公开(公告)号：KR1020120111815A

公开(公告)日：2012-10-11

申请号：KR1020110030407

申请日：2011-04-01

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 권대갑 ,  김정재 ,  안다훈 ,  우시웅

IPC: G01N35/10 ,  G01N1/28 ,  G01B9/02

Abstract: PURPOSE: A specimen transferring stage device and a method for driving the same are provided to correct the alignment error of bar mirrors by using a plurality of laser interference systems. CONSTITUTION: A specimen transferring stage device includes a specimen transferring part(100), a driving part(200), a guiding part, a sensor part(450), a corrector(500), and a converter(600). The guiding part limits the moving direction of the specimen transferring part such that the specimen transferring part is positioned at a pre-determined target coordinate. The sensor part checks whether the specimen transferring part reaches the target coordinate by measuring the current position of the specimen transferring part in real time. The corrector corrects the alignment error of bar mirrors(470-1, 470-2). The converter automatically converts laser interference systems(410 to 440) in the sensor part if the current position of the specimen transferring part is changed.

Abstract translation: 目的：提供样品转印级装置及其驱动方法，以通过使用多个激光干涉系统来校正棒反射镜的对准误差。 构成：样本转印台装置包括样本转印部分（100），驱动部分（200），引导部分，传感器部分（450），校正器（500）和转换器（600）。 引导部限制试样转印部的移动方向，使得试样转印部位于预定的目标坐标。 传感器部分通过实时测量样品传送部件的当前位置来检查样品传送部分是否到达目标坐标。 校正器校正棒反射镜（470-1,470-2）的对准误差。 如果样品转印部件的当前位置改变，转换器将自动转换传感器部件中的激光干涉系统（410至440）。

公开(公告)号：KR100973530B1

公开(公告)日：2010-08-02

申请号：KR1020080005417

申请日：2008-01-17

Applicant: 순환엔지니어링 주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 권대갑 ,  김정재 ,  최영만 ,  안다훈 ,  정훈택

IPC: H01L21/677

Abstract: 본 발명은 반도체나 FPD의 검사장비나 정밀가공장비 등에 사용되는 시편이송장치에 관한 것으로; 베이스프레임(10)상에 탑재되어 제1가이드블록(21)을 따라 이동하는 제1슬라이드(20)와, 상기 제1슬라이드(20)상에 탑재되어 제2가이드블록(32)을 따라 이동하는 제2슬라이드(30)가 상호 교차하는 방향으로 장착된 이동부와; 상기 제2슬라이드(30)에 일체로 형성된 유연기구모듈(50)을 매개로 설치된 시편테이블(40)을 통해 시편(41)을 이송하며, 상기 시편테이블(40)에 상호 수직방향으로 장착된 X,Y바미러(42,43)를 통해 변위를 측정하는 이송부 및; 상기 이동부의 작동경로에 장착된 레이저헤드(61)와 빔분할기(62)와 인터페로미터(63)를 거쳐 발산되어 상기 XY바미러(42,43)에 의해 반사되는 빔의 간섭신호를 리시버(64)를 통해 입력받아 변위신호로 출력하는 측정부로 이루어져; 슬라이드에 의한 변형이 시편테이블로 전달되지 않으므로 시편테이블을 포함한 미러와 시편 등의 변형오차가 줄어들고 미러와 시편의 상대거리가 세팅되어 측정정확도가 향상될 뿐만 아니라, 시편의 가공에 따른 정확도가 향상되므로 불량률이 최소화되어 생산성이 향상된다.
시편이송장치, 베이스프레임, 슬라이드, 유연기구, 이동부, 이송부, 측정부

公开(公告)号：KR1020070065516A

公开(公告)日：2007-06-25

申请号：KR1020050126043

申请日：2005-12-20

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박영진 ,  유하나 ,  안다훈 ,  박두은 ,  이경헌 ,  이상문 ,  안진우

IPC: G01L1/22 ,  G01L1/12

Abstract: A load sensor with multiple measuring ranges is provided to measure loads of various materials using a single load sensor without providing a plurality of load sensors. A load sensor with multiple measuring ranges includes first and second load sensor blocks(1,2), a displacement limit device(3), and a rod(4). The rod applies the load to one end of the first sensor block. The other end of the first sensor block is connected to one end of the second sensor block. The other end of the second sensor block is fixed. A displacement range of the second sensor block is limited by the displacement limit device. Rigidity of the first sensor block is represented as k1, and rigidity of the second sensor block is represented as k2. The load sensor has a relationship of k1>k2.

