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1.发明专利
公开(公告)号：KR20210025149A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020190104315A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2012 , G03F7/34 , H01L21/027 , H01L24/27
Abstract: 본 발명의 일실시예는 개구부의 입구가 상대적으로 더 좁은 패턴을 제작할 수 있는 나노 임프린팅 패턴 제작 방법 및 이에 의해 제작되는 나노 임프린팅 패턴을 제공한다. 여기서, 나노 임프린팅 패턴 제작 방법은 제1기판상에 폴리머 레진을 도포하는 단계와, 베이스부로 갈수록 단면적이 증가하는 형상의 제1패턴부가 형성된 스탬프를 마련하는 단계와, 스탬프로 폴리머 레진을 가압하고 폴리머 레진을 경화시켜, 폴리머 레진에 제1기판으로 갈수록 단면적이 증가하는 기본패턴과, 제1기판상에 밀착되도록 마련되고 기본패턴의 하부를 연결하는 잔류층을 가지는 제2패턴부가 형성되도록 하는 단계와, 스탬프를 제거하는 단계와, 제2패턴부의 상부에 제2기판을 밀착하고, 제2패턴부를 제2기판으로 전사하는 단계와, 잔류층을 제거하여 제2기판으로 갈수록 단면적이 감소하는 역형상 패턴이 남도록 하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR20210025161A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020190104601A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: A61B5/6821 , A61B5/24 , G02C11/10 , G02C7/049
Abstract: 본 발명의 일실시예는 높은 전력을 공급할 수 있으며, 전자장치의 설치면적을 줄여 초소형화 할 수 있는 안과용 렌즈 및 이의 제조방법을 제공한다. 여기서, 안과용 렌즈는 렌즈몸체부, 에너지 저장부, 절연커버부 그리고 센싱부를 포함한다. 렌즈몸체부는 착용자의 안구에 구비되며, 일면에 가장자리를 따라 형성되는 설치홈을 가진다. 에너지 저장부는 렌즈몸체부의 설치홈의 적어도 일부 영역에 삽입되어 마련된다. 절연커버부는 설치홈을 막아 에너지 저장부가 설치홈으로부터 유출되지 않도록 한다. 센싱부는 설치홈의 적어도 다른 일부 영역에 마련되고, 에너지 저장부로부터 전기를 전달받으며, 착용자의 생체정보를 감지한다.
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公开(公告)号：KR20210025140A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020190104167A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L21/67098 , H01L21/67259
Abstract: 본 발명은 타겟기판에 마이크로 소자가 안정적이고 균일하게 전사되도록 하여 공정의 수율을 개선할 수 있는 마이크로 소자 전사 장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 타겟기판에 마이크로 소자를 부착하는 마이크로 소자 전사 장치로서, 상기 타겟기판이 접촉 지지되는 제1 열접촉면이 형성된 제1 히팅블록을 구비하는 제1 히터유닛; 상기 마이크로 소자를 포함한 캐리어필름이 접촉 지지되는 제2 열접촉면이 형성된 제2 히팅블록을 구비하는 제2 히터유닛; 및 상기 제1 히터유닛과 연결되며, 상기 제1 히팅블록 및 상기 제2 히팅블록이 일직선 상에서 서로 마주하여 대향하도록 상기 제1 히터유닛의 위치를 정렬시키기 위한 제1 이동플랫폼;을 포함하는 특징을 개시한다.
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公开(公告)号：KR102230702B1
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：KR1020190104315A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2012 , G03F7/34 , H01L21/027 , H01L24/27
Abstract: 본 발명의 일실시예는 개구부의 입구가 상대적으로 더 좁은 패턴을 제작할 수 있는 나노 임프린팅 패턴 제작 방법 및 이에 의해 제작되는 나노 임프린팅 패턴을 제공한다. 여기서, 나노 임프린팅 패턴 제작 방법은 제1기판상에 폴리머 레진을 도포하는 단계와, 베이스부로 갈수록 단면적이 증가하는 형상의 제1패턴부가 형성된 스탬프를 마련하는 단계와, 스탬프로 폴리머 레진을 가압하고 폴리머 레진을 경화시켜, 폴리머 레진에 제1기판으로 갈수록 단면적이 증가하는 기본패턴과, 제1기판상에 밀착되도록 마련되고 기본패턴의 하부를 연결하는 잔류층을 가지는 제2패턴부가 형성되도록 하는 단계와, 스탬프를 제거하는 단계와, 제2패턴부의 상부에 제2기판을 밀착하고, 제2패턴부를 제2기판으로 전사하는 단계와, 잔류층을 제거하여 제2기판으로 갈수록 단면적이 감소하는 역형상 패턴이 남도록 하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR20210030531A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190111397A
申请日：2019-09-09
Applicant: 한국기계연구원 , 한국기초과학지원연구원
Abstract: 본 발명은 진공챔버 외부에 배치되는 홀더의 콤팩트한 구조를 만족하면서도 진공챔버 내부의 진공압이 홀더 측으로 누설되는 것을 차단할 수 있는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 진공챔버에 결합되는 가이드컬럼; 및 샘플이 마련되는 팁이 구비되고, 상기 가이드컬럼을 관통하여 상기 팁이 상기 진공챔버의 내측으로 삽입되는 홀더;를 포함하고, 상기 가이드컬럼의 내면에 결합되고, 상기 홀더의 외면을 접촉 지지하며, 상기 진공챔버 내부의 진공압이 상기 가이드컬럼 및 상기 홀더 사이로 누설되는 것을 차단하는 기밀커넥터;를 더 포함하는 특징을 개시한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2022211484A1
公开(公告)日：2022-10-06
申请号：PCT/KR2022/004495
申请日：2022-03-30
Applicant: 주식회사 고영테크놀러지 , 한국기계연구원
IPC: G03F7/00
Abstract: 본 개시의 실시예에 따른 임프린팅 장치는 스탬프가 장착 가능하게 구성되는 스탬프 홀더; 상기 스탬프 홀더에 대해 제1 방향에 배치되고, 기판을 장착 가능하게 구성되는 기판 홀더; 상기 기판 홀더에 장착된 상기 기판을 향해 자외선을 방출하도록 구성된 자외선 방출부; 및 상기 기판 홀더와 상기 스탬프 홀더에 장착된 상기 스탬프가 서로 접촉하도록 상기 기판 홀더 및 상기 스탬프 홀더 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있도록 구성된 가압 모듈을 포함하고, 상기 기판 홀더와 상기 스탬프 홀더가 소정 거리 이상 서로 이격된 상태에서, 상기 스탬프를 상기 스탬프 홀더에 장착 가능하게 구성된다.
