公开(公告)号：KR101996544B1

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：KR1020170143408

申请日：2017-10-31

Applicant: 한국기초과학지원연구원 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 최명철 ,  박은지 ,  이상주 ,  최창민 ,  김정환 ,  백지영 ,  김정진 ,  김영독 ,  김일희

IPC: H01L21/265 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01J27/02

公开(公告)号：KR101986049B1

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：KR1020180055452

申请日：2018-05-15

Applicant: 한국기초과학지원연구원

Inventor： 최창민 ,  최명철 ,  이상주 ,  백지영 ,  김정진

IPC: H01J27/02 ,  H01J49/04 ,  H01J49/10

公开(公告)号：KR102020714B1

公开(公告)日：2019-09-11

申请号：KR1020170142184

申请日：2017-10-30

Applicant: 한국기초과학지원연구원

Inventor： 최명철 ,  박은지 ,  이상주 ,  최창민 ,  김정환 ,  백지영 ,  김정진

IPC: B01J37/34 ,  B01J35/02 ,  B01J23/38 ,  C23F4/00

公开(公告)号：KR101936525B1

公开(公告)日：2019-01-09

申请号：KR1020170142115

申请日：2017-10-30

Applicant: 한국기초과학지원연구원

Inventor： 최명철 ,  이상주 ,  최창민 ,  박은지 ,  백지영 ,  김정진 ,  어재영

IPC: H01J49/42 ,  H01J49/04