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公开(公告)号：WO2015130050A1
公开(公告)日：2015-09-03
申请号：PCT/KR2015/001685
申请日：2015-02-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01J23/04
CPC classification number: H01J1/025 , B64G1/405 , H01J37/32596
Abstract: 본 발명은 고효율 할로우 음극와 이를 적용한 음극 시스템에 관한 것으로서, 두 개 이상의 내화 금속 파트로 구성되는 튜브; 상기 튜브의 끝단에 각각 형성되는 가스 공급부 및 가스 출구; 상기 튜브의 내부에 장착되는 인서트;를 포함한다. 본 발명에 따르면, 두 개 이상의 물질을 이용하여 할로우 음극을 구성하여 열적 안정성, 수명 및 효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种高效率中空阴极及其应用的阴极系统，包括：包含至少两个难熔金属部件的管; 气体供给单元和气体出口分别形成在管的远端; 和安装在管内的插入件。 根据本发明，由于本发明构成使用两种以上物质的中空阴极，因此本发明不仅可以提高热稳定性，寿命和效率，而且可以相应地降低成本。
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公开(公告)号：KR101585889B1
公开(公告)日：2016-02-02
申请号：KR1020140023495
申请日：2014-02-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01J23/04
CPC classification number: H01J1/025 , B64G1/405 , H01J37/32596
Abstract: 본발명은고효율할로우음극와이를적용한음극시스템에관한것으로서, 두개 이상의내화금속파트로구성되는튜브; 상기튜브의끝단에각각형성되는가스공급부및 가스출구; 상기튜브의내부에장착되는인서트;를포함한다. 본발명에따르면, 두개 이상의물질을이용하여할로우음극을구성하여열적안정성, 수명및 효율을높일수 있을뿐만아니라그에따른원가를절감할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR101446083B1
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：KR1020130082653
申请日：2013-07-15
Applicant: 한국과학기술원 , 경희대학교 산학협력단
Abstract: The present invention provides a signal processing method of an ExB probe. The signal processing method comprises the steps of: measuring a probe current spectrum according to an applied voltage of the ExB probe; calculating a characteristic matrix of the ExB probe for connecting the probe current spectrum and an ion energy distribution function of ions that enter the ExB probe; and obtaining a formal solution of the ion energy distribution function by using regularization.
Abstract translation: 本发明提供了ExB探针的信号处理方法。 信号处理方法包括以下步骤：根据ExB探针的施加电压来测量探针电流谱; 计算用于连接探针电流光谱的ExB探针的特征矩阵和进入ExB探针的离子的离子能量分布函数; 并通过正则化获得离子能量分布函数的正式解。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100579886B1
公开(公告)日：2006-05-15
申请号：KR1020040080073
申请日：2004-10-07
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 방사선 빔을 가속시키는 방사선 가속기로부터 생성된 방사선 빔의 일부를 피검체에 조사하는 인공 우주방사선 조사장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 방사선 빔의 빔량 및 에너지의 조절이 가능하도록 하기 위한 것이다.
본 발명에 의한 방사선 빔을 가속시키는 방사선 가속기로부터 전송라인을 통해 상기 방사선 빔의 일부를 피검체에 조사하는 인공 우주방사선 조사장치는, 상기 전송라인으로부터 공급된 방사선 빔을 분산시키는 방사선 빔 분산수단과, 상기 방사선 빔 분산수단에 의해 분산된 방사선 빔의 빔량을 감소시키기 위한 빔량조절수단과, 상기 빔량조절수단을 통과한 빔을 산란시키는 산란수단과, 상기 산란된 방사선 빔 중의 일부만을 통과시켜 빔의 직진성을 증가시키기 위한 콜리메터와, 상기 콜리메터를 통과한 방사선의 빔량을 측정하는 측정수단과, 상기 피검체를 지지하기 위한 지지수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
인공, 방사선, 양성자, 빔, 슬릿, 전자부품, 반도체, SEEAbstract translation: 本发明是使这是，更具体地，涉及用于照射由辐射加速器产生用于加速辐射束到对象的辐射束的一部分的人造空间放射线照射装置上的辐射束的bimryang和能量的控制。
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公开(公告)号：KR1020060031168A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：KR1020040080073
申请日：2004-10-07
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 방사선 빔을 가속시키는 방사선 가속기로부터 생성된 방사선 빔의 일부를 피검체에 조사하는 인공 우주방사선 조사장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 방사선 빔의 빔량 및 에너지의 조절이 가능하도록 하기 위한 것이다.
