포토리쏘그래피법과 드라이 에칭법을 이용한 탄소나노튜브다층막 패턴의 제조방법
    1.
    发明授权
    포토리쏘그래피법과 드라이 에칭법을 이용한 탄소나노튜브다층막 패턴의 제조방법 失效
    使用光刻和干蚀刻制造碳纳米管多层图案的方法

    公开(公告)号:KR100533316B1

    公开(公告)日:2005-12-02

    申请号:KR1020040021031

    申请日:2004-03-27

    CPC classification number: B82Y40/00 B82Y30/00 C01B32/168

    Abstract: 본 발명은 아민기가 노출된 기질 위에 카르복실기가 노출된 CNT를 아미드 결합을 통해 반복적으로 고정하여 CNT 다층막 필름을 형성한 다음, 상기 CNT 다층막 필름으로부터 포토리쏘그래법과 드라이 에칭기술을 이용하여 CNT 다층막 패턴을 형성하는 방법 및 상기 CNT 다층막 패턴을 열처리하여 표면에 결함부위(defect site)가 없는 CNT 다층막 패턴을 수득한 다음, 상기 결함부위가 없는 CNT 다층막 패턴에, 계면활성제류 또는 파이-스태킹 (π-stacking)이 가능한 부위를 가지고 있는 화학물질을 물리적으로 고정시켜 다양한 화학적 작용기가 노출되어 있는 CNT 다층막 패턴을 제조하는 방법에 관한 것이다.
    본 발명에 따르면, 선택되지 않은 영역에서도 CNT가 일부 고정되는 종래기술의 문제점을 해결하여, 선택된 영역에서만 CNT가 고정되어 있는 선명한 CNT 다층막 패턴을 형성하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명에 따른 화학적 작용기가 물리적으로 고정되어 표면에 노출된 CNT 다층막 패턴은 바이오센서 제작에 유용하다.

    탄소나노튜브 어레이의 제작방법
    2.
    发明公开
    탄소나노튜브 어레이의 제작방법 失效
    碳纳米管在纳米尺寸图上的对比制备碳纳米管阵列

    公开(公告)号:KR1020040105319A

    公开(公告)日:2004-12-16

    申请号:KR1020030036530

    申请日:2003-06-05

    CPC classification number: B82Y30/00 B82Y40/00 C01B32/162 C01B2202/08

    Abstract: PURPOSE: Provided is a simple method for manufacturing carbon nanotube(CNT) arrays by aligning carbon nanotubes on a nano-sized pattern based on self-assembly of polymeric supramolecules and stanning of metal. CONSTITUTION: The carbon nanotube arrays are manufactured by the following steps of: (i) forming a thin film of polymeric supramolecules inducing self- assembly on a substrate formed by spin-coating, rubbing or solution spreading, wherein the polymeric supramolecules are disk-shaped dendrimer, fan or corn-shaped supramolecules; (ii) annealing the thin film to form ordered structure by self-assembling polymeric supramolecules, wherein the supramolecules are annealed by heating to 240deg.C, higher than phase transition temperature(230deg.C) of the liquid crystal and cooling; (iii) adsorbing metals selectively on the ordered structure formed in self-assembling by using RuO4; (iv) reactive ion etching the thin film to remove the parts on which the metal is not adsorbed, resulting in formation of a nano-sized pattern of supramolecules; (v) printing the nano-sized pattern on the substrate; (vi) arraying carbon nanotubes on the pattern after depositing metal catalyst(Fe, Co or Ni) on the patterned substrate. Also, bio-nanoarrays are manufactured by attaching biomaterials or bio-receptor, bonding to biomaterials selected from the group consisting of protein, peptide, amino acid, DNA, ligand, carbo hydrate, RNA, etc. to CNT arrays.

