公开(公告)号：KR1020080093766A

公开(公告)日：2008-10-22

申请号：KR1020070037957

申请日：2007-04-18

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 윤준보 ,  윤영준 ,  이형석 ,  권일웅 ,  이희철

IPC: B81B7/02 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B3/0018 ,  B81B7/008 ,  H01H2001/0052

Abstract: A MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) actuator and an application device using the same are provided to reduce resistance compositions due to the arrangement of electric wiring by driving third conductive layers using electric field distribution. A MEMS actuator comprises insulation substrates(210), first conductive layers(220) formed on the insulation substrates, second conductive layers(230) separated from the first conductive layers, third conductive layers(240), and power units(260). The third conductive layers are separated from the first and second conductive layers. The power units apply a voltage to the first and second conductive layers. The first and second conductive layers have different areas.

Abstract translation: 提供了一种MEMS（微电子机械系统）致动器及其应用装置，以通过使用电场分布驱动第三导电层来减少由于布线而导致的电阻成分。 MEMS致动器包括绝缘基板（210），形成在绝缘基板上的第一导电层（220），与第一导电层分离的第二导电层（230），第三导电层（240）和功率单元（260）。 第三导电层与第一和第二导电层分离。 功率单元向第一和第二导电层施加电压。 第一和第二导电层具有不同的区域。