생기판으로부터 분리할 수 있으므로, 식각액을 이용한 화학적 분리 방식에 비하여 보다 안전하고, 경제적이다. 더 나아가, 식각액으로 인한 나노제너레이터의 손상을 미리 피할 수 있다는 장점이 있다.Abstract translation: 本发明提供一种分离纳米发生器的方法。 该方法包括以下步骤：在牺牲衬底上层叠缓冲层; 在缓冲层上制造纳米发生器; 在纳米发生器上层压金属层; 并将纳米发生器与缓冲层分离。 通过使用牺牲衬底和金属层之间的应力差来分离纳米发生器，这与通过诸如湿式蚀刻的处理从牺牲衬底分离非发生器的现有方法不同。 特别地，通过镍等金属层的拉伸强度和下硅基板的压缩应力之间的差异，将纳米发生器从作为缓冲层的氧化硅层分离而不损坏。 因此，与使用蚀刻溶液的化学分离方式相比，纳米发生器可以以机械方式与牺牲衬底分离，这是更安全和更经济的。 此外，可以防止由蚀刻溶液引起的纳米发生器的损伤。
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公开(公告)号：KR101599779B1
公开(公告)日：2016-03-08
申请号：KR1020140086165
申请日：2014-07-09
Applicant: 한국과학기술원 , (주)아이블포토닉스
IPC: H01L41/22 , H01L41/16 , H01L41/083
Abstract: 본발명에따른플라스틱나노제너레이터제조방법은층상기판상에압전물질층및 금속층을적층시켜압전소자를형성하는단계, 상기압전소자상에분리유도금속을접합시키는단계, 상기층상기판을제거하는단계, 상기압전소자를플라스틱기판상에전사시키는단계, 및상기압전소자상에접합된분리유도금속을제거하는단계를포함하고, 상기압전물질층은단결정 PMN-PT (Pb(MgNb)O- PbTiO)를포함한다.
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公开(公告)号：KR101547057B1
公开(公告)日：2015-08-24
申请号：KR1020140015885
申请日：2014-02-12
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/22
CPC classification number: A61N1/3785 , A61N1/0551 , A61N1/3605 , A61N1/36125 , A61N1/3756 , B32B38/10 , B32B2457/00 , B82Y40/00 , H01L41/113 , H01L41/312 , Y10S322/00 , Y10S977/948
Abstract: 희생기판상에버퍼층을적층하는단계; 상기버퍼층상에나노제너레이터를제조하는단계; 상기나노제너레이터상에금속층을적층하는단계; 및상기버퍼층으로부터상기나노제너레이터를분리하는단계를포함하는것을특징으로하는나노제너레이터분리방법이제공된다. 본발명은종래의습식식각등의공정을통하여희생기판으로부터나노제너레이터를분리하는방식이아닌, 희생기판과상기금속층사이의응력차이를이용하여나노제너레이터를분리한다. 특히니켈과같은금속층에서의인장응력과, 하부실리콘기판사이의압축응력차이에따라버퍼층인실리콘산화물층으로부터나노제너레이터가그대로분리된다. 따라서, 기계적인방식으로나노제너레이터를희생기판으로부터분리할수 있으므로, 식각액을이용한화학적분리방식에비하여보다안전하고, 경제적이다. 더나아가, 식각액으로인한나노제너레이터의손상을미리피할수 있다는장점이있다.
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