비기체 연소합성을 위한 박막구조의 제조방법
    2.
    发明授权
    비기체 연소합성을 위한 박막구조의 제조방법 有权
    自蔓延高温合成薄膜结构的制造方法

    公开(公告)号:KR101630753B1

    公开(公告)日:2016-06-16

    申请号:KR1020140152989

    申请日:2014-11-05

    Abstract: 본발명은비기체연소합성을위한박막구조의제조방법에관한것으로, 보다구체적으로, 제1 재료층에제2 재료층을증착하여증착구조를형성하는단계; 상기증착구조를적층하여적층구조를형성하는단계; 및상기적층구조를압착하는단계를포함하는비기체연소합성을위한박막구조의제조방법, 상기방법으로제조된비기체연소합성을위한박막구조, 및상기박막구조를이용한비기체연소합성방법에관한것이다. 본발명은균일한층간구조를갖고, 비기체연소합성시 발생하는열원을균일하게제어할수 있는비기체연소합성을위한박막구조를제공할수 있다.

    비기체 연소합성을 위한 박막구조의 제조방법
    3.
    发明公开
    비기체 연소합성을 위한 박막구조의 제조방법 有权
    用于自发传播高温合成的薄膜结构的制造方法

    公开(公告)号:KR1020160054135A

    公开(公告)日:2016-05-16

    申请号:KR1020140152989

    申请日:2014-11-05

    Abstract: 본발명은비기체연소합성을위한박막구조의제조방법에관한것으로, 보다구체적으로, 제1 재료층에제2 재료층을증착하여증착구조를형성하는단계; 상기증착구조를적층하여적층구조를형성하는단계; 및상기적층구조를압착하는단계를포함하는비기체연소합성을위한박막구조의제조방법, 상기방법으로제조된비기체연소합성을위한박막구조, 및상기박막구조를이용한비기체연소합성방법에관한것이다. 본발명은균일한층간구조를갖고, 비기체연소합성시 발생하는열원을균일하게제어할수 있는비기체연소합성을위한박막구조를제공할수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于自传播高温合成的薄膜结构的制造方法,通过该方法制造的用于自传播高温合成的薄膜结构,以及使用该薄膜的自蔓延高温合成 电影结构。 更具体地说,本发明涉及一种用于自传播高温合成的薄膜结构的制造方法,包括以下步骤:通过在第一材料层上沉积第二材料层来形成沉积结构; 通过堆叠沉积结构形成堆叠结构; 并压缩堆叠结构。 在本发明中,提供了一种用于自传播高温合成的薄膜结构,其可以均匀地控制在自传播高温合成期间产生的热源。

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