-
公开(公告)号:WO2015122713A1
公开(公告)日:2015-08-20
申请号:PCT/KR2015/001468
申请日:2015-02-13
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N1/06 , G01N1/28 , G01N23/225
CPC classification number: G01N1/32 , G01N1/286 , H01J37/3053 , H01J2237/045 , H01J2237/20 , H01J2237/3151
Abstract: 본 발명은 주사 전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscope) 분석용 시편을 제조할 수 있는 단면 시편 제조 장치 및 회전형 단면 시편 제조 장치에 관한 것으로서, 대상물의 제 1 면에 제 1 빔을 조사하여 상기 제 1 면을 밀링하는 적어도 하나의 제 1 밀링기; 및 상기 대상물의 상기 제 1 면의 반대면인 제 2 면에 제 2 빔을 조사하여 상기 제 2 면을 밀링하는 적어도 하나의 제 2 밀링기;를 포함할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够制备用于扫描电子显微镜(SEM)分析的样品的横截面样品制备装置和旋转截面样品制备装置,并且每个装置可以包括:至少一个用于照射的第一研磨机 具有第一梁的目标的第一表面,以便铣削第一表面; 以及至少一个第二研磨机,用于以第二光束照射与靶的第一表面相反的表面的第二表面,以便研磨第二表面。
-
公开(公告)号:KR101551339B1
公开(公告)日:2015-09-08
申请号:KR1020140034002
申请日:2014-03-24
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 주사 전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscope) 분석용 시편을 제조할 수 있는 회전형 단면 시편 제조 장치에 관한 것으로서, 내부에 수용 공간이 형성되는 챔버; 상기 챔버에 설치되고, 회전축을 기준으로 방사선상에 복수개의 시편이 등각 배치되어 상기 시편이 상기 수용 공간 안에서 상기 회전축을 중심으로 회전 경로를 따라 여러 각도로 회전 이동될 수 있도록 상기 시편을 지지하는 회전 장치; 및 상기 회전 경로를 따라 회전 이동된 복수개의 시편의 일면에 각각 빔을 조사할 수 있도록 상기 챔버에 설치되는 복수개의 밀링기;를 포함할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用扫描电子显微镜(SEM)制备用于分析的样本的旋转型横截面样本制备装置,其包括:内部具有存储空间的室; 安装在所述腔室上的旋转装置,具有基于旋转轴以相同角度径向布置的多个试样,并且基于所述旋转轴在所述存储空间中沿着所述旋转路径支撑沿各旋转路径旋转的试样; 以及安装在腔室中的多个铣削装置,以沿着旋转路径旋转的多个试样的每一个的一侧辐射梁。
-
公开(公告)号:KR101522875B1
公开(公告)日:2015-05-26
申请号:KR1020140017381
申请日:2014-02-14
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은주사전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscope) 분석용시편을제조할수 있는단면시편제조장치에관한것으로서, 대상물의제 1 면에제 1 빔을조사하여상기제 1 면을밀링하는적어도하나의제 1 밀링기; 및상기대상물의상기제 1 면의반대면인제 2 면에제 2 빔을조사하여상기제 2 면을밀링하는적어도하나의제 2 밀링기;를포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够制造用于分析扫描电子显微镜(SEM)的样本的横截面试样制造装置,包括:至少一个第一研磨机,其通过在物体的第一侧上辐射第一光束来研磨第一侧 ; 以及至少一个第二磨机,其通过在作为物体的第一侧的相对侧的第二侧上辐射第二光束来铣削第二侧。
-
公开(公告)号:KR101749920B1
公开(公告)日:2017-06-22
申请号:KR1020160024859
申请日:2016-03-02
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명에따른실시예들은특성 X 선이입사되는 SDD에서불필요하게발생되는암전류성분을스키밍(skimming)할수 있을뿐만아니라특성 X 선이입사되는 SDD의애노드전압을안정화시킬수 있는구성을가짐으로써, 기존에제시된 X 선검출기들에비하여보다향상된 X선검출성능을제공할수 있다.
-
公开(公告)号:KR101836684B1
公开(公告)日:2018-03-08
申请号:KR1020160109027
申请日:2016-08-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: C03B33/037 , C03B33/03 , C03B23/00 , G02B6/10 , G02B6/12
CPC classification number: Y02P40/57
Abstract: 본발명은유리기판의에지가공을위한정렬장치및 그방법에관한것으로, 안착대의상부에구비된길이방향으로긴 안착가이드레일에유리기판이지지되는안착부재와, 상기안착대및 유리기판의사이에구비되어상기유리기판의에지라인을가공하는가공부재와, 상기가공부재에구비된센싱홀을통해정렬정보를취득하는센싱부재와, 상기취득된정렬정보를통해상기가공부재를이동시켜상기에지라인과가공기준선을정렬시키는이동부재를포함함으로써, OLED에사용되는유리기판을절단한후, 유리기판의에지부분을평탄화시킬경우정해진기준선을따라정렬시키면서가열및 평탄화시킬수 있다.