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公开(公告)号：WO2023277619A1
公开(公告)日：2023-01-05
申请号：PCT/KR2022/009447
申请日：2022-06-30
IPC: G03F7/20
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크리스 리소그래피 시스템은 패턴 대상층이 형성된 기판이 탑재되는 스테이지, 상기 기판의 위치를 조절하여 상기 기판을 스캐닝하는 기판 스캐너, 상기 패턴 대상층에 광을 조사하는 광 조사기, 상기 광 조사기에서 출사된 광을 선택적으로 투과시켜 상기 패턴 대상층에 패턴 광을 조사하는 디엠디(DMD)를 포함하고, 상기 광 조사기는 펄스 광을 조사하고, 상기 펄스 광의 펄스 폭은 상기 기판의 스캐닝 속도에 동기화된다.
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公开(公告)号：WO2014175535A1
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：PCT/KR2013/012297
申请日：2013-12-27
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: B29C59/046 , B29C43/02 , B29C43/203 , B29C43/222 , B29C2043/025 , B29K2105/0058 , G03F7/0002
Abstract: 본 발명은 롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 제1기판 상에 도포된 레지스트를 롤스탬프로 전사한 후, 이를 제2기판으로 재전사하는 과정에서 롤스탬프의 표면 패턴이 제2기판 위에 전사된 레지스트에 복제되도록 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用辊印的溶液转印型压印光刻的装置和方法，更具体地说，涉及一种用于保证在已经施加在光刻胶上的抗蚀剂转印过程中的装置和方法 第一衬底到卷标，然后将抗蚀剂重新转移到第二衬底，辊印迹的表面图案被复制到已经转移到第二衬底上的抗蚀剂。
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公开(公告)号：WO2021015508A1
公开(公告)日：2021-01-28
申请号：PCT/KR2020/009503
申请日：2020-07-20
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/00 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F9/00 , H01L21/027
Abstract: 임프린트용 레벨링 유닛 및 이를 포함하는 임프린트 장치에서, 상기 임프린트용 레벨링 유닛은 베이스 베이스플레이트, 이동플레이트 및 복수의 링크부들을 포함한다. 상기 이동플레이트는 상기 베이스플레이트로부터 이격되게 배치되며, 상기 베이스플레이트의 반대방향을 향하는 기준평면을 구비한다. 상기 복수의 링크부들은 상기 베이스플레이트와 상기 이동플레이트를 연결하며, 상기 기준평면의 중심을 기준으로 원주방향을 따라 미리 정해진 간격으로 이격되게 구비되고 상기 기준평면에 가해지는 가압력에 의하여 각각 독립적으로 탄성 변형되면서 상기 이동플레이트의 경사를 조절한다.
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公开(公告)号：KR102213853B1
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：KR1020190052443
申请日：2019-05-03
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의일실시예는소형화및 정확한위치제어가가능한탄성힌지유닛및 탄성힌지유닛을이용한선형운동변환장치를제공한다. 여기서, 탄성힌지유닛은제1중심부, 제1탄성부, 제2중심부, 제2탄성부그리고연결부를포함한다. 제1중심부및 제2중심부는가상의회전중심축상에구비된다. 제1탄성부는제1중심부에결합되고, 회전중심축을기준으로반경방향으로연장되되서로교차하는방향으로구비되는복수의탄성암을가진다. 제2탄성부는제2중심부에결합되고, 제1탄성부에대응되도록형성되며회전중심축방향을따라제1탄성부와이격되게배치된다. 연결부는제1탄성부의단부와제2탄성부의단부를연결한다. 제1중심부및 제2중심부가서로멀어지도록이동하면제1탄성부및 제2탄성부는탄성변형하여제1중심부및 제2중심부가서로가까워지도록탄성복원력을발생한다.
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