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公开(公告)号：KR1020160081519A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020140195458
申请日：2014-12-31
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 주식회사 메디오션
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L22/30
Abstract: 상기반도체검사장치는하단지지체, 선단지지체, 지지대및 지그부를포함한다. 상기하단지지체는하단에배치되고, 수직으로관통하는복수의홀들을포함하며, 상기선단지지체는상기후단지지체의상단에일정한공간을두고배치되고, 수직으로관통하는복수의홀들을포함하며, 상기지지대는상기하단지지체및 상기선단지지체사이에형성되는제1 및제2 지지대들, 상기제1 및제2 지지대들각각의일단이삽입되는제1 지지홀들및, 제1 방향으로직사각형또는타원형의기둥으로길게형성되고상기제1 및제2 지지대들각각의타단이삽입되는제2 지지홀들을포함하며, 상기지그부는 'S'자구조로휘어져상기하단지지체와상기선단지지체의사이에형성되고일단은상기하단지지체의상기홀에고정되며타단은상기선단지지체의상기홀을관통하여상부에일정한길이로돌출되어형성되는핀, 상기하단지지체에형성되어상기핀의일단이삽입되어고정되는제1 핀홀, 및상기선단지지체를관통하며형성되어상기핀의타단이삽입되어상부로돌출되는제2 핀홀을포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种易于安装销的半导体测试装置。 半导体测试装置包括下端支撑件，前端支架，支架和夹具单元。 下端支撑件放置在下端，并且包括多个垂直穿透的孔。 前端支撑件在预定空间处放置在后端支撑件的上端，并且包括多个垂直穿透的孔。 支架包括：形成在下端支架和前端支架之间的第一和第二支撑件; 第一支撑孔插入第一和第二支撑件的每一端; 以及沿着第一方向由矩形或椭圆形长柱形形成并且与第一和第二支撑件的每一端插入的第二支撑孔。 夹具单元包括：弯曲成S形结构的销，以形成在下端支撑件和前端支撑件之间，并将一端固定在下端支撑件的孔中，并使另一端穿过前端支撑件的孔 以预定长度从上部突出; 第一销孔，形成在所述下支撑件中以接收并固定所述销的一端; 以及第二销，其穿过前端支撑件并插入销的另一端以将销的另一端突出到上部。
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公开(公告)号：KR101671221B1
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：KR1020140195458
申请日：2014-12-31
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 주식회사 메디오션
IPC: H01L21/66
Abstract: 상기반도체검사장치는하단지지체, 선단지지체, 지지대및 지그부를포함한다. 상기하단지지체는하단에배치되고, 수직으로관통하는복수의홀들을포함하며, 상기선단지지체는상기후단지지체의상단에일정한공간을두고배치되고, 수직으로관통하는복수의홀들을포함하며, 상기지지대는상기하단지지체및 상기선단지지체사이에형성되는제1 및제2 지지대들, 상기제1 및제2 지지대들각각의일단이삽입되는제1 지지홀들및, 제1 방향으로직사각형또는타원형의기둥으로길게형성되고상기제1 및제2 지지대들각각의타단이삽입되는제2 지지홀들을포함하며, 상기지그부는 'S'자구조로휘어져상기하단지지체와상기선단지지체의사이에형성되고일단은상기하단지지체의상기홀에고정되며타단은상기선단지지체의상기홀을관통하여상부에일정한길이로돌출되어형성되는핀, 상기하단지지체에형성되어상기핀의일단이삽입되어고정되는제1 핀홀, 및상기선단지지체를관통하며형성되어상기핀의타단이삽입되어상부로돌출되는제2 핀홀을포함한다.
