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公开(公告)号:KR101667180B1
公开(公告)日:2016-10-17
申请号:KR1020160004199
申请日:2016-01-13
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L31/032 , H01L31/0392 , H01L31/0216 , H01L31/0236 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 신개념패시베이션구조를이용하여칼코지나이드(chalcogenide) 기반태양전지를제작하는방법은기판상에콘택트홀을포함하는절연막을형성하는단계; 상기절연막에칼코지나이드광흡수층을증착하는단계; 상기칼코지나이드광흡수층상에버퍼층을생성하는단계; 및상기버퍼층에투명전도성산화물층(transparent conductive oxide; TCO)을증착하는단계를포함한다.
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