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公开(公告)号：KR101062691B1
公开(公告)日：2011-09-06
申请号：KR1020090008274
申请日：2009-02-03
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/09
Abstract: 본 발명에 의한 미세 구조체의 제조방법은, 제 1 구성층을 준비하는 단계와, 제 1 구성층에 포토레지스트층을 적층하여 포토레지스트 기판을 형성하는 단계와, 포토레지스트 기판을 패턴이 형성되어 있는 마스크를 이용하여 패턴에 따라 노광하는 단계와, 포토레지스트 기판을 현상하는 단계를 포함한다. 본 발명은 패턴 전사를 위해 구성층 위에 도포하던 종래의 개념에서 벗어나 포토레지스트를 최종 미세 구조체를 구성하는 구조물로 활용함으로써, 패터닝 및 식각에 필요한 시간을 획기적으로 단축할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020070029320A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：KR1020050083971
申请日：2005-09-09
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/13357
CPC classification number: G02F1/133615 , B29C33/38 , G02B6/0036 , G02F1/13336 , G02F1/133524
Abstract: An apparatus and a method for manufacturing a large sized light guiding plate are provided to significantly reduce the manufacturing cost of a mold and allow the process of original plates having various lengths, by manufacturing the light guiding plate using only mold having a width equal to an original plate and a length shorter than the original plate. A base(100) supports an original plate(50) of light transmission type synthetic resin to slide in one direction. A lower mold(110) is installed on the base, and contacted with a lower surface of the original plate. The lower mold has protrusions(111) corresponding to optical patterns(50b) formed on the lower surface of the original plate. An upper roller mold(200) rotates with pressing the upper surface of the original plate. A heater is configured to heat the original plate.
Abstract translation: 提供一种用于制造大尺寸导光板的装置和方法，以显着降低模具的制造成本，并允许通过仅使用宽度等于 原版，长度短于原版。 底座（100）支撑透光型合成树脂的原版（50）沿一个方向滑动。 下模具（110）安装在基座上，并与原板的下表面接触。 下模具有对应于形成在原版的下表面上的光学图案（50b）的突起（111）。 上辊模具（200）按压原板的上表面旋转。 加热器被配置为加热原始板。
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公开(公告)号：KR1020110015919A
公开(公告)日：2011-02-17
申请号：KR1020090073370
申请日：2009-08-10
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B62J6/04 , G02F1/1335
CPC classification number: G09F13/12 , B62J6/04 , G09F13/0404 , G09F2013/222
Abstract: PURPOSE: A flexible information display device and a safety-lamp device for a bicycle using the same are provided to display various kinds of information by preparing a display pattern. CONSTITUTION: A flexible information display device comprises: a flexible reflection film(110) having a reflection plate to reflect a light; a first guide film which guides the light incident from an edge portion; a first LED(Light Emitting Diode) module(140) which is installed at an edge portion of the first guide film to irradiate light toward the edge portion; and a first display pattern(123) which emits the light progressing along the first guide film.
Abstract translation: 目的：提供一种灵活的信息显示装置和使用其的自行车的安全灯装置，以通过准备显示图案来显示各种信息。 构成：柔性信息显示装置包括：柔性反射膜（110），具有反射板以反射光; 第一引导膜，其引导从边缘部分入射的光; 第一LED（发光二极管）模块（140），其安装在第一导向膜的边缘部分处以朝向边缘部分照射光; 以及第一显示图案（123），其发射沿着第一引导膜行进的光。
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公开(公告)号：KR1020100089161A
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：KR1020090008274
申请日：2009-02-03
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/09
CPC classification number: G03F7/095 , G03F7/0035 , G03F7/11 , G03F7/2022 , G03F7/26 , G03F7/40 , H01L21/0273
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a microstructure and the microstructure which is manufactured using the method are provided to remarkably reduce time required for a patterning process and an etching process using a photoresist as a structure comprising a final microstructure. CONSTITUTION: A method for manufacturing a microstructure comprises a step of preparing a first composition layer(10) and a step of forming a photoresist substrate by laminating a photoresist layer(13) on the first composition layer. A method for forming the substrate comprises the following steps: spreading a photoresist solution one the first composition layer using a spin coating method, a spray coating method, or a deposition method; and hardening the photoresist solution.