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公开(公告)号：KR101384921B1
公开(公告)日：2014-04-17
申请号：KR1020120155410
申请日：2012-12-27
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단
CPC classification number: G01N21/956 , G01N21/8806 , G01N21/8851 , G01N2021/9513
Abstract: The present invention relates to a panel inspecting apparatus capable of inspecting an object to be inspected. The apparatus includes a depth measuring unit measuring the depth of a defect formed in the object to be inspected; a control unit measuring the surface area of the object to be inspected, and dividing the measured area into at least one divided region; a Y-direction moving unit moving in the Y direction; an X-direction moving unit moving in the X-direction; and an image pick-up unit sequentially taking a picture of the at least one divided region to output the image to the control unit. The control unit calculates the current defect generated area by use of the image for the current divided region currently taken by the image pick-up unit, calculates the final defect generated area by adding the current defect generated area to the previous defect generated area calculated by the image for the previous divided region previously taken, determines the object to be inspected as a defect state if the final defect generated area is equal to or more than the set area, and determines the object to be inspected as the defect state if the final defect generated area is less than the set area and if the maximum depth among the depth of the defect generated in the current divided region measured by the depth measuring unit is larger than the set depth. [Reference numerals] (11) Photographing unit; (13) Code read unit; (15) Mounting table detecting unit; (17) Death measuring unit; (20) Control unit; (31) X-direction moving unit; (33) Y-directing moving unit; (35) Lighting unit; (37) Display unit
Abstract translation: 本发明涉及能够检查被检查物体的面板检查装置。 该装置包括：测量在待检查物体中形成的缺陷的深度的深度测量单元; 测量被检查物体的表面积的控制单元，将测定面积划分为至少一个分割区域; Y方向移动单元，沿Y方向移动; 沿X方向移动的X方向移动单元; 以及顺序拍摄所述至少一个分割区域的图像以将图像输出到所述控制单元的图像拾取单元。 控制单元通过使用图像拾取单元当前划分的当前分割区域的图像来计算当前缺陷产生区域，通过将当前缺陷生成区域与当前缺陷生成区域相加，计算出最终缺陷生成区域 如果最终缺陷产生区域等于或大于设定区域，则先前取出的先前分割区域的图像，如果最终的缺陷生成区域等于或大于设定区域，则将被检查对象确定为缺陷状态， 缺陷产生区域小于设定区域，并且如果由深度测量单元测量的当前划分区域中产生的缺陷深度之间的最大深度大于设定深度。 （附图标记）（11）拍摄单元; （13）代码读取单元; （15）安装台检测单元; （17）死亡测量单位; （20）控制单元; （31）X方向移动单元; （33）Y导向移动单元; （35）照明单元; （37）显示单元
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101367108B1
公开(公告)日：2014-02-27
申请号：KR1020120040444
申请日：2012-04-18
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 주식회사 코엠테크
Abstract: 본 발명에 의하면, 형광액이 분사되는 토출구를 형성하는 노즐; 및 상기 토출구에 형광액을 공급하기 위하여 형광액을 저장하는 챔버를 마련하고, 하부에 상기 노즐을 수용하는 몸체를 포함하되, 상기 노즐은, 상기 몸체에 고정 지지되는 지지부와, 상기 지지부보다 고경도의 재질로 만들어지고, 상기 지지부의 내측에 결합되는 보강부를 포함하는 형광액 도포용 디스펜싱 노즐 구조체 및 그 제조방법이 제공된다.
위와 같은 본 발명의 형광액 도포용 디스펜싱 노즐 구조체 및 그 제조방법에 의하면, 고경도의 재질로 만들어진 보강부에 의하여 노즐을 보강함으로써, 노즐의 내마모성을 증대시키고, 이에 따라 노즐의 수명을 연장시킬 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020130117537A
公开(公告)日：2013-10-28
申请号：KR1020120040444
申请日：2012-04-18
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단 , 주식회사 코엠테크
CPC classification number: B05C5/02 , B05B1/02 , B05C17/00503 , H01J9/22
Abstract: PURPOSE: A dispensing nozzle structure for fluorescent liquid coating is provided to reduce manufacturing cost by reducing the weight. CONSTITUTION: A dispensing nozzle structure (10) for fluorescent liquid coating comprises: a nozzle (100) forming an outlet (101) in which fluorescent liquid (11) is emitted; and a body (200) accommodating the nozzle in the lower part, and preparing a chamber storing the fluorescent liquid for supply it to the outlet. The nozzle comprises: a supporting part (110) supported and fixed on the body; and a reinforcement part (120) made of a material having higher hardness than the supporting part, and combined inside of the supporting part.