    Abstract translation: 目的:提供一种简单的制造碳纳米管(CNT)阵列的方法,其通过基于聚合超分子的自组装和金属扫描将纳米尺寸图案上的碳纳米管取向。 构成:通过以下步骤制造碳纳米管阵列:(i)在通过旋涂,摩擦或溶液扩散形成的基底上形成诱导自组装的聚合物超分子的薄膜,其中聚合物超分子是盘形的 树枝状大分子,扇形或玉米状超分子; (ii)通过自组装聚合物超分子对薄膜进行退火以形成有序结构,其中超分子通过加热退火至240℃,高于液晶的相变温度(230℃)并冷却; (iii)通过使用RuO4在自组装形成的有序结构上选择性地吸附金属; (iv)反应离子蚀刻薄膜以去除不吸附金属的部分,形成超分子的纳米尺寸图案; (v)在衬底上印刷纳米尺寸图案; (vi)在图案化衬底上沉积金属催化剂(Fe,Co或Ni)之后,在图案上排列碳纳米管。 另外,生物纳米阵列是通过将生物材料或生物受体连接到碳纳米管阵列上,与选自蛋白质,肽,氨基酸,DNA,配体,碳水化合物,RNA等的生物材料结合而制造的。

    탄소나노튜브 어레이의 제작방법
    3.
    发明授权
    탄소나노튜브 어레이의 제작방법 失效
    制造碳纳米管阵列的方法

    公开(公告)号:KR100549103B1

    公开(公告)日:2006-02-06

    申请号:KR1020030036530

    申请日:2003-06-05

    CPC classification number: B82Y30/00 B82Y40/00 C01B32/162 C01B2202/08

    Abstract: 본 발명은 유기초분자의 자기조립(self-assembly)과 금속의 선택적 화학결합(stanning)을 이용하여 수 나노미터 이하의 사이즈를 가지는 요홈모양이나 기둥모양의 패턴을 형성한 다음, 상기 나노패턴에 금속을 증착하고, 상기 증착된 금속 위에 탄소 나노튜브(CNT)를 배열하는 것을 특징으로 하는 CNT 어레이를 제작하는 방법에 관한 것이다. 또한 본 발명은 상기 CNT 어레이에 바이오물질 또는 바이오물질과 결합하는 바이오 리셉터를 부착시키는 것을 특징으로 하는 바이오 나노어레이의 제조방법에 관한 것이다.
    나노패턴, 유기초분자, 자기조립, 스테이닝, 탄소나노튜브, 어레이

    포토리쏘그래피법과 드라이 에칭법을 이용한 탄소나노튜브다층막 패턴의 제조방법
    4.
    发明公开
    포토리쏘그래피법과 드라이 에칭법을 이용한 탄소나노튜브다층막 패턴의 제조방법 失效
    使用光刻和干蚀刻制备碳纳米管多层图案的方法

    公开(公告)号:KR1020050095742A

    公开(公告)日:2005-09-30

    申请号:KR1020040021031

    申请日:2004-03-27

    CPC classification number: B82Y40/00 B82Y30/00 C01B32/168

    Abstract: 본 발명은 아민기가 노출된 기질 위에 카르복실기가 노출된 CNT를 아미드 결합을 통해 반복적으로 고정하여 CNT 다층막 필름을 형성한 다음, 상기 CNT 다층막 필름으로부터 포토리쏘그래법과 드라이 에칭기술을 이용하여 CNT 다층막 패턴을 형성하는 방법 및 상기 CNT 다층막 패턴을 열처리하여 표면에 결함부위(defect site)가 없는 CNT 다층막 패턴을 수득한 다음, 상기 결함부위가 없는 CNT 다층막 패턴에, 계면활성제류 또는 파이-스태킹 (π-stacking)이 가능한 부위를 가지고 있는 화학물질을 물리적으로 고정시켜 다양한 화학적 작용기가 노출되어 있는 CNT 다층막 패턴을 제조하는 방법에 관한 것이다.
    본 발명에 따르면, 선택되지 않은 영역에서도 CNT가 일부 고정되는 종래기술의 문제점을 해결하여, 선택된 영역에서만 CNT가 고정되어 있는 선명한 CNT 다층막 패턴을 형성하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명에 따른 화학적 작용기가 물리적으로 고정되어 표면에 노출된 CNT 다층막 패턴은 바이오센서 제작에 유용하다.

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