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公开(公告)号：KR100800388B1
公开(公告)日：2008-02-04
申请号：KR1020060050353
申请日：2006-06-05
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 배율 타원 근사법을 이용한 렌즈 굴절력 측정 방법에 관한 것으로서, 점광원, 콜리메이팅 렌즈, 피측정 렌즈를 거치하기 위한 거치대, 복수의 핀홀이 형성된 패턴판, 수광 센서 및 피측정 렌즈의 굴절력을 측정하기 위한 계산 수단을 구비한 렌즈 미터에서 수행되고, (a) 피측정 렌즈가 거치되지 않은 상태에서 복수의 핀홀에 의해 수광 센서 상에 생성된 복수의 점 각각의 중심 좌표를 측정하는 단계, (b) (a)단계에서 측정된 중심 좌표로부터 서로 마주보는 점 사이의 대각선의 길이를 계산하는 단계, (c) 피측정 렌즈가 거치된 상태에서 복수의 핀홀에 의해 수광 센서 상에 생성된 복수의 점 각각의 중심 좌표를 찾는 단계, (d) (c)단계에서 측정된 중심 좌표로부터 서로 마주보는 점 사이의 대각선의 길이를 계산하는 단계, (e) (b)단계 및 (d)단계에서 계산된 대각선의 길이로부터 각각의 대각선의 배율을 계산하는 단계, 및 (f) (e)의 단계에서 계산된 대각선의 배율로부터 정시 렌즈의 굴절력 또는 실린더 렌즈의 굴절력, 난시력 및 난시각을 계산하는 단계를 포함하는 배율 타원 근사법을 이용한 렌즈 굴절력 측정 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR100870132B1
公开(公告)日：2008-11-25
申请号：KR1020070049409
申请日：2007-05-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: A spectroscopic ellipsometer using an acoustic-optic tunable filter and an ellipsometric method using the same are provided to implement a spectroscopic ellipsometer including a spectral imaging ellipsometer more conveniently by using an acoustic-optic tunable filter(40) as both spectral and polarization devices. A spectroscopic ellipsometer includes a light source(2) emitting homogeneous light; a specimen part(3) in which the homogeneous light emitted from the light source is reflected; a polarization and modulation part(4) which includes an acoustic-optic tunable filter(40) having a wavelength bandwidth determined according to the homogeneous light reflected from the specimen part and an RF signal(63) from an acoustic-optic tunable filter driver(61), and generates two diffracted lights whose wave fronts are perpendicular to each other; a detection unit(5) measuring the two diffracted lights from the acoustic-optic tunable filter(40) to a two-dimensional imaging device at the same time and compensating for the polarized light confusion error generated in the acoustic-optic tunable filter; and a signal processing control part(6) synchronizing and controlling the two-dimensional imaging device to compensate for the polarized light confusion error and calculating the refractive index and thickness of specimen.
Abstract translation: 提供使用声光可调谐滤光器的分光椭偏仪和使用其的椭偏方法，以通过使用声光可调谐滤光器（40）作为光谱和偏振装置来更方便地实现包括光谱成像椭偏仪的光谱椭偏仪。 光谱椭偏仪包括发射均匀光的光源（2）; 其中从光源发射的均匀光被反射的样本部分（3） 偏振和调制部分（4），其包括具有根据从样本部分反射的均匀光确定的波长带宽的声光可调滤波器（40）和来自声光可调谐滤波器驱动器的RF信号（63） 61），并产生波前彼此垂直的两个衍射光; 检测单元（5），同时测量从声光可调滤波器（40）到二维成像装置的两个衍射光，并补偿在声光可调滤波器中产生的偏振光混淆误差; 以及信号处理控制部（6），其同步和控制二维成像装置，以补偿偏振光混淆误差并计算样本的折射率和厚度。
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公开(公告)号：KR1020070116380A
公开(公告)日：2007-12-10
申请号：KR1020060050353
申请日：2006-06-05
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: A method for measuring refractive power of a lens is provided to simply measure refractive power of an orthoscopic lens and a cylinder lens in real time by using a magnitude ellipsoid approximation method. Each center coordinate of plural points is measured, where the points are formed on a light receiving sensor by a plurality of pin holes while a target lens is not settled(S40). The lengths of diagonal lines from the center coordinate to the opposite points are calculated(S50). Each center coordinate of a plurality of points is measured, where the points are formed on the light receiving sensor by the pin holes while the target lens is settled(S40). Then, the lengths of diagonal lines from the center coordinate to the opposite points are calculated(S50). The magnifications of diagonal lines are measured(S60), and the refractive powers of the target lens are calculated from the magnifications of diagonal lines(S80).
Abstract translation: 提供了一种用于测量透镜的屈光力的方法，以通过使用大小椭球近似方法实时地简单地测量无畸变透镜和柱面透镜的屈光力。 测量多个点的每个中心坐标，其中在目标透镜未稳定的情况下通过多个针孔在光接收传感器上形成点（S40）。 计算从中心坐标到相对点的对角线的长度（S50）。 测量多个点的每个中心坐标，其中在目标透镜沉降时通过针孔在光接收传感器上形成点（S40）。 然后，计算从中心坐标到相对点的对角线的长度（S50）。 测量对角线的放大率（S60），并根据对角线的放大率计算目标透镜的屈光度（S80）。
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