Abstract translation: 目的：提供用于荧光液体涂布的分配喷嘴结构，以通过减轻重量来降低制造成本。 构成：用于荧光液体涂布的分配喷嘴结构（10）包括：形成其中发射荧光液体（11）的出口（101）的喷嘴（100） 以及容纳在下部的喷嘴的主体（200），并且准备存储荧光液体的室以将其供给到出口。 喷嘴包括：支撑并固定在主体上的支撑部分（110）; 以及由比所述支撑部硬度高的材料制成并且组合在所述支撑部的内部的加强部（120）。
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公开(公告)号：KR1020160092377A
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：KR1020150012939
申请日：2015-01-27
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/06705
Abstract: 본발명은프로브핀의제조방법에관한것으로서, 더욱상세하게는, 지그에복수의프로브핀을고정시킨후 절연층코팅및 검사등의공정을진행하는프로브핀의제조방법에관한것이다. 본발명에따른지그를이용한프로브핀의제조방법은일면에탐침로드를수용할수 있는복수의홈이형성된지그를제공하는단계와, 상기지그의복수의홈에탐침로드를각각배치하는단계와, 상기지그의복수의홈이형성된면에연성소재필름을부착하여, 상기복수의탐침로드를상기지그에고정시키는단계와, 상기지그에고정된상태로복수의탐침로드의치수를측정하는단계와, 상기지그에고정된상태로복수의탐침로드에절연층을형성하는단계와, 상기지그에고정된상태로절연층이형성된탐침로드의치수를측정하는단계를포함한다. 상술한목적을달성하기위한본 발명에따른지그를이용한프로브핀의제조방법은제조공정시간을단축할수 있다는장점이있다. 또한, 탐침로드의공정별치수변화이력을확인할수 있다는장점도있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造探针的方法，更具体地说，涉及制造探针的方法，该方法能够将多个探针固定在夹具上，然后通过绝缘层涂覆和检查过程进行。 根据本发明，所述方法包括：提供夹具，该夹具包括形成在一侧的多个凹槽以存储探针杆; 将探针杆放置在夹具的多个凹槽中的每一个中的步骤; 将柔性膜附着到其上形成有夹具的多个凹槽的侧面以将多个探针杆固定到夹具的步骤; 测量固定到夹具上的探棒的尺寸的步骤; 在固定在夹具上的探棒上形成绝缘层的步骤; 以及测量包括绝缘层并固定到夹具的探棒的尺寸的步骤。 根据本发明，通过使用夹具制造探针的方法能够缩短制造工序的时间，并且还能够通过处理来确认探针棒的尺寸的变化。
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公开(公告)号：KR101646771B1
公开(公告)日：2016-08-08
申请号：KR1020150012939
申请日：2015-01-27
Applicant: 한국기술교육대학교 산학협력단
IPC: G01R1/067
Abstract: 본발명은프로브핀의제조방법에관한것으로서, 더욱상세하게는, 지그에복수의프로브핀을고정시킨후 절연층코팅및 검사등의공정을진행하는프로브핀의제조방법에관한것이다. 본발명에따른지그를이용한프로브핀의제조방법은일면에탐침로드를수용할수 있는복수의홈이형성된지그를제공하는단계와, 상기지그의복수의홈에탐침로드를각각배치하는단계와, 상기지그의복수의홈이형성된면에연성소재필름을부착하여, 상기복수의탐침로드를상기지그에고정시키는단계와, 상기지그에고정된상태로복수의탐침로드의치수를측정하는단계와, 상기지그에고정된상태로복수의탐침로드에절연층을형성하는단계와, 상기지그에고정된상태로절연층이형성된탐침로드의치수를측정하는단계를포함한다. 상술한목적을달성하기위한본 발명에따른지그를이용한프로브핀의제조방법은제조공정시간을단축할수 있다는장점이있다. 또한, 탐침로드의공정별치수변화이력을확인할수 있다는장점도있다.
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