公开(公告)号：KR102020714B1

公开(公告)日：2019-09-11

申请号：KR1020170142184

申请日：2017-10-30

Applicant: 한국기초과학지원연구원

Inventor： 최명철 ,  박은지 ,  이상주 ,  최창민 ,  김정환 ,  백지영 ,  김정진

IPC: B01J37/34 ,  B01J35/02 ,  B01J23/38 ,  C23F4/00

公开(公告)号：KR101936525B1

公开(公告)日：2019-01-09

申请号：KR1020170142115

申请日：2017-10-30

Applicant: 한국기초과학지원연구원

Inventor： 최명철 ,  이상주 ,  최창민 ,  박은지 ,  백지영 ,  김정진 ,  어재영

IPC: H01J49/42 ,  H01J49/04

公开(公告)号：KR101819534B1

公开(公告)日：2018-03-02

申请号：KR1020170089887

申请日：2017-07-14

Applicant: 한국기초과학지원연구원

Inventor： 최명철 ,  이상주 ,  최창민 ,  박은지 ,  김정환 ,  백지영

IPC: G01N27/62 ,  H01J49/16

CPC classification number: G01N27/62 ,  H01J49/167

Abstract: 본발명은이온화소스및 그를포함하는이차이온질량분석기를개시한다. 그의소스는, 가스가제공되는노즐전극들과, 상기노즐전극들사이에배치되고, 상기노즐전극들내의상기가스를이온화하는전자들을방출하는필라멘트전극과, 상기노즐전극들외부에배치된접지전극과, 상기접지전극과상기노즐전극들사이에배치되고, 상기이온화된가스를상기접지전극방향으로추출하는추출전극을포함한다. 상기추출전극은상기노즐전극들의외부로부터내부로연장하는추출테일을가질수 있다.

公开(公告)号：KR101996544B1

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：KR1020170143408

申请日：2017-10-31

Applicant: 한국기초과학지원연구원 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 최명철 ,  박은지 ,  이상주 ,  최창민 ,  김정환 ,  백지영 ,  김정진 ,  김영독 ,  김일희

IPC: H01L21/265 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01J27/02