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公开(公告)号：KR20210025161A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020190104601A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: A61B5/6821 , A61B5/24 , G02C11/10 , G02C7/049
Abstract: 본 발명의 일실시예는 높은 전력을 공급할 수 있으며, 전자장치의 설치면적을 줄여 초소형화 할 수 있는 안과용 렌즈 및 이의 제조방법을 제공한다. 여기서, 안과용 렌즈는 렌즈몸체부, 에너지 저장부, 절연커버부 그리고 센싱부를 포함한다. 렌즈몸체부는 착용자의 안구에 구비되며, 일면에 가장자리를 따라 형성되는 설치홈을 가진다. 에너지 저장부는 렌즈몸체부의 설치홈의 적어도 일부 영역에 삽입되어 마련된다. 절연커버부는 설치홈을 막아 에너지 저장부가 설치홈으로부터 유출되지 않도록 한다. 센싱부는 설치홈의 적어도 다른 일부 영역에 마련되고, 에너지 저장부로부터 전기를 전달받으며, 착용자의 생체정보를 감지한다.
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2.发明专利
公开(公告)号：KR20210025149A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020190104315A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2012 , G03F7/34 , H01L21/027 , H01L24/27
Abstract: 본 발명의 일실시예는 개구부의 입구가 상대적으로 더 좁은 패턴을 제작할 수 있는 나노 임프린팅 패턴 제작 방법 및 이에 의해 제작되는 나노 임프린팅 패턴을 제공한다. 여기서, 나노 임프린팅 패턴 제작 방법은 제1기판상에 폴리머 레진을 도포하는 단계와, 베이스부로 갈수록 단면적이 증가하는 형상의 제1패턴부가 형성된 스탬프를 마련하는 단계와, 스탬프로 폴리머 레진을 가압하고 폴리머 레진을 경화시켜, 폴리머 레진에 제1기판으로 갈수록 단면적이 증가하는 기본패턴과, 제1기판상에 밀착되도록 마련되고 기본패턴의 하부를 연결하는 잔류층을 가지는 제2패턴부가 형성되도록 하는 단계와, 스탬프를 제거하는 단계와, 제2패턴부의 상부에 제2기판을 밀착하고, 제2패턴부를 제2기판으로 전사하는 단계와, 잔류층을 제거하여 제2기판으로 갈수록 단면적이 감소하는 역형상 패턴이 남도록 하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR102230702B1
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：KR1020190104315A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2012 , G03F7/34 , H01L21/027 , H01L24/27
Abstract: 본 발명의 일실시예는 개구부의 입구가 상대적으로 더 좁은 패턴을 제작할 수 있는 나노 임프린팅 패턴 제작 방법 및 이에 의해 제작되는 나노 임프린팅 패턴을 제공한다. 여기서, 나노 임프린팅 패턴 제작 방법은 제1기판상에 폴리머 레진을 도포하는 단계와, 베이스부로 갈수록 단면적이 증가하는 형상의 제1패턴부가 형성된 스탬프를 마련하는 단계와, 스탬프로 폴리머 레진을 가압하고 폴리머 레진을 경화시켜, 폴리머 레진에 제1기판으로 갈수록 단면적이 증가하는 기본패턴과, 제1기판상에 밀착되도록 마련되고 기본패턴의 하부를 연결하는 잔류층을 가지는 제2패턴부가 형성되도록 하는 단계와, 스탬프를 제거하는 단계와, 제2패턴부의 상부에 제2기판을 밀착하고, 제2패턴부를 제2기판으로 전사하는 단계와, 잔류층을 제거하여 제2기판으로 갈수록 단면적이 감소하는 역형상 패턴이 남도록 하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR20210030531A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190111397A
申请日：2019-09-09
Applicant: 한국기계연구원 , 한국기초과학지원연구원
Abstract: 본 발명은 진공챔버 외부에 배치되는 홀더의 콤팩트한 구조를 만족하면서도 진공챔버 내부의 진공압이 홀더 측으로 누설되는 것을 차단할 수 있는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 진공챔버에 결합되는 가이드컬럼; 및 샘플이 마련되는 팁이 구비되고, 상기 가이드컬럼을 관통하여 상기 팁이 상기 진공챔버의 내측으로 삽입되는 홀더;를 포함하고, 상기 가이드컬럼의 내면에 결합되고, 상기 홀더의 외면을 접촉 지지하며, 상기 진공챔버 내부의 진공압이 상기 가이드컬럼 및 상기 홀더 사이로 누설되는 것을 차단하는 기밀커넥터;를 더 포함하는 특징을 개시한다.
