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公开(公告)号：KR100870132B1
公开(公告)日：2008-11-25
申请号：KR1020070049409
申请日：2007-05-21
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: A spectroscopic ellipsometer using an acoustic-optic tunable filter and an ellipsometric method using the same are provided to implement a spectroscopic ellipsometer including a spectral imaging ellipsometer more conveniently by using an acoustic-optic tunable filter(40) as both spectral and polarization devices. A spectroscopic ellipsometer includes a light source(2) emitting homogeneous light; a specimen part(3) in which the homogeneous light emitted from the light source is reflected; a polarization and modulation part(4) which includes an acoustic-optic tunable filter(40) having a wavelength bandwidth determined according to the homogeneous light reflected from the specimen part and an RF signal(63) from an acoustic-optic tunable filter driver(61), and generates two diffracted lights whose wave fronts are perpendicular to each other; a detection unit(5) measuring the two diffracted lights from the acoustic-optic tunable filter(40) to a two-dimensional imaging device at the same time and compensating for the polarized light confusion error generated in the acoustic-optic tunable filter; and a signal processing control part(6) synchronizing and controlling the two-dimensional imaging device to compensate for the polarized light confusion error and calculating the refractive index and thickness of specimen.
Abstract translation: 提供使用声光可调谐滤光器的分光椭偏仪和使用其的椭偏方法，以通过使用声光可调谐滤光器（40）作为光谱和偏振装置来更方便地实现包括光谱成像椭偏仪的光谱椭偏仪。 光谱椭偏仪包括发射均匀光的光源（2）; 其中从光源发射的均匀光被反射的样本部分（3） 偏振和调制部分（4），其包括具有根据从样本部分反射的均匀光确定的波长带宽的声光可调滤波器（40）和来自声光可调谐滤波器驱动器的RF信号（63） 61），并产生波前彼此垂直的两个衍射光; 检测单元（5），同时测量从声光可调滤波器（40）到二维成像装置的两个衍射光，并补偿在声光可调滤波器中产生的偏振光混淆误差; 以及信号处理控制部（6），其同步和控制二维成像装置，以补偿偏振光混淆误差并计算样本的折射率和厚度。
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公开(公告)号：KR100870131B1
公开(公告)日：2008-11-25
申请号：KR1020070033442
申请日：2007-04-04
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 특정 성분의 굴절률(농도) 변화와 시료 전체의 평균 굴절률(농도) 변화를 동시에 측정하여 보다 정확한 측정이 가능하고, 금속 박막에 고정화된 물질의 굴절률이 전반사 유도 매질의 굴절률에 비해 매우 클 경우에도 두 가지 변수를 모두 측정 가능토록 한 임계각 및 표면 플라스몬 공명각의 동시 측정 장치 및 방법을 제공하기 위한 것으로, 일실시예로서 광원(20)과; 상기 광원(20)에서 나온 빛(7)을 측정 범위에 따른 일정 각도 및 편광 상태로 변환시키는 광학장치(21)와; 상기 광학장치(21)를 통과한 입사광을 전반사 반응시키는 전반사 유도 매질(40)과; 상기 전반사 유도 매질(40) 밑면에 일정한 패턴을 갖고 도포되어 상기 측정시료와 접촉하여 SPR 현상을 발생시키는 얇은 금속 박막(41)과; 상기 전반사 유도 매질(40)의 밑면, 금속 박막(41)의 각기 굴절률에 따른 전반사 및 SPR 현상에 따라 반사광(8)의 광량 변화를 광학 장치(51)를 통과시켜 검출 하는 검출 장치(50)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
농도, 임계각, 플라스몬 공명각, SPR, 금속 박막-
公开(公告)号：KR1020020043081A
公开(公告)日：2002-06-08
申请号：KR1020000072556
申请日：2000-12-01
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N21/31
CPC classification number: G01J3/2803
Abstract: PURPOSE: A spectrophotometer and method for measuring light intensity is provided to achieve improved resolution by measuring light intensity in a real time basis, while improving accuracy of measurement with a low cost. CONSTITUTION: A spectrophotometer comprises a light source(110) for emitting light of a predetermined wavelength; a transmitting unit for transmitting the light to a sample(130); a head unit(140) including a spectroscope element, a reflector element for reflecting the spectral light; a measuring element for receiving the reflected light incident to the measuring element, and measuring intensity of the light, a driving unit(180) for moving the measuring element, and a stop element for restricting movement range of the measuring element; and a signal processing unit(200) for reproducing the distribution of intensity of the light measured by the measuring element.
