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公开(公告)号：KR1020160117932A
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：KR1020150046013
申请日：2015-04-01
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 유연기구메커니즘을이용한중공형 3축평면운동스테이지가개시된다. 중공형 3축평면운동스테이지는시편이위치되는시편장착부와결합하는최종단, 최종단을중심으로바람개비형상을이루며결합되어평면운동을하는구동부및 내부에구동부를포함하고, 최종단과결합되어스테이지의본체를형성하는베이스를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160121893A
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：KR1020150051705
申请日：2015-04-13
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 유연기구메커니즘을이용한중공형 2축직선운동스테이지가개시된다. 본발명에따른중공형 2축직선운동스테이지은시편이위치되는최종단, 최종단의 X축및 Y축중 적어도하나의방향으로상기최종단을이송시키는구동부, 최종단의이송방향을가이드하는가이드부및 내부에구동부및 가이드부를포함하고, 최종단과결합되어스테이지의본체를형성하는베이스를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020120111815A
公开(公告)日：2012-10-11
申请号：KR1020110030407
申请日：2011-04-01
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A specimen transferring stage device and a method for driving the same are provided to correct the alignment error of bar mirrors by using a plurality of laser interference systems. CONSTITUTION: A specimen transferring stage device includes a specimen transferring part(100), a driving part(200), a guiding part, a sensor part(450), a corrector(500), and a converter(600). The guiding part limits the moving direction of the specimen transferring part such that the specimen transferring part is positioned at a pre-determined target coordinate. The sensor part checks whether the specimen transferring part reaches the target coordinate by measuring the current position of the specimen transferring part in real time. The corrector corrects the alignment error of bar mirrors(470-1, 470-2). The converter automatically converts laser interference systems(410 to 440) in the sensor part if the current position of the specimen transferring part is changed.
Abstract translation: 目的：提供样品转印级装置及其驱动方法，以通过使用多个激光干涉系统来校正棒反射镜的对准误差。 构成：样本转印台装置包括样本转印部分（100），驱动部分（200），引导部分，传感器部分（450），校正器（500）和转换器（600）。 引导部限制试样转印部的移动方向，使得试样转印部位于预定的目标坐标。 传感器部分通过实时测量样品传送部件的当前位置来检查样品传送部分是否到达目标坐标。 校正器校正棒反射镜（470-1,470-2）的对准误差。 如果样品转印部件的当前位置改变，转换器将自动转换传感器部件中的激光干涉系统（410至440）。
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公开(公告)号：KR101680784B1
公开(公告)日：2016-11-29
申请号：KR1020150046013
申请日：2015-04-01
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 유연기구메커니즘을이용한중공형 3축평면운동스테이지가개시된다. 중공형 3축평면운동스테이지는시편이위치되는시편장착부와결합하는최종단, 최종단을중심으로바람개비형상을이루며결합되어평면운동을하는구동부및 내부에구동부를포함하고, 최종단과결합되어스테이지의본체를형성하는베이스를포함한다.
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公开(公告)号：KR100945052B1
公开(公告)日：2010-03-05
申请号：KR1020080004551
申请日：2008-01-15
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H05K7/20
Abstract: 본 발명의 히트싱크는 다수의 층으로 구획되게 적층하여 상기 적층된 사이에 냉각공간을 형성하고 중앙에 외부의 공기를 내부에 유입시키는 관통공을 형성시킨 냉각판과, 상기 냉각판의 관통공에 모터의 구동력을 전달받는 중심축의 외주연에 복수개의 냉각팬을 장착하여 냉각팬이 냉각공간에서 원 방향으로 회전되도록 하는 냉각수단과, 상기 복수개의 냉각판의 둘레에 수직으로 관통되고 전자부품과 밀착 결합된 방열블럭과 연결되어 내부의 증발열을 통하여 방열블럭의 온도를 외부로 방출시키는 하나 이상의 히트파이프로 구성한다.