Abstract translation: 目的：提供使用该方法制造的微结构和显微组织的方法，以显着缩短使用光致抗蚀剂作为包含最终微结构的结构的图案化工艺和蚀刻工艺所需的时间。 构成：用于制造微结构的方法包括制备第一组合物层（10）的步骤和通过在第一组合物层上层压光致抗蚀剂层（13）形成光刻胶基材的步骤。 一种形成基板的方法包括以下步骤：使用旋涂法，喷涂法或沉积方法将光致抗蚀剂溶液分散在第一组合物层上; 并硬化光致抗蚀剂溶液。
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公开(公告)号：KR1020050117792A
公开(公告)日：2005-12-15
申请号：KR1020040043013
申请日：2004-06-11
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81B7/02
Abstract: 본 발명은 LIGA공정을 이용하여 판형상의 감광성 폴리머의 측면을 X선 노광하여 가공하는 장치 및 그 가공방법을 개시한다. 본 발명의 감광성 폴리머 측면 가공장치는 베이스와, 베이스의 일측에 설치되는 X선 투광판과, X선 투광판에 부착되는 X선 마스크와, 베이스에 일단이 고정되는 지지축과, 지지축의 상부에 설치되고, X선 감광성 폴리머가 놓여지며, X선 마스크와 측면이 대향하고 있는 지지기판으로 구성되고, 본 발명의 감광성 폴리머 측면 가공방법은 X선 흡수부가 형성된 X선 마스크를 제작하는 단계와, X선 마스크에 판형상의 X선 감광성 폴리머의 측면을 정렬하는 단계와, X선 마스크상에 X선을 노광하는 단계와, X선 감광성 폴리머를 현상액에 함침시켜 현상하는 단계로 구성된다. 이에 따라, 본 발명은 연속적으로 접하고 경사면의 표면조도 특성이 좋은 미세구조물을 제작할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100619477B1
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：KR1020050028129
申请日：2005-04-04
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트에 관한 것으로서, 경사면의 표면조도 특성이 다른 재료에 비하여 상대적으로 좋은 건식필름 레지스트를 이용하여 제조되는 프리즘의 표면을 매끄럽게 하고 프리즘의 제조 오차를 줄이기 위한 V형의 홈을 갖는 프리즘의 금형 제조 방법 및 그 방법에 사용되는 건식필름 레지스트를 개시한다. 본 발명에 따른 건식필름 레지스트를 이용한 프리즘의 금형 제조 방법은 길게 형성된 광흡수부를 갖는 마스크를 건식필름 레지스트에 정렬하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제1경사각으로 입사하는 자외선을 제1 경사노광하는 단계와, 마스크의 상부로부터 수직축에 대하여 소정의 제2경사각으로 입사하는 자외선을 제2 경사노광하는 단계와, 2회의 경사노광된 건식필름 레지스트를 현상하는 단계와, 현상된 건식필름 레지스트 상에 금속재료를 전기도금하여 금속금형을 제조하는 단계를 포함한다. 그에 따라, 본 발명은 프리즘시트의 경사면을 균일하게 할 수 있고, 마스크와 건식필름 레지스트 사이의 간극을 최소화함으로써 제조하고자 하는 프리즘의 금형의 치수 오차를 최소화할 수 있다.