Abstract translation: 目的：提供一种分光光度计和光强度测量方法，通过实时测量光强来提高分辨率，同时以低成本提高测量精度。 构成：分光光度计包括用于发射预定波长的光的光源（110）; 发送单元，用于将光发送到样本（130）; 包括分光镜元件的头单元（140），用于反射光谱光的反射器元件; 用于接收入射到测量元件的反射光并测量光的强度的测量元件，用于移动测量元件的驱动单元（180）和用于限制测量元件的移动范围的止动元件; 以及用于再现由测量元件测量的光的强度分布的信号处理单元（200）。
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公开(公告)号：KR100385563B1
公开(公告)日：2003-05-27
申请号：KR1020000072556
申请日：2000-12-01
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N21/31
CPC classification number: G01J3/2803
Abstract: A spectrophotometer and spectrophotometry, using a precision drive means at the photodiode array, is disclosed. The drive means precisely moves the photodiode array by a distance equal to the physical interval between the photodiodes of the photodiode array. Therefore, the spectrophotometer and spectrophotometry of this invention primarily measures light intensities of incident light by the photodiode array, and precisely moves the photodiode array using the drive means by the distance equal to the physical interval between photodiodes of the photodiode array, and measures the light intensities of the incident light at desired positions corresponding to the intervals.
Abstract translation: 公开了在光电二极管阵列处使用精确驱动装置的分光光度计和分光光度测量法。 驱动装置精确地将光电二极管阵列移动等于光电二极管阵列的光电二极管之间的物理间隔的距离。 因此，本发明的分光光度计和分光光度测量法主要通过光电二极管阵列测量入射光的光强度，并使用驱动装置使光电二极管阵列精确移动与光电二极管阵列的光电二极管之间的物理间隔相等的距离，并测量光 入射光在对应于间隔的期望位置处的强度。
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公开(公告)号：KR100865870B1
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：KR1020070050795
申请日：2007-05-25
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: A 3D refractive index distribution measuring device and method of a phase object utilizing the white beam spectral characteristics can measure the 3D refractive index distribution with the minimum rotational motion by making the light of the different wave length which is split by using first and second diffraction gratings incident to the specimen at various angles. A 3D refractive index distribution measuring device of a phase object utilizing the white beam spectral characteristics comprises a light source(2) which emits incident beam(24a) and reference beam(24b); a first diffraction grating(3) diffracting the incident beam emitted from the light source into the light of multiple orders; a specimen part(4) generating the phase delay about the diffracted light passing through the first diffraction grating; a second diffraction grating(5) focusing the light of each wavelength generated from the specimen part and dispersed; a spectrum part(6) collecting spot beam(53) focused by the second diffraction grating and the reference beam to produce white beam again and radiating measurement beam(63) of specific wavelength; a detection part(7) detecting interference signal about the specific wavelength from the measurement beam; and a signal processing and control part(8) storing the interference signal detected by the detection part as data and controlling the first diffraction grating, the specimen part, and the spectrum part.
