-
公开(公告)号：KR101764844B1
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：KR1020160057768
申请日：2016-05-11
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , 주식회사 나노텍
CPC classification number: H01L22/12 , G02B6/29389 , H01L21/67242 , H01L22/24 , H01L22/30
Abstract: 일실시예에따른식각상태감시장치는챔버내에배치된식각대상으로부터방출된빛을통과시키는광학필터; 상기광학필터를통과한빛을전기적신호로변화시키는감광센서; 및상기전기적신호를증폭및 노이즈제거하여디스플레이에표시하며, 식각종말점또는챔버내 누설을판단할수 있도록연산하여공정또는설비를직접적으로제어하거나상기설비로제어가능한신호를전달하는신호처리부;를포함하고, 상기광학필터및 상기감광센서는복수개로마련되며, 상기복수개의광학필터및 상기복수개의감광센서는서로다른물질로부터방출된빛을검출할수 있다.
Abstract translation: 根据实施例的蚀刻状态监视装置包括：光学滤波器，用于使从设置在腔室中的蚀刻对象发射的光通过; 光传感器，将通过光学滤波器的光变为电信号; 以及信号处理器，用于通过执行放大和噪声消除来直接控制过程或设施或将可控信号传输到设施，以在显示器上显示电信号并计算腔室中的蚀刻终点或泄漏， 提供多个光学滤波器和多个光电传感器，并且多个光学滤波器和多个光电传感器可以检测从不同材料发射的光。
-
2.发明公开시편에서 반사된 빛의 스펙트럼이 광 센서의 측정감도에 최적화되도록 파장영역별로 밝기가 제어되는 광원 모듈 및 이를 이용한 박막두께 측정장치 有权具有优化为光传感器和薄膜厚度测量装置的反射光的调光光模块使用此
公开(公告)号：KR1020150086955A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：KR1020140007230
申请日：2014-01-21
Applicant: 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
CPC classification number: F21K99/00 , F21S2/005 , F21W2131/40 , F21Y2115/10 , G01B11/06 , G01J3/00 , G01J4/00 , G01N21/8806 , H01L22/12
Abstract: 본발명의일 측면에따르면, 박막이형성된시편에광원이생성한빛을조사하여간섭이일어나는반사광의파장을측정하여상기시편상에형성된상기박막의두께를측정하는박막두께측정장치(Spectral Reflectometor)에있어서, 서로다른파장을가진 n(단, n은 1 이상의정수)가지종류의 LED를포함하는광원부;및상기광원부에인가되는전류를조절하여각 파장별로동일한밝기로발광하도록제어하는제어부; 를포함하는것을특징으로하는박막두께측정장치를제공한다. 본발명에따르면, 다양한파장의 LED에흐르는전류량을각각제어함으로써, 파장별빛의세기를균일하게제어하는효과가있다.
Abstract translation: 薄膜厚度测量装置（光谱反射计）本发明涉及一种薄膜厚度测量装置（光谱反射计），该薄膜厚度测量装置通过将由光源产生的光照射到具有薄膜的样品上来测量形成在样本上的薄膜的厚度，以测量反射的波长 光。 薄膜厚度测量装置包括：具有彼此不同波长的n种（这里n为1以上的整数）的光源单元; 以及控制单元，其调节施加到光源单元的电流，以便控制各个波长的亮度相同。 因此，薄膜厚度测量装置可以通过分别控制流过具有各种波长的LED的电流量来一致地通过波长控制光的强度。
-
公开(公告)号：KR101335301B1
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020120067554
申请日：2012-06-22
Applicant: 김봉수 , 김상범 , 한국산업기술대학교산학협력단
CPC classification number: D04H17/00 , A45D44/00 , A45D2034/002 , B65H35/0006 , D04H1/02
Abstract: The present invention relates to an automatic apparatus and a method for manufacturing cosmetic cotton pads and, more specifically, to an automatic manufacturing apparatus and a method for manufacturing cosmetic cotton pads, capable of cutting a cosmetic cotton fabric in a predetermined shape while supplying the cosmetic cotton fabric and easily packaging the cut cosmetic cotton when making a predetermined number of the cut cosmetic cotton.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造化妆棉垫的自动装置和方法，更具体地，涉及一种能够在提供化妆品的同时切割化妆棉织物以预定形状的化妆棉垫的自动制造装置和方法 棉织物，并且在制作预定数量的切割化妆棉时容易地包装切割的化妆棉。
-
公开(公告)号：KR1020130053517A
公开(公告)日：2013-05-24
申请号：KR1020110118444
申请日：2011-11-14
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , 주식회사 금성아이엠
Abstract: PURPOSE: An automatic press device for separating a margin to seam is provided to improve work efficiency by automatically ironing the margin to seam. CONSTITUTION: A sewn good support unit(110) supports sewn goods. The sewn good support unit supports a margin to seam. A first press unit(120) performs primary ironing to the margin to seam. A second press unit(130) pressurizes the ironed margin to seam. A second press unit performs secondary ironing to the margin. A pedal manipulating unit(140) executes or stops the first and the second press units.
