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公开(公告)号：WO2017090792A1
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：PCT/KR2015/012767
申请日：2015-11-26
Applicant: 한국기초과학지원연구원
Abstract: 본 발명은 유해물질의 이온 이동도 측정 장치 및 그의 레퍼런스 데이터 획득방법을 개시한다. 그의 방법은, 전극 사이의 이온의 전하를 검출하여 측정 신호를 획득하는 단계와, 상기 전극을 이온으로부터 절연시켜 노이즈 신호를 획득하는 단계와, 상기 노이즈 신호를 상기 측정 신호에 정렬하는 단계와, 상기 노이즈 신호와 정렬되는 상기 측정 신호의 일부 신호를 제거하는 단계와, 상기 측정 신호의 나머지 신호로부터 레퍼런스 데이터를 계산하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明公开了一种用于测量有害物质的离子迁移率的设备和用于获得其参考数据的方法。 该方法包括以下步骤：检测电极之间的离子电荷以获得测量信号;将电极与离子隔离以获得噪声信号;将噪声信号与测量信号对齐; 去除与噪声信号对齐的测量信号的一些信号，并从测量信号的剩余信号中计算参考数据。
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公开(公告)号：KR101819534B1
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：KR1020170089887
申请日：2017-07-14
Applicant: 한국기초과학지원연구원
CPC classification number: G01N27/62 , H01J49/167
Abstract: 본발명은이온화소스및 그를포함하는이차이온질량분석기를개시한다. 그의소스는, 가스가제공되는노즐전극들과, 상기노즐전극들사이에배치되고, 상기노즐전극들내의상기가스를이온화하는전자들을방출하는필라멘트전극과, 상기노즐전극들외부에배치된접지전극과, 상기접지전극과상기노즐전극들사이에배치되고, 상기이온화된가스를상기접지전극방향으로추출하는추출전극을포함한다. 상기추출전극은상기노즐전극들의외부로부터내부로연장하는추출테일을가질수 있다.
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公开(公告)号：KR101996544B1
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：KR1020170143408
申请日：2017-10-31
Applicant: 한국기초과학지원연구원 , 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/265 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01J27/02
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公开(公告)号：KR101732546B1
公开(公告)日：2017-05-08
申请号：KR1020150166108
申请日：2015-11-26
Applicant: 한국기초과학지원연구원
Abstract: 본발명은유해물질의이온이동도측정장치및 그의레퍼런스데이터획득방법을개시한다. 그의방법은, 전극사이의이온의전하를검출하여측정신호를획득하는단계와, 상기전극을이온으로부터절연시켜노이즈신호를획득하는단계와, 상기노이즈신호를상기측정신호에정렬하는단계와, 상기노이즈신호와정렬되는상기측정신호의일부신호를제거하는단계와, 상기측정신호의나머지신호로부터레퍼런스데이터를계산하는단계를포함한다.
Abstract translation: 本发明公开了一种用于测量有害物质的离子迁移率的设备和用于获得其参考数据的方法。 该方法包括以下步骤：检测电极之间的离子电荷以获得测量信号;将电极与离子隔离以获得噪声信号;将噪声信号与测量信号对齐; 去除与噪声信号对齐的测量信号的一些信号;以及从测量信号的剩余信号中计算参考数据。
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