Abstract translation: 利用白光束光谱特性的相位物体的3D折射率分布测量装置和方法可以通过使通过使用第一和第二衍射光栅分裂的不同波长的光来测量具有最小旋转运动的3D折射率分布 以不同的角度对样本进行事件。 利用白光束光谱特性的相位物体的3D折射率分布测量装置包括发射入射光束（24a）和参考光束（24b）的光源（2）。 第一衍射光栅（3）将从光源发射的入射光束衍射成多个光; 产生围绕穿过第一衍射光栅的衍射光的相位延迟的样本部分（4）; 第二衍射光栅（5），聚焦从样品部分产生的每个波长的光并分散; 收集由第二衍射光栅和参考光束聚焦的光束（53）的光谱部分（6），再次产生白光束并辐射特定波长的测量光束（63）; 检测部（7），从所述测量光束检测关于所述特定波长的干涉信号; 以及信号处理和控制部分（8），存储由检测部分检测的干扰信号作为数据并控制第一衍射光栅，样本部分和光谱部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100926034B1
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：KR1020070109389
申请日：2007-10-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J3/02
Abstract: 본 발명은 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그 시스템 및 이것을 이용한 광학기기에 관한 것으로, 음향광학변조필터의 분광 및 편광 특성을 이용하여 정상파와 비정상파로 분광되어 서로 다른 정보가 담긴 2개의 회절광을 듀얼모드로 측정함으로써, 다층 박막을 포함한 반도체 박막의 굴절률이나 두께 또는 그 형상 및 세포의 굴절률 및 분광 물성치 등을 고속으로 정밀하게 측정할 수 있는 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그 시스템 및 이것을 이용한 광학기기를 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명에 따른 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 시스템은, 광원으로부터 생성된 광을 측정광과 기준광으로 분광시켜 조사해 주는 광원부; 측정광을 시편에 조사하여 반사된 측정광을 얻는 시편부; 기준광을 편광시켜 주는 기준부; 반사된 측정광과 편광된 기준광을 편광시켜 얻은 간섭광으로부터 편광 상태가 다른 2개의 회절광으로 분광시켜 주는 음향광학변조필터; 각 회절광을 검출하는 검출부; 및 검출된 회절광을 이용하여 결상처리 및 음향광학변조필터를 제어하는 신호처리 및 제어부;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명은 이러한 이미징 시스템을 이용하여 이미징하는 방법 및 이미징 방법을 수행하는 광학부재를 포함하는 광학기기를 제공한다.
음향광학변조필터, 복굴절, 편광, 듀얼모드, 편광 및 분광-
公开(公告)号：KR1020090043697A
公开(公告)日：2009-05-07
申请号：KR1020070109389
申请日：2007-10-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J3/02
Abstract: 본 발명은 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그 시스템 및 이것을 이용한 광학기기에 관한 것으로, 음향광학변조필터의 분광 및 편광 특성을 이용하여 정상파와 비정상파로 분광되어 서로 다른 정보가 담긴 2개의 회절광을 듀얼모드로 측정함으로써, 다층 박막을 포함한 반도체 박막의 굴절률이나 두께 또는 그 형상 및 세포의 굴절률 및 분광 물성치 등을 고속으로 정밀하게 측정할 수 있는 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그 시스템 및 이것을 이용한 광학기기를 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명에 따른 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 시스템은, 광원으로부터 생성된 광을 측정광과 기준광으로 분광시켜 조사해 주는 광원부; 측정광을 시편에 조사하여 반사된 측정광을 얻는 시편부; 기준광을 편광시켜 주는 기준부; 반사된 측정광과 편광된 기준광을 편광시켜 얻은 간섭광으로부터 편광 상태가 다른 2개의 회절광으로 분광시켜 주는 음향광학변조필터; 각 회절광을 검출하는 검출부; 및 검출된 회절광을 이용하여 결상처리 및 음향광학변조필터를 제어하는 신호처리 및 제어부;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명은 이러한 이미징 시스템을 이용하여 이미징하는 방법 및 이미징 방법을 수행하는 광학부재를 포함하는 광학기기를 제공한다.