히트싱크, 냉각판, 냉각팬, 원심팬, 배출팬Abstract translation: 根据本发明的散热器包括通过层叠多个层形成的冷却板，以在堆叠的层和用于将外部空气引入中心的通孔之间形成冷却空间， 多个冷却风扇，所述多个冷却风扇安装在中心轴的外周上，用于接收马达的驱动力以在冷却空间中沿圆周方向旋转所述冷却风扇; 并且一个或多个热管连接到散热块，以通过内部的蒸发热将散热块的温度排放到外部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090078627A
公开(公告)日：2009-07-20
申请号：KR1020080004551
申请日：2008-01-15
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H05K7/20
CPC classification number: H05K7/20409 , H01L23/3675 , H05K7/20172 , H05K2201/064
Abstract: A heat sink is provided to cool uniformly a cooling plate and to obtain excellent cooling efficiency by installing a cooling fan in a cooling space having multiple layers. A heat sink(100) includes a cooling plate(110), a cooling unit(120), and a heat pipe(130). The cooling plate is formed by laminating a plurality of layers. A cooling space(111) is formed between the laminated layers. A penetrating hole(112) is formed at a center of the cooling plate in order to receive external air. The cooling unit includes a plurality of cooling fans(123) which are installed in an outer circumference of a central shaft(122) for receiving driving force of a motor(121) the penetrating hole of the cooling plate. The cooling fans are rotated in a circular direction in the cooling space. The heat pipe penetrates peripheries of the cooling plates in a vertical direction. The heat pipe is connected to a radiating block attached to an electronic component in order to radiate the temperature of the radiating block to the outside by using the internal evaporation heat.
Abstract translation: 提供散热器以均匀地冷却冷却板，并且通过在具有多层的冷却空间中安装冷却风扇来获得优异的冷却效率。 散热器（100）包括冷却板（110），冷却单元（120）和热管（130）。 冷却板通过层压多个层而形成。 在层压层之间形成冷却空间（111）。 在冷却板的中心形成有通孔（112），以便接收外部空气。 冷却单元包括多个冷却风扇（123），其安装在中心轴（122）的外周，用于接收冷却板的贯通孔的电动机（121）的驱动力。 冷却风扇在冷却空间中沿圆周方向旋转。 热管在垂直方向上穿透冷却板的周边。 热管连接到附接到电子部件的辐射块，以便通过使用内部蒸发热将辐射块的温度辐射到外部。
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公开(公告)号：KR101226807B1
公开(公告)日：2013-01-25
申请号：KR1020110030407
申请日：2011-04-01
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 기구 및 기계 설계를 응용한 제반 기술을 개시한다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 시편이송 스테이지 장치 및 그 구동방법은 다수의 레이저 간섭계를 사용하여 바미러의 정렬오차를 보상하고 시편 이송부의 현 위치를 좀 더 정확히 파악 및 측정함을 통해 보다 높은 정확도 및 정밀도를 갖게 함으로써, 다수의 소형 바미러를 구비시켜 바미러의 정렬오차로 인해 시편 이송부의 현 위치를 보다 정밀하게 측정하지 못하는 대형 스테이지 장치의 성능 저하에 대한 문제점을 극복한다.
또한, 본 발명은 대형 스테이지 장치에 구비되는 대형 바미러 대신 소형 바미러를 다수개 탑재시킴으로써, 시편이송 스테이지 장치 제작시 소요되는 제작 비를 경감시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 시편 이송부의 도달 좌표와 목적 좌표 간에 발생되는 바미러의 정렬오차를 보상해 주는 기능으로 인하여 보다 정밀도가 높은 제품의 출시에 따른 구매자의 구매 욕구를 향상시키고, 그에 결과로 구매율 및 기업 이윤을 극대화시킨다.-
公开(公告)号：KR101680788B1
公开(公告)日：2016-11-29
申请号：KR1020150051705
申请日：2015-04-13
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 유연기구메커니즘을이용한중공형 2축직선운동스테이지가개시된다. 본발명에따른중공형 2축직선운동스테이지은시편이위치되는최종단, 최종단의 X축및 Y축중 적어도하나의방향으로상기최종단을이송시키는구동부, 최종단의이송방향을가이드하는가이드부및 내부에구동부및 가이드부를포함하고, 최종단과결합되어스테이지의본체를형성하는베이스를포함한다.