Abstract translation: 提供具有多个测量范围的负载传感器，以使用单个负载传感器来测量各种材料的负载，而不需要提供多个负载传感器。 具有多个测量范围的负载传感器包括第一和第二负载传感器块（1,2），位移限制装置（3）和杆（4）。 杆将负载施加到第一传感器块的一端。 第一传感器块的另一端连接到第二传感器块的一端。 第二传感器块的另一端是固定的。 第二传感器块的位移范围由位移限制装置限制。 第一传感器块的刚度表示为k1，第二传感器块的刚度表示为k2。 负载传感器的关系为k1> k2。

公开(公告)号：KR101574223B1

公开(公告)日：2015-12-07

申请号：KR1020140047287

申请日：2014-04-21

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 권대갑 ,  우시웅 ,  안다훈 ,  박재현

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/68

Abstract: 본발명은진공환경에서적용이가능한대형스테이지의제작방법에관한것으로, 실제장비에적용가능한대면적의구동범위를갖는자기부상구동스테이지에관한것으로, 구동스테이지(10)의하부에형성되는고정플레이트(110)에설치되어상기스테이지(150)를구동시키기위한전류가인가되는도체판(100)의제조방법에있어서, 도체인판형소재의일방향으로다수이격하는부위를절단가공하여, 가공된홀에의해다수의단위스트립(102)이수평하게이격배열되는스트립단위층(105)을형성하는제1단계와, 상기가공된스트립단위층(105)에절연층과접착층을형성하는제2단계와, 상기스트립단위층(105)을상부로다수적층하여상기단위스트립(102)이상하로서로수직교차되는스트립적층구조를형성하는제3단계와, 상기적층구조의둘레부를커팅시키는제4단계및 상기단위스트립(102)의각 단부에전류를흘리기위한연결코일(104)을연결하는제5단계를포함하는자기부상구동스테이지용도체판의제조방법및 이를통해제조된도체판및 이를포함하는자기부상구동스테이지를제공한다.

公开(公告)号：KR1020150121745A

公开(公告)日：2015-10-30

申请号：KR1020140047287

申请日：2014-04-21

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 권대갑 ,  우시웅 ,  안다훈 ,  박재현

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/0272

Abstract: 본발명은진공환경에서적용이가능한대형스테이지의제작방법에관한것으로, 실제장비에적용가능한대면적의구동범위를갖는자기부상구동스테이지에관한것으로, 구동스테이지(10)의하부에형성되는고정플레이트(110)에설치되어상기스테이지(150)를구동시키기위한전류가인가되는도체판(100)의제조방법에있어서, 도체인판형소재의일방향으로다수이격하는부위를절단가공하여, 가공된홀에의해다수의단위스트립(102)이수평하게이격배열되는스트립단위층(105)을형성하는제1단계와, 상기가공된스트립단위층(105)에절연층과접착층을형성하는제2단계와, 상기스트립단위층(105)을상부로다수적층하여상기단위스트립(102)이상하로서로수직교차되는스트립적층구조를형성하는제3단계와, 상기적층구조의둘레부를커팅시키는제4단계및 상기단위스트립(102)의각 단부에전류를흘리기위한연결코일(104)을연결하는제5단계를포함하는자기부상구동스테이지용도체판의제조방법및 이를통해제조된도체판및 이를포함하는자기부상구동스테이지를제공한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种可在真空环境中应用的大型台的制造方法，涉及具有适用于实际设备的大面积移动范围的磁悬浮移动台。 在通过安装在形成在移动台（10）的下部的固定板（110）上而施加电流驱动台（150）的导电板（100）的制造方法中， 用于磁悬浮移动台的导电板包括：第一步骤，形成带状单元层（105），其中多个单位条带（102）通过加工孔水平和分开地布置，通过切割和加工多个部件 沿着导电板构件的一个方向分离; 在加工的带状单元层（105）上形成绝缘层和粘合剂层的第二步骤; 形成带状层压结构的第三步骤，其中，单元条（102）在其上部上堆叠单元条（105），竖直地彼此相交; 切割层叠结构的周缘部的第四工序; 以及连接线圈（104）以将电流流向单元条（102）的每个端部的第五步骤。