건식필름 레지스트, 경사노광, 마스크, DFR, 프리즘, 금형Abstract translation: 棱镜模具的制造方法技术领域本发明涉及使用该方法中使用的干膜抗蚀剂和干膜抗蚀剂的棱镜模具的制造方法， 具有用于减小棱镜制造误差的V形凹槽的棱镜模具以及用于该方法的干膜抗蚀剂。 紫外线入射在预定的第一相对于垂直轴从所述台架的顶一个倾斜角，和用于使用干膜抗蚀剂的光吸收部按照本发明长形成在干膜抗蚀剂与棱镜的模具的制造方法对准掩模的掩模的 第一倾斜露出;和第二倾斜暴露于紫外光的步骤，其是入射在相对于从所述掩模的顶部的垂直轴线的预定的第二倾斜角，和用于开发倾斜的两倍的步骤暴露的干膜抗蚀剂，一种现象，其中干膜 并且在抗蚀剂上电镀金属材料以生产金属模具。 因此，本发明使得可以使棱镜片的倾斜表面均匀，使掩模与干膜抗蚀剂之间的间隙最小化，并且使要制造的棱镜的模具的尺寸误差最小化。
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公开(公告)号：KR100619476B1
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：KR1020050028151
申请日：2005-04-04
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02F1/13357
Abstract: 본 발명은 광확산부와 집광부를 일체형으로 구비하는 백라이트유닛용 시트 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 백라이트유닛에 사용되는 마이크로렌즈와 프리즘을 일체형으로 제조하도록 마이크로렌즈와 프리즘의 각각에 대응되는 금형상판과 금형하판을 제조하여 사출을 통하여 마이크로렌즈와 프리즘을 동시에 제조할 수 있는 백라이트유닛용 시트 및 그 제조 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 광확산부와 집광부를 일체형으로 구비하는 백라이트유닛용 시트는 상면에는 단면이 U형이고 제1방향으로 길게 형성된 복수의 음각골이 형성되고, 복수의 음각골은 제1방향에 수직인 제2방향으로 배열형으로 배치되며, 하면에는 복수의 볼록렌즈가 제1방향과 제2방향으로 배열형으로 배치된다. 그에 따라, 본 발명은 광확산시트와 집광시트를 일체형으로 제조하여 액정표시장치의 두께를 얇게할 수 있고, 정렬된 금형에 재료를 사출하여 한번에 제조할 수 있을 뿐만 아니라, 하나의 금형으로 계속적으로 광확산시트와 집광시트가 일체형으로 구비된 시트를 제조할 수 있다. 뿐만 아니라, 본 발명은 프리즘시트의 부분을 U형으로 제조하여 사출에 의한 시트의 제조시 모서리 부근에서 가공오차가 발생하는 것을 줄일 수 있다.
백라이트유닛, 시트, 집광, 확산, 프리즘, 렌즈, 사출, 금형Abstract translation: 本发明涉及一种用于具有光漫射部分和集光部分的整体式背光单元的片材及其制造方法，为了一体地制造背光单元中使用的微透镜和棱镜， 公开了一种用于背光单元的片材及其制造方法，该片材通过制造上板和下模并能够同时制造微透镜和棱镜。 光扩散部分和用于具有单件式聚光部具有设置有多个负的横截面的顶表面的背光单元的片是U形的，形成在第一方向gakgol纵向形成，并且根据本发明的在第一方向上的多个负gakgol的 并且多个凸透镜在第一方向和第二方向的下表面上排列成阵列。 因此，本发明是制备光扩散片和聚光片一体地可以连续降低的液晶显示装置的厚度，以及以注射材料在对准模具在同一时间产生，在一个单一的模具 可以制造光扩散片和聚光片一体设置的片。 另外，通过将棱镜片的一部分制成U形，通过注射成型制造片材时，本发明可以减少在角部附近产生加工误差。
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公开(公告)号：KR100815113B1
公开(公告)日：2008-03-20
申请号：KR1020070016760
申请日：2007-02-16
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/0017 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/38
Abstract: A method for producing a microstructure by using horizontal movement between a mold and a photocurable resin is provided to solve the problems caused by the application of vertical pressure onto a mold having a micropattern, and to avoid a need for a demolding step, thereby realizing a continuous process. A method for producing a microstructure by using horizontal movement between a mold(7) and a photocurable resin(4), comprises the steps of: moving a photocurable resin and a mold having a micropattern(11) horizontally relative to each other; passing the photocurable resin through the micropattern to form a microstructure(13) corresponding to the micropattern; and irradiating light to the microstructure to cure the microstructure.