음향광학변조필터, 복굴절, 편광, 듀얼모드, 편광 및 분광-
公开(公告)号：KR100407881B1
公开(公告)日：2003-12-01
申请号：KR1020000070038
申请日：2000-11-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B11/00
Abstract: Disclosed herewith is an optical triangulation displacement sensor using a diffraction grating. The optical triangulation displacement sensor includes a light source element, a condenser, a light-receiving element, an image formation lens, a transmission grating and a light-receiving element. The light source element generates light of certain intensity. The condenser receives the light from the light source element and transmits the light to the surface of measurement. The image formation lens receives the light reflected by the surface of measurement. The transmission grating converts the reflected light having passed through the image formation lens into a plurality of diffracted light rays. In the light-receiving element, an image is formed by the diffracted light rays incident from the transmission grating.
Abstract translation: 这里公开了一种使用衍射光栅的光学三角测量位移传感器。 光学三角测量位移传感器包括光源元件，聚光器，光接收元件，成像透镜，透射光栅和光接收元件。 光源元件产生一定强度的光。 聚光器接收来自光源元件的光并将光传输到测量表面。 成像透镜接收由测量表面反射的光。 透射光栅将通过成像透镜的反射光转换成多个衍射光线。 在光接收元件中，图像由从透射光栅入射的衍射光线形成。
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公开(公告)号：KR1020030037389A
公开(公告)日：2003-05-14
申请号：KR1020010068372
申请日：2001-11-03
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N21/63
Abstract: PURPOSE: A fluorescence spectrometer is provided to analyze a spectrum of light having a wide wavelength band by substituting a monochromatic device having a diffractive grate for a monochromatic device having an acoustic optical turntable filter. CONSTITUTION: A fluorescence spectrometer includes an acoustic optical turntable filter(8). The acoustic optical turntable filter(8) has an optical device(8a) formed with a predetermined structural crystalline, an RF signal generator(81) attached to one end of the optical device(8a), and an RF signal absorber(82) attached to the other end of the optical device(8a) so as to absorb an RF signal propagating wave generated from the RF signal generator(81). An input slit is installed on a light incident side of the acoustic optical turntable filter(8) and an output slit is installed on a light output side of the acoustic optical turntable filter(8).
Abstract translation: 目的：提供一种荧光光谱仪，用于通过用具有衍射格栅的单色器件替代具有声光转盘式滤光器的单色器件来分析具有宽波段的光谱。 构成：荧光光谱仪包括声光转盘式过滤器（8）。 声光转盘过滤器（8）具有形成有预定结构晶体的光学装置（8a），附接到光学装置（8a）的一端的RF信号发生器（81）和附接到其的一个RF信号吸收器（82） 到所述光学装置（8a）的另一端，以吸收从所述RF信号发生器（81）产生的RF信号传播波。 输入狭缝安装在声光转盘过滤器（8）的光入射侧，输出缝安装在声光转盘过滤器（8）的光输出侧。
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公开(公告)号：KR1020020040115A
公开(公告)日：2002-05-30
申请号：KR1020000070038
申请日：2000-11-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B11/00
Abstract: PURPOSE: An optical triangulation displacement sensor using diffraction grating is provided to average error due to noise of light receiving element. CONSTITUTION: A sensor includes a light source element(100); a condenser lens(200); an imaging lens(300); a penetrating type diffraction grating(400); and a light receiving element(500). The condenser lens receives light from the light source element to transmit to a measured surface(10). The imaging lens receives light reflected by the measured surface. The penetrating type diffraction grating converts the reflected light transmitted by the imaging lens into a plurality of diffraction rays. The light receiving element is where image of the diffraction rays is formed.
Abstract translation: 目的：提供使用衍射光栅的光学三角测量位移传感器，以平衡由于光接收元件的噪声引起的误差。 构成：传感器包括光源元件（100）; 聚光透镜（200）; 成像透镜（300）; 穿透型衍射光栅（400）; 和光接收元件（500）。 聚光透镜接收来自光源元件的光以透射到测量表面（10）。 成像透镜接收由测量表面反射的光。 穿透型衍射光栅将由成像透镜透射的反射光转换为多个衍射光。 光接收元件是形成衍射光的图像。
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