본 발명에 의한 방사선 빔을 가속시키는 방사선 가속기로부터 전송라인을 통해 상기 방사선 빔의 일부를 피검체에 조사하는 인공 우주방사선 조사장치는, 상기 전송라인으로부터 공급된 방사선 빔을 분산시키는 방사선 빔 분산수단과, 상기 방사선 빔 분산수단에 의해 분산된 방사선 빔의 빔량을 감소시키기 위한 빔량조절수단과, 상기 빔량조절수단을 통과한 빔을 산란시키는 산란수단과, 상기 산란된 방사선 빔 중의 일부만을 통과시켜 빔의 직진성을 증가시키기 위한 콜리메터와, 상기 콜리메터를 통과한 방사선의 빔량을 측정하는 측정수단과, 상기 피검체를 지지하기 위한 지지수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
인공, 방사선, 양성자, 빔, 슬릿, 전자부품, 반도체, SEE-
公开(公告)号：KR101549119B1
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：KR1020130129898
申请日：2013-10-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은, 이온코팅등에적용되는이온에대하여이온의종류, 이온의전하량, 에너지분포를동시에용이하고정밀하게측정할수 있도록하며, 동일에너지를가지는불순물이온을식별할수 있도록하는 ExB 필터부와전위지연탐침부를구비한이온특성분석장치및 그방법에관한것으로, 상기 ExB 필터부와전위지연탐침부를구비한이온특성분석장치는, 이온들의진행방향에수직인자기장을인가하고, 이온들의진행방향및 자기장에수직으로필터링전압(Vf)을인가하여특정하전량및 질량의이온들을통과시키는 ExB 필터를포함하는 ExB 필터부;와, 상기 ExB 필터의출구측에연결구성되어, 상기 ExB 필터부로부터입사된이온들에대한이온지연전압(Vr)을가변하여인가하는전압스위핑과정을수행하여이온지연전압에대응하는에너지를가지는이온들을차폐하고, 이온들의차폐에의해감소하는전류를검출하여이온들의이온에너지분포를검출하는전위지연탐침부;를포함하여구성되어, 이온특성정보및 동일에너지를가지는다른하전량의이온, 불순물이온의이온특성정보를동시에용이하고신속하게분석할수 있도록하는효과를제공한다.
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公开(公告)号：KR1020150049390A
公开(公告)日：2015-05-08
申请号：KR1020130129898
申请日：2013-10-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은, 이온코팅등에적용되는이온에대하여이온의종류, 이온의전하량, 에너지분포를동시에용이하고정밀하게측정할수 있도록하며, 동일에너지를가지는불순물이온을식별할수 있도록하는 ExB 필터부와전위지연탐침부를구비한이온특성분석장치및 그방법에관한것으로, 상기 ExB 필터부와전위지연탐침부를구비한이온특성분석장치는, 이온들의진행방향에수직인자기장을인가하고, 이온들의진행방향및 자기장에수직으로필터링전압(Vf)을인가하여특정하전량및 질량의이온들을통과시키는 ExB 필터를포함하는 ExB 필터부;와, 상기 ExB 필터의출구측에연결구성되어, 상기 ExB 필터부로부터입사된이온들에대한이온지연전압(Vr)을가변하여인가하는전압스위핑과정을수행하여이온지연전압에대응하는에너지를가지는이온들을차폐하고, 이온들의차폐에의해감소하는전류를검출하여이온들의이온에너지분포를검출하는전위지연탐침부;를포함하여구성되어, 이온특성정보및 동일에너지를가지는다른하전량의이온, 불순물이온의이온특성정보를동시에용이하고신속하게분석할수 있도록하는효과를제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及具有ExB滤波器单元和延迟电位探测单元的离子特性分析装置及其方法，其中可以同时存在离子的种类，离子的电荷量和能量分布， 容易且精确地测量施加到离子涂层的离子，并且可以区分具有相同能量的杂质离子。 离子特性分析装置包括：ExB滤波器单元，用于在离子的流动方向上施加垂直磁场，在离子的流动方向和磁场中垂直施加滤波电压（Vf），并且包括用于 通过具有特定电荷量和特定质量的离子; 以及与ExB滤波器的出口侧连接的延迟电位探测单元，通过对从ExB滤波器投射的离子进行改变并施加离子延迟电压（Vr）进行电压扫除，屏蔽具有与离子延迟电压对应的能量的离子 并且通过检测通过离子屏蔽减少的电流来检测离子的离子能量分布。 可以同时，容易且快速地分析具有离子特性信息和相同能量的不同电荷量的离子和杂质离子的离子特征信息。
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公开(公告)号：KR1020150101787A
公开(公告)日：2015-09-04
申请号：KR1020140023495
申请日：2014-02-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01J23/04
CPC classification number: H01J1/025 , B64G1/405 , H01J37/32596 , H01J23/04 , H01J23/02
Abstract: 본 발명은 고효율 할로우 음극와 이를 적용한 음극 시스템에 관한 것으로서, 두 개 이상의 내화 금속 파트로 구성되는 튜브; 상기 튜브의 끝단에 각각 형성되는 가스 공급부 및 가스 출구; 상기 튜브의 내부에 장착되는 인서트;를 포함한다.
본 발명에 따르면, 두 개 이상의 물질을 이용하여 할로우 음극을 구성하여 열적 안정성, 수명 및 효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.Abstract translation: 本发明涉及一种高效率空心阴极和使用其的阴极系统。 空心阴极包括管，其包括至少两个难熔金属部件; 形成在管的端部的闸门供应部分和气体出口; 安装在管中的插入件。 根据本发明，通过使用至少两种材料形成中空阴极，可以提高热稳定性，寿命和效率。 从而可以降低成本。
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