公开(公告)号：KR101226807B1

公开(公告)日：2013-01-25

申请号：KR1020110030407

申请日：2011-04-01

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 권대갑 ,  김정재 ,  안다훈 ,  우시웅

IPC: G01N35/10 ,  G01N1/28 ,  G01B9/02

Abstract: 본 발명은 기구 및 기계 설계를 응용한 제반 기술을 개시한다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 시편이송 스테이지 장치 및 그 구동방법은 다수의 레이저 간섭계를 사용하여 바미러의 정렬오차를 보상하고 시편 이송부의 현 위치를 좀 더 정확히 파악 및 측정함을 통해 보다 높은 정확도 및 정밀도를 갖게 함으로써, 다수의 소형 바미러를 구비시켜 바미러의 정렬오차로 인해 시편 이송부의 현 위치를 보다 정밀하게 측정하지 못하는 대형 스테이지 장치의 성능 저하에 대한 문제점을 극복한다.
또한, 본 발명은 대형 스테이지 장치에 구비되는 대형 바미러 대신 소형 바미러를 다수개 탑재시킴으로써, 시편이송 스테이지 장치 제작시 소요되는 제작 비를 경감시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 시편 이송부의 도달 좌표와 목적 좌표 간에 발생되는 바미러의 정렬오차를 보상해 주는 기능으로 인하여 보다 정밀도가 높은 제품의 출시에 따른 구매자의 구매 욕구를 향상시키고, 그에 결과로 구매율 및 기업 이윤을 극대화시킨다.

公开(公告)号：KR1020090019663A

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：KR1020080005417

申请日：2008-01-17

Applicant: 순환엔지니어링 주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 권대갑 ,  김정재 ,  최영만 ,  안다훈 ,  정훈택

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67703 ,  G01N1/00 ,  H01L22/30

Abstract: A sample traveling stage with flexure mechanism module is provided to reduce the deformation error of a mirror including a sample table and a sample by not delivering the deformation of a slide to the sample table. In a sample traveling stage with flexure mechanism module, a moving unit mounted on a base frame(10) includes a first slide(20) moving along with a first guide block(21) and a second slide (30) which is mounted on the first slide and moves along with a second guide block(32). A moving unit transfers a sample(41) using the sample table(40) mounted on the second slide and measures a displacement through X,Y bar mirrors (42,43) which are mounted vertically with each other on the sample table. A measuring unit receives an interference signal of the beam reflected with X, Y bar mirror through a receiver and outputs a displacement signal. A flexure mechanism includes a plurality of buffering holes, a loader and the deformation lines.

Abstract translation: 提供具有弯曲机构模块的样本行进台，以通过不将滑块变形到样品台来减少包括样品台和样品的反射镜的变形误差。 在具有挠曲机构模块的样本行进台中，安装在基架（10）上的移动单元包括与第一滑块（21）一起移动的第一滑动件（20）和安装在所述第一滑块 首先滑动并与第二引导块（32）一起移动。 移动单元使用安装在第二载玻片上的样品台（40）传送样品（41），并通过在样品台上彼此垂直安装的X，Y杆反射镜（42,43）测量位移。 测量单元通过接收器接收由X，Y杆反射镜反射的光束的干涉信号，并输出位移信号。 弯曲机构包括多个缓冲孔，装载器和变形线。

公开(公告)号：KR100778386B1

公开(公告)日：2007-11-22

申请号：KR1020050126043

申请日：2005-12-20

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 박영진 ,  유하나 ,  안다훈 ,  박두은 ,  이경헌 ,  이상문 ,  안진우

IPC: G01L1/22 ,  G01L1/12

Abstract: 본 발명은 복수의 하중 측정 범위를 가지는 하중 센서에 관한 것으로, 측정 대상 하중이 인가되는 자유단, 서로 강성이 다르고, 자유단으로부터 강성이 높은 순서로 직렬로 연결된 복수의 하중 센서 블록, 및 복수의 하중 센서 블록 중에서 가장 강성이 높은 하중 센서 블록을 제외한 나머지 하중 센서 블록의 측정 범위를 제한하는 위치에 설치되는 적어도 하나의 변위 제한 장치를 포함하는 복수의 측정 범위를 가지는 하중 센서를 제공한다.
저울, 센서, 강성, 로드셀, 마그네틱밸런스, 토크셀