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9.发明授权
公开(公告)号：KR101574223B1
公开(公告)日：2015-12-07
申请号：KR1020140047287
申请日：2014-04-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027 , H01L21/68
Abstract: 본발명은진공환경에서적용이가능한대형스테이지의제작방법에관한것으로, 실제장비에적용가능한대면적의구동범위를갖는자기부상구동스테이지에관한것으로, 구동스테이지(10)의하부에형성되는고정플레이트(110)에설치되어상기스테이지(150)를구동시키기위한전류가인가되는도체판(100)의제조방법에있어서, 도체인판형소재의일방향으로다수이격하는부위를절단가공하여, 가공된홀에의해다수의단위스트립(102)이수평하게이격배열되는스트립단위층(105)을형성하는제1단계와, 상기가공된스트립단위층(105)에절연층과접착층을형성하는제2단계와, 상기스트립단위층(105)을상부로다수적층하여상기단위스트립(102)이상하로서로수직교차되는스트립적층구조를형성하는제3단계와, 상기적층구조의둘레부를커팅시키는제4단계및 상기단위스트립(102)의각 단부에전류를흘리기위한연결코일(104)을연결하는제5단계를포함하는자기부상구동스테이지용도체판의제조방법및 이를통해제조된도체판및 이를포함하는자기부상구동스테이지를제공한다.
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10.发明公开
公开(公告)号：KR1020150121745A
公开(公告)日：2015-10-30
申请号：KR1020140047287
申请日：2014-04-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027 , H01L21/68
CPC classification number: H01L21/0272
Abstract: 본발명은진공환경에서적용이가능한대형스테이지의제작방법에관한것으로, 실제장비에적용가능한대면적의구동범위를갖는자기부상구동스테이지에관한것으로, 구동스테이지(10)의하부에형성되는고정플레이트(110)에설치되어상기스테이지(150)를구동시키기위한전류가인가되는도체판(100)의제조방법에있어서, 도체인판형소재의일방향으로다수이격하는부위를절단가공하여, 가공된홀에의해다수의단위스트립(102)이수평하게이격배열되는스트립단위층(105)을형성하는제1단계와, 상기가공된스트립단위층(105)에절연층과접착층을형성하는제2단계와, 상기스트립단위층(105)을상부로다수적층하여상기단위스트립(102)이상하로서로수직교차되는스트립적층구조를형성하는제3단계와, 상기적층구조의둘레부를커팅시키는제4단계및 상기단위스트립(102)의각 단부에전류를흘리기위한연결코일(104)을연결하는제5단계를포함하는자기부상구동스테이지용도체판의제조방법및 이를통해제조된도체판및 이를포함하는자기부상구동스테이지를제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种可在真空环境中应用的大型台的制造方法，涉及具有适用于实际设备的大面积移动范围的磁悬浮移动台。 在通过安装在形成在移动台（10）的下部的固定板（110）上而施加电流驱动台（150）的导电板（100）的制造方法中， 用于磁悬浮移动台的导电板包括：第一步骤，形成带状单元层（105），其中多个单位条带（102）通过加工孔水平和分开地布置，通过切割和加工多个部件 沿着导电板构件的一个方向分离; 在加工的带状单元层（105）上形成绝缘层和粘合剂层的第二步骤; 形成带状层压结构的第三步骤，其中，单元条（102）在其上部上堆叠单元条（105），竖直地彼此相交; 切割层叠结构的周缘部的第四工序; 以及连接线圈（104）以将电流流向单元条（102）的每个端部的第五步骤。
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