公开(公告)号：KR1020080001376A

公开(公告)日：2008-01-03

申请号：KR1020060059791

申请日：2006-06-29

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 김정엽 ,  이학주 ,  최현주 ,  문성욱 ,  박준협

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R1/06733 ,  G01R31/2601

Abstract: A bellows type vertical micro-contact probe is provided to suppress concentration of stress by using a structure having a shape of bellows. A micro-contact probe is used for performing an electrical test for a semiconductor chip. The micro-contact probe has a shape of bellows not to generate concentration of stress in a compressing process. The micro-contact probe is formed by connecting micro-contact probes having a plurality of shapes of bellows in parallel to each other. A tip is protruded from an end of the micro-contact probe. The tip of the micro-contact probe comes in contact with an electrode pad of the semiconductor chip. The tip is oriented to one side instead of a center of the end of the micro-contact probe.

Abstract translation: 提供了一种波纹管式立式微接触探针，通过使用具有波纹管形状的结构来抑制应力集中。 微接触探针用于对半导体芯片进行电气测试。 微接触探针具有在压缩过程中不产生应力集中的波纹管的形状。 微接触探针通过将具有多个形状的波纹管的微接触探针彼此平行地连接而形成。 尖端从微接触探针的一端突出。 微接触探针的尖端与半导体芯片的电极焊盘接触。 尖端被定向到一侧而不是微接触探针的端部的中心。

公开(公告)号：KR100817042B1

公开(公告)日：2008-03-26

申请号：KR1020060059791

申请日：2006-06-29

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 김정엽 ,  이학주 ,  최현주 ,  문성욱 ,  박준협

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 프로브 카드(probe card)에 사용되는 벨로우즈 형상을 가진 수직형 미세 접촉 프로브에 관한 것이다.
반도체 칩의 정상 유무를 전기적으로 테스트하기 위해 사용되는 수직형 프로브 카드는, 프로브가 수직방향으로 세워져 상단의 프로브 카드 본체에 고정되고 하단의 프로브 끝이 반도체 칩의 패드와 접촉되는 구조를 갖는다. 그리고 완전한 전기적 접촉을 위하여 어느 정도의 접촉력이 필요하며, 수직형이기 때문에 패드에 단차가 존재할 경우 이를 극복하기 위해 변형을 흡수할 수 있는 스프링 형태의 구조를 갖는다.
본 발명에서는 수직형 프로브에 변형이 생길 경우 발생되는 응력집중 현상을 제거하기 위하여 벨로우즈 형상으로 프로브를 설계한 것을 특징으로 한다.
수직형 프로브를 벨로우즈 형상으로 설계하면 프로브가 응력을 고르게 받을 수 있으므로 수만 회의 반복 작동횟수를 만족시킬 수 있다.
프로브, 미세 접촉, 수직형, 벨로우즈형