-
公开(公告)号:KR1020180023522A
公开(公告)日:2018-03-07
申请号:KR1020160109027
申请日:2016-08-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: C03B33/037 , C03B33/03 , C03B23/00 , G02B6/10 , G02B6/12
CPC classification number: Y02P40/57 , C03B33/037 , B24B7/00 , C03B23/0086 , C03B33/03 , G02B6/10 , G02B2006/12038
Abstract: 본발명은유리기판의에지가공을위한정렬장치및 그방법에관한것으로, 안착대의상부에구비된길이방향으로긴 안착가이드레일에유리기판이지지되는안착부재와, 상기안착대및 유리기판의사이에구비되어상기유리기판의에지라인을가공하는가공부재와, 상기가공부재에구비된센싱홀을통해정렬정보를취득하는센싱부재와, 상기취득된정렬정보를통해상기가공부재를이동시켜상기에지라인과가공기준선을정렬시키는이동부재를포함함으로써, OLED에사용되는유리기판을절단한후, 유리기판의에지부분을평탄화시킬경우정해진기준선을따라정렬시키면서가열및 평탄화시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明并涉及一种用于玻璃基板的边缘处理的分选装置和方法,一个安装构件是支撑在具有单个座位在其上,对与玻璃基板之间的座位的长安装所述导轨在纵向方向上的玻璃基板 通过在加工部件中提供的感测部件和用于获取经由加工部件的对准信息用于处理所述玻璃基板的边缘线所获得的排序的信息,并且所述感测孔Eguzemodo在移动到加工部件的比率 通过包括用于对准的磷处理基准线,切割在OLED中使用的玻璃基板后的移动部件,而沿给定的参考线对齐,如果平坦化玻璃基板sikilsu加热和压扁的边缘脾脏。
-
公开(公告)号:KR101244459B1
公开(公告)日:2013-03-18
申请号:KR1020110030480
申请日:2011-04-04
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 열 흡수층으로 입사하는 적외선 에너지를 열로 변환하는 적외선 흡수체 및 변환된 열을 감지하는 적외선 감지체를 이용하여 적외선을 검출하기 위한 적외선 검출기가 개시되어 있다. 이러한 적외선 흡수체는 열을 감지할 수 있는 열 감지체층과 귀금속을 포함하는 열 흡수층을 포함한다. 열 흡수층은 열 감지체층의 상부 또는 하부에 제공된다. 이러한 적외선 흡수체는 80% 이상 또는 90% 이상의 적외선 흡수율을 나타내어 산업적으로 매우 유리하다.
-
公开(公告)号:KR1020120112901A
公开(公告)日:2012-10-12
申请号:KR1020110030480
申请日:2011-04-04
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: An infrared ray absorber and an infrared ray detector using the same are provided to sense infrared energy incident to a heat absorbing layer in a heat sensing layer and to detect heat of a specific wavelength because the heat can be converted into an electronic quantity or signals by passing through a heat selecting unit and electronic signal output unit of the specific wavelength. CONSTITUTION: An infrared ray absorber comprises a heat sensing layer(10) and a heat absorbing layer(20). The heat sensing layer can sense heat. The heat absorbing layer comprises precious metal and laminated in the upper or lower part of the heat sensing layer. The infrared absorber converts infrared ray energy incident to the heat absorbing layer into heat. The thickness of the heat absorbing layer is 2 to 50mm. [Reference numerals] (AA) Signals
Abstract translation: 目的:提供一种红外线吸收器和使用该红外线的红外线探测器,用于感测入射到感热层中的吸热层的红外能量并检测特定波长的热量,因为热量可以转换为电子量或 通过通过特定波长的热选择单元和电子信号输出单元的信号。 构成:红外线吸收体包括热敏层(10)和吸热层(20)。 热传感层可以感测热量。 吸热层由贵金属构成,层叠在感热层的上部或下部。 红外线吸收剂将入射到吸热层的红外线能量转换为热量。 吸热层的厚度为2〜50mm。 (附图标记)(AA)信号
-
-
-
-
-
-
-