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公开(公告)号：WO2015122713A1
公开(公告)日：2015-08-20
申请号：PCT/KR2015/001468
申请日：2015-02-13
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N1/06 , G01N1/28 , G01N23/225
CPC classification number: G01N1/32 , G01N1/286 , H01J37/3053 , H01J2237/045 , H01J2237/20 , H01J2237/3151
Abstract: 본 발명은 주사 전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscope) 분석용 시편을 제조할 수 있는 단면 시편 제조 장치 및 회전형 단면 시편 제조 장치에 관한 것으로서, 대상물의 제 1 면에 제 1 빔을 조사하여 상기 제 1 면을 밀링하는 적어도 하나의 제 1 밀링기; 및 상기 대상물의 상기 제 1 면의 반대면인 제 2 면에 제 2 빔을 조사하여 상기 제 2 면을 밀링하는 적어도 하나의 제 2 밀링기;를 포함할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够制备用于扫描电子显微镜（SEM）分析的样品的横截面样品制备装置和旋转截面样品制备装置，并且每个装置可以包括：至少一个用于照射的第一研磨机 具有第一梁的目标的第一表面，以便铣削第一表面; 以及至少一个第二研磨机，用于以第二光束照射与靶的第一表面相反的表面的第二表面，以便研磨第二表面。
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公开(公告)号：KR101522875B1
公开(公告)日：2015-05-26
申请号：KR1020140017381
申请日：2014-02-14
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은주사전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscope) 분석용시편을제조할수 있는단면시편제조장치에관한것으로서, 대상물의제 1 면에제 1 빔을조사하여상기제 1 면을밀링하는적어도하나의제 1 밀링기; 및상기대상물의상기제 1 면의반대면인제 2 면에제 2 빔을조사하여상기제 2 면을밀링하는적어도하나의제 2 밀링기;를포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够制造用于分析扫描电子显微镜（SEM）的样本的横截面试样制造装置，包括：至少一个第一研磨机，其通过在物体的第一侧上辐射第一光束来研磨第一侧 ; 以及至少一个第二磨机，其通过在作为物体的第一侧的相对侧的第二侧上辐射第二光束来铣削第二侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100032497A
公开(公告)日：2010-03-26
申请号：KR1020080091406
申请日：2008-09-18
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: As the sample preparation device is the making sample sheet process, on a real time basis, the monitoring box the thickness of specimen. The effort of and then to observing the making sample sheet process is reduced. CONSTITUTION: A sample preparation device(400) comprises an ion milling part milling specimen to an ion beam, and an optics measuring unit and a controller measuring the thickness of specimen. A chamber(410) in which in the ion milling part, the milling of specimen is included. With a sample holder(420) in which specimen is placed within a chamber. It is included of the ion gun(430) which examines the ion beam in specimen in order to mill specimen. The optics measuring unit is included of the ripple recto meta(450).
Abstract translation: 目的：作为样品制备装置是制备样品片的过程，实时监测箱体的样品厚度。 减少制作样品片处理的努力，然后进行观察。 构成：样品制备装置（400）包括离子铣削部件将样品铣到离子束，以及光学测量单元和测量样品厚度的控制器。 一个室（410），其中在离子铣削部分中包括试样的铣削。 用样品架（420）将样品放在室内。 它包括在离子枪（430）中，其检查样品中的离子束以便研磨试样。 光学测量单元包括波纹反向元（450）。
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公开(公告)号：KR1020080113762A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：KR1020070062621
申请日：2007-06-26
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: An apparatus for sample analysis is provided to minimize the shading effect due to the bi prism by using carbon nanotube and nanowire having thin diameter of a nano level. An apparatus for sample analysis comprises the field electrons layer, condensing lens(302), objective lens(305), bi prism, static power supply, hologram. The field electrons layer irradiate a electron beam by the field emission effect of the electronics(304). The condensing lens condenses the electron beam radiated from the field emission electron gun and irradiates the sample(303). The objective lens forms the enlargement phase of sample by the electron beam transmitted in sample. The bi prism uses a carbon nanotube(307) generating the interference fringe from the electron beam transmitted in the objective lens. The static power supply Supplies voltage to the bi prism. By using the interference fringe generated in the bi prism, hologram is formed.
Abstract translation: 提供了用于样品分析的装置，以通过使用碳纳米管和具有纳米级直径的纳米线来最小化由于双棱镜引起的阴影效应。 用于样本分析的装置包括场电子层，聚光透镜（302），物镜（305），双棱镜，静电源，全息图。 场电子层通过电子器件的场发射效应（304）照射电子束。 聚光透镜冷凝从场发射电子枪辐射的电子束并照射样品（303）。 物镜通过样品中传输的电子束形成样品的放大相位。 双棱镜使用从物镜中透射的电子束产生干涉条纹的碳纳米管（307）。 静态电源为双棱镜提供电压。 通过使用在双棱镜中产生的干涉条纹，形成全息图。
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公开(公告)号：KR101551339B1
公开(公告)日：2015-09-08
申请号：KR1020140034002
申请日：2014-03-24
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 주사 전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscope) 분석용 시편을 제조할 수 있는 회전형 단면 시편 제조 장치에 관한 것으로서, 내부에 수용 공간이 형성되는 챔버; 상기 챔버에 설치되고, 회전축을 기준으로 방사선상에 복수개의 시편이 등각 배치되어 상기 시편이 상기 수용 공간 안에서 상기 회전축을 중심으로 회전 경로를 따라 여러 각도로 회전 이동될 수 있도록 상기 시편을 지지하는 회전 장치; 및 상기 회전 경로를 따라 회전 이동된 복수개의 시편의 일면에 각각 빔을 조사할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 복수개의 밀링기;를 포함할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用扫描电子显微镜（SEM）制备用于分析的样本的旋转型横截面样本制备装置，其包括：内部具有存储空间的室; 安装在所述腔室上的旋转装置，具有基于旋转轴以相同角度径向布置的多个试样，并且基于所述旋转轴在所述存储空间中沿着所述旋转路径支撑沿各旋转路径旋转的试样; 以及安装在腔室中的多个铣削装置，以沿着旋转路径旋转的多个试样的每一个的一侧辐射梁。
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公开(公告)号：KR100975851B1
公开(公告)日：2010-08-16
申请号：KR1020080091406
申请日：2008-09-18
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 시편 제작 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 본 발명에 따른 시편 제작 장치는 시편 제작 시 실시간으로 시편의 두께를 모니터링 할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 시편 제작 장치는 이온 빔으로 시편을 밀링하는 이온 밀링부, 상기 시편의 두께를 측정하는 광학 측정부 및 상기 이온 밀링부와 상기 광학 측정부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이온 밀링, 시편, 리플렉토메터, 엘립소메터-
公开(公告)号：KR101749920B1
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：KR1020160024859
申请日：2016-03-02
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명에따른실시예들은특성 X 선이입사되는 SDD에서불필요하게발생되는암전류성분을스키밍(skimming)할수 있을뿐만아니라특성 X 선이입사되는 SDD의애노드전압을안정화시킬수 있는구성을가짐으로써, 기존에제시된 X 선검출기들에비하여보다향상된 X선검출성능을제공할수 있다.
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