KR20210025140A - Apparatus for transferring micro device

    公开(公告)号:KR20210025140A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:KR1020190104167A

    申请日:2019-08-26

    CPC classification number: H01L21/67144 H01L21/67098 H01L21/67259

    Abstract: 본 발명은 타겟기판에 마이크로 소자가 안정적이고 균일하게 전사되도록 하여 공정의 수율을 개선할 수 있는 마이크로 소자 전사 장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 타겟기판에 마이크로 소자를 부착하는 마이크로 소자 전사 장치로서, 상기 타겟기판이 접촉 지지되는 제1 열접촉면이 형성된 제1 히팅블록을 구비하는 제1 히터유닛; 상기 마이크로 소자를 포함한 캐리어필름이 접촉 지지되는 제2 열접촉면이 형성된 제2 히팅블록을 구비하는 제2 히터유닛; 및 상기 제1 히터유닛과 연결되며, 상기 제1 히팅블록 및 상기 제2 히팅블록이 일직선 상에서 서로 마주하여 대향하도록 상기 제1 히터유닛의 위치를 정렬시키기 위한 제1 이동플랫폼;을 포함하는 특징을 개시한다.

    리소그래피 장치 및 리소그래피 방법
    2.
    发明申请
    리소그래피 장치 및 리소그래피 방법 审中-公开
    LITHOGRAPHY设备和LITHOGRAPHY方法

    公开(公告)号:WO2011118983A2

    公开(公告)日:2011-09-29

    申请号:PCT/KR2011/002004

    申请日:2011-03-23

    CPC classification number: G03F1/54 G03F1/38 G03F1/50 G03F7/70283 G03F7/70566

    Abstract: 본 발명은 리소그래피 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 리소그래피 장치는 입사광을 단일의 편광방향을 갖는 제1편광으로 변환하는 편광필터; 상기 편광필터와 이격되게 배치되고, 상기 입사하는 제1편광의 투과율을 조절하여 제2편광으로 변환하기 위하여 소정 방향의 편광축을 가지는 편광패턴과, 상기 제1편광을 차단하는 차광패턴이 형성되는 포토 마스크;를 포함하며, 상기 포토 마스크에서 투과율이 조절된 광을 조사함으로써 상기 포토 레지스트를 패터닝하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 재현성 있는 패터닝을 구현할 수 있는 리소그래피 장치가 제공된다.

    Abstract translation: 光刻设备技术领域本发明涉及一种光刻设备。 根据本发明的光刻设备包括将入射光转换成具有单一偏振方向的第一偏振光的偏振滤光器; 以及与所述偏振滤光器间隔开并且具有形成在其上的偏振图案和屏蔽图案的光掩模,其中所述偏振图案具有沿预定方向形成的偏振轴,以调节所述第一偏振光的透射率,并且 将第一偏振光转换成第二偏振光,并且其中屏蔽图案屏蔽第一偏振光。 本发明的光刻设备通过光掩模照射其透射率的光,以对光致抗蚀剂进行图案化。 因此,本发明的光刻设备能够形成具有重复性的图案。

    회전형 보호가스 공급 및 흄 제거장치

    公开(公告)号:WO2019054728A1

    公开(公告)日:2019-03-21

    申请号:PCT/KR2018/010642

    申请日:2018-09-11

    Abstract: 회전형 보호가스 공급 및 흄 제거장치는 헤드부를 포함하는 조형물 가공장치에 장착되고, 고정 플레이트, 회전 플레이트 및 공동 통로부를 포함한다. 상기 고정 플레이트는 상기 헤드부에 결합된다. 상기 회전 플레이트는 상기 고정플레이트에 회전 가능하게 결합된다. 상기 공동 통로부는, 상기 고정플레이트의 결합면 및 상기 회전 플레이트의 결합면 중 적어도 하나에 형성되고, 보호가스를 공급하거나 흄이 제거되는 통로를 가진다.

    롤프린팅/롤임프린팅용 롤 제조방법
    4.
    发明申请
    롤프린팅/롤임프린팅용 롤 제조방법 审中-公开
    卷筒印刷/卷筒印刷用卷筒的制造方法

    公开(公告)号:WO2012078009A2

    公开(公告)日:2012-06-14

    申请号:PCT/KR2011/009522

    申请日:2011-12-09

    Abstract: 본 발명은 롤프린팅/롤임프린팅용 롤 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 롤프린팅/롤임프린팅용 롤 제조방법은 일면에 소정 형상의 인쇄패턴이 형성되며, 자성(磁性)을 가지는 외장부를 준비하는 외장부 준비단계; 자성을 가지는 중심롤에 상기 외장부가 자력에 의하여 부착되도록 상기 중심롤의 외면에 상기 외장부의 타면을 접촉시키는 외장부 부착단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 생산 비용을 절감하여 대량으로 롤프린팅/롤임프린팅용 롤을 제조할 수 있는 롤프린팅/롤임프린팅용 롤 제조방법이 제공된다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种制造用于辊印刷/辊印刷的辊的方法,其中在辊的一个表面上形成预定形状的印刷图案用于印刷/ (磁性)准备; 并且将外部部分附接到中心辊的外表面,使得外部部分通过磁力附着到具有磁性的中心辊。 因此,提供一种能够通过降低生产成本大量生产用于辊印刷/辊印刷的辊的辊印刷/辊压成型印刷辊制造方法。