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公开(公告)号：WO2022211484A1
公开(公告)日：2022-10-06
申请号：PCT/KR2022/004495
申请日：2022-03-30
Applicant: 주식회사 고영테크놀러지 , 한국기계연구원
IPC: G03F7/00
Abstract: 본 개시의 실시예에 따른 임프린팅 장치는 스탬프가 장착 가능하게 구성되는 스탬프 홀더; 상기 스탬프 홀더에 대해 제1 방향에 배치되고, 기판을 장착 가능하게 구성되는 기판 홀더; 상기 기판 홀더에 장착된 상기 기판을 향해 자외선을 방출하도록 구성된 자외선 방출부; 및 상기 기판 홀더와 상기 스탬프 홀더에 장착된 상기 스탬프가 서로 접촉하도록 상기 기판 홀더 및 상기 스탬프 홀더 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있도록 구성된 가압 모듈을 포함하고, 상기 기판 홀더와 상기 스탬프 홀더가 소정 거리 이상 서로 이격된 상태에서, 상기 스탬프를 상기 스탬프 홀더에 장착 가능하게 구성된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2021015508A1
公开(公告)日：2021-01-28
申请号：PCT/KR2020/009503
申请日：2020-07-20
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/00 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F9/00 , H01L21/027
Abstract: 임프린트용 레벨링 유닛 및 이를 포함하는 임프린트 장치에서, 상기 임프린트용 레벨링 유닛은 베이스 베이스플레이트, 이동플레이트 및 복수의 링크부들을 포함한다. 상기 이동플레이트는 상기 베이스플레이트로부터 이격되게 배치되며, 상기 베이스플레이트의 반대방향을 향하는 기준평면을 구비한다. 상기 복수의 링크부들은 상기 베이스플레이트와 상기 이동플레이트를 연결하며, 상기 기준평면의 중심을 기준으로 원주방향을 따라 미리 정해진 간격으로 이격되게 구비되고 상기 기준평면에 가해지는 가압력에 의하여 각각 독립적으로 탄성 변형되면서 상기 이동플레이트의 경사를 조절한다.
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公开(公告)号：KR1020210013415A
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：KR1020190089737
申请日：2019-07-24
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/00 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F9/00 , H01L21/027
Abstract: 본발명은링크조립체에가해지는하중이고르게분산되도록하여스탬프가장착되는수평기준평면이원활하게구동될수 있고, 과도한응력집중에의한메커니즘의파손을방지할수 있으며, 웨이퍼와스탬프사이의평행을유지하여웨이퍼에스탬프가완전접촉되어균일한압력으로가압될수 있도록하는임프린팅용헤드및 이를포함하는임프린팅장치를제공함에있다. 이를위한본 발명은베이스플레이트; 상기베이스플레이트에제1 방향으로이격되게배치되며, 상기베이스플레이트의반대방향을향하는기준평면을구비하는이동플레이트; 및상기베이스플레이트와상기이동플레이트를연결하며, 상기기준평면의중심을기준으로원주방향을따라미리정해진간격으로이격되게구비되고상기기준평면에가해지는가압력에의하여각각독립적으로탄성변형되면서상기이동플레이트의경사를조절하는복수의링크부;를포함하는특징을개시한다.
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