Abstract translation: 提供了通过在模具和可光固化树脂之间的水平运动来生产微结构的方法，以解决由垂直压力施加到具有微图案的模具上引起的问题，并且避免了对脱模步骤的需要，从而实现 连续过程。 通过在模具（7）和光固化树脂（4）之间的水平移动来生产微结构的方法包括以下步骤：使具有微图案（11）的光固化树脂和模具相对于彼此水平移动; 使光固化树脂通过微图案形成与微图案对应的微结构（13）; 并向微结构照射光以固化微结构。
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公开(公告)号：KR100791364B1
公开(公告)日：2008-01-07
申请号：KR1020060069657
申请日：2006-07-25
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B81C1/00198 , B81B5/00 , G03F7/2039 , G03F7/24
Abstract: A fabrication method of a roller with continuous patterns using an X-ray is provided to fabricate a roller having the continuous patterns by radiating the X-ray to a cylindrical roller while rotating the cylindrical roller to which a sensitive material is attached. A fabrication method of a roller with continuous patterns includes the steps of: attaching a sensitive material(22) to an outer peripheral surface of a cylindrical roller(21) having an absorbent(26) for absorbing an X-ray(25) so as to prevent the X-ray from being radiated to the other side which is installed in the cylindrical roller; arranging an axis of the cylindrical roller and an X-ray mask having an X-ray absorbent(23) in parallel to each other; and forming the continuous patterns corresponding a pattern of the X-ray absorbent by irradiating the X-ray to the sensitive material while rotating the cylindrical roller.
Abstract translation: 提供使用X射线的具有连续图案的辊的制造方法，以通过将旋转所述感光材料的圆柱形辊旋转到圆柱形辊来制造具有连续图案的辊。 具有连续图案的辊的制造方法包括以下步骤：将敏感材料（22）附接到具有用于吸收X射线（25）的吸收剂（26）的圆柱形辊（21）的外周表面，以便 以防止X射线照射到安装在圆柱滚子中的另一侧; 将所述圆筒滚子的轴线和具有彼此平行的X射线吸收体（23）的X射线掩模布置; 以及通过在旋转所述圆柱滚子的同时向所述敏感材料照射所述X射线而形成与所述X射线吸收体的图案相对应的连续图案。
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公开(公告)号：KR100760480B1
公开(公告)日：2007-10-04
申请号：KR1020060082154
申请日：2006-08-29
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: A method for fabricating a polymer sheet with micro patterns is provided to allow for mass production of polymer sheets by using ductile molds mounted on a rotating belt which continuously rotates. A method for fabricating a polymer sheet with micro patterns, includes a step of producing ductile molds having predetermined micro patterns through a photolithography process; a step of attaching ductile molds to a rotating belt such that the micro patterns of the ductile molds are oriented in an upward direction; a step of filling the micro patterns of the ductile molds with a curable resin(2); a step of covering the ductile molds with a polymer sheet, and pressing the ductile molds and the polymer sheet against each other; and a step of solidifying the curable resin.
Abstract translation: 提供一种用于制造具有微图案的聚合物片材的方法，以通过使用安装在连续旋转的旋转皮带上的延性模具来批量生产聚合物片材。 一种用于制造具有微图案的聚合物片材的方法包括通过光刻工艺制备具有预定微图案的延性模具的步骤; 将延性模具附接到旋转带的步骤，使得延性模具的微图案向上取向; 用可固化树脂（2）填充延性模具的微图案的步骤; 用聚合物片材覆盖延性模具，并将延性模具和聚合物片材彼此挤压的步骤; 以及使可固化树脂固化的步骤。
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