    광 여과부를 구비하는 선택적 광 투과형 태양전지
    5.
    发明申请
    광 여과부를 구비하는 선택적 광 투과형 태양전지 审中-公开
    选择性光传输太阳能电池,包括一个光过滤器

    公开(公告)号:WO2012077877A1

    公开(公告)日:2012-06-14

    申请号:PCT/KR2011/003777

    申请日:2011-05-23

    Abstract: 본 발명은 광 여과부를 구비하는 선택적 광 투과형 태양전지에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 광 여과부를 구비하는 선택적 광 투과형 태양전지는 상부전극과 상기 상부전극과 대향되게 배치되는 하부전극으로 이루어지는 전극부; 상기 상부전극과 상기 하부전극의 사이에 배치되고, 입사되는 태양광 중 일부 파장의 광을 투과시키는 염료를 포함하는 광흡수층; 상기 하부전극의 하방에 배치되고, 상기 광흡수층에서 투과되는 광 중 일부파장의 광은 투과시키고, 일부 파장의 광은 상기 흡수층으로 재반사하는 광여과부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 광합성에 적합한 파장대의 태양광을 선택적으로 식물의 광합성에 이용하고, 그외의 태양광은 전력 생산에 활용할 수 있는 광 여과부를 구비하는 선택적 광 투과형 태양전지가 제공된다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种包括滤光单元的选择性透光太阳能电池。 根据本发明,包括滤光单元的选择性透光太阳能电池包括:电极部分,包括面向上电极的上电极和下电极; 设置在上电极和下电极之间并具有从入射的太阳光透射一些波长的光的染料的光吸收层; 设置在下电极下方的光滤波单元,其从光吸收层透射的光透射一定波长的光,并将一些波长的光再反射到光吸收层中。 因此,提供了包括光过滤单元的选择性透光太阳能电池,其中具有适合于光合作用的波长的太阳光被选择性地用于植物用于光合作用,并且剩余的太阳光用于发电。

    삼차원 물체 제조용 와이어 공급장치
    7.
    发明申请
    삼차원 물체 제조용 와이어 공급장치 审中-公开
    用于三维物体制造的送丝机

    公开(公告)号:WO2017196137A1

    公开(公告)日:2017-11-16

    申请号:PCT/KR2017/004968

    申请日:2017-05-12

    Abstract: 본 발명은 일 실시예에 따른 삼차원 물체 제조용 와이어 공급장치는, 가공헤드에서 조사되는 레이저빔으로부터 이격된 상태로 구비되어 레이저빔에 와이어를 공급하는 피딩유닛; 상기 레이저빔과 상기 피딩유닛으로부터 각각 이격된 상태로 회전 가능하게 구비되고, 상기 피딩유닛에서 공급되는 와이어가 권취되는 공급스풀유닛; 및 상기 가공헤드에 회전 가능하게 연결되되, 상기 레이저빔이 통과되고, 상기 피딩유닛과 상기 공급스풀유닛이 상호 이격된 상태로 결합되는 회전판유닛;을 포함한다.

    Abstract translation:

    本发明是一种用于制造根据一个实施例的焊丝进给装置的三维物体,所述馈送单元设置有间隔开的从所述加工头状态发出用于供给线的激光束的激光束; 供应卷筒单元,其可旋转地与激光束和供应单元分开设置,供应卷筒单元缠绕在从供应单元供应的线材上; 主轴单元可旋转地连接到加工头,其中激光束通过,并且进给单元和供应卷轴单元彼此分离。

    경사-회전 노광 헤드 및 이를 구비한 사물인터넷 노광 장비

    公开(公告)号:KR102253693B1

    公开(公告)日:2021-05-18

    申请号:KR1020180133748

    申请日:2018-11-02

    Abstract: 경사-회전노광헤드는 XY 스테이지에결합되어노광타겟위를움직이며노광한다. 경사-회전노광헤드는, 노광타겟을향해빛을조사하는광원유닛과, 광원유닛에결합되며기준면과나란한제1 회전축을포함하는틸트각조절부와, 틸트각조절부에결합되며기준면과나란하고제1 회전축과직교하는선형레일을포함하는선형이동부와, 선형이동부에결합되며제1 회전축및 선형레일과직교하는제2 회전축을포함하는회전각조절부를포함한다.

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