公开(公告)号：KR101955528B1

公开(公告)日：2019-03-07

申请号：KR1020170177553

申请日：2017-12-21

Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단

Inventor： 김승모 ,  박철규 ,  손원식 ,  박중훈

IPC: G01R3/00 ,  G01R31/28

公开(公告)号：KR102101318B1

公开(公告)日：2020-04-16

申请号：KR1020190005616

申请日：2019-01-16

Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 ,  주식회사 코엠테크

Inventor： 김승모 ,  박철규 ,  이경희 ,  박중훈 ,  손원식 ,  송재욱

IPC: G01R1/04 ,  G01R1/067 ,  G01R3/00 ,  H01L21/67 ,  G01R31/28 ,  B23K26/382