Abstract translation: 目的：提供一种用于将边缘与接缝分开的自动压力装置，通过自动熨烫边缘到接缝来提高工作效率。 规定：缝制好的支撑单元（110）支撑缝制品。 缝制良好的支撑单元支撑接缝边缘。 第一按压单元（120）对接缝进行初步熨烫。 第二按压单元（130）将熨烫边缘加压至接缝。 第二按压单元对边缘执行二次熨烫。 踏板操纵单元（140）执行或停止第一和第二按压单元。
-
公开(公告)号：KR1020090121509A
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：KR1020080047446
申请日：2008-05-22
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
CPC classification number: A61H3/04 , A61H2003/043 , A61H2201/0153 , A61H2201/1215 , A61H2201/5007 , A61H2201/5061 , A61H2205/10 , G01D5/24
Abstract: PURPOSE: An active walking aid and a driving method thereof are provided to assist the walking of user by determining accurate walking direction. CONSTITUTION: An active walking aid comprises a support(110) supporting the elbow of the user, a first and a second handle bar(120) which are installed on right and left sides of the support and equipped with at least one sensor for sensing the force applied by the user, and a controller(140) which determines walking direction by applying the sensed force and the variation thereof to fuzzy algorithm and outputs a driving signal for driving a motor of wheels according to the results.
Abstract translation: 目的：提供积极的助行器及其驾驶方法，以通过确定行走方向的准确性来帮助用户行走。 构成：主动助行器包括支撑用户肘部的支撑件（110），第一和第二手柄（120），其安装在支撑件的左侧和左侧，并配备有至少一个传感器，用于感测 用户施加的力;以及控制器（140），其通过将感测的力及其变化应用于模糊算法来确定步行方向，并且根据结果输出用于驱动车轮的马达的驱动信号。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170097471A
公开(公告)日：2017-08-28
申请号：KR1020160019272
申请日：2016-02-18
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , (주)케파
Abstract: 일실시예에따른기판정렬유닛은, 지지프레임; 상기지지프레임상에선형운동또는회전운동가능하게배치된제1 이동부재; 상기지지프레임및 상기제1 이동부재사이에배치되어, 상기제1 이동부재의운동을보조하는링 가이드부재; 및상기지지프레임, 상기링 가이드부재및 상기제1 이동부재의중앙을관통하여상하운동가능하게배치된제2 이동부재를포함할수 있다.
Abstract translation: 根据一个实施例的基板对齐单元包括：支撑框架; 第一移动构件，线性地或可旋转地布置在支撑框架上; 环形引导构件，其设置在所述支撑框架与所述第一移动构件之间并支撑所述第一移动构件的运动; 以及第二移动部件，该第二移动部件被设置为能够通过支撑框架的中心，环引导部件和第一移动部件上下移动。
-
公开(公告)号：KR1020100131275A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：KR1020090050082
申请日：2009-06-05
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , 주식회사 나노텍
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A wafer flat zone aligner including an edge crack detecting function and a driving method of the same are provided to simultaneously perform a flat zone align operation and an edge crack detecting operation by splitting one laser using a beam splitter. CONSTITUTION: A beam splitter(4) splits laser from laser source into two lasers. A first optical system(2) horizontally radiates first laser split from the beam splitter to the surface of a wafer along a first path. A second optical system(3) radiates second laser split from the beam splitter to the surface of the wafer along a second path. A first optical sensor(9) detects a first laser transmitted through the float zone of the wafer. A second optical sensor(14) detects the second laser transmitted through the edge crack of the wafer.
Abstract translation: 目的：提供包括边缘裂纹检测功能的晶片平面区域对准器及其驱动方法，以通过使用分束器分割一个激光器来同时执行平坦区域对准操作和边缘裂纹检测操作。 构成：分束器（4）将来自激光源的激光器分成两个激光器。 第一光学系统（2）沿着第一路径水平地辐射从分束器到晶片表面的第一激光器分裂。 第二光学系统（3）沿着第二路径从分束器将第二激光器分裂辐射到晶片的表面。 第一光学传感器（9）检测透过晶片的浮动区域的第一激光器。 第二光学传感器（14）检测通过晶片的边缘裂纹传输的第二激光器。
-
公开(公告)号：KR101470134B1
公开(公告)日：2014-12-05
申请号：KR1020130032230
申请日：2013-03-26
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , 김봉수 , 김상범
Abstract: 본발명은화장솜을제조하고포장하는일체형장비에관한것으로, 더욱상세하게는고속의로타리컷방식의제조와제조된사각화장솜을자동으로개수를헤아려포장케이스에삽입하는로타리컷방식의화장솜제조및 포장장비에관한것으로화장솜원단이감겨있고솜원단롤러모터에의하여회전되는 3개이상의솜원단롤러로이루어져 3개이상의화장솜원단을동시에권취시키는입력부와상기의입력부에서 3개이상의층으로권취되어투입된화장솜에패턴을새기고열압축을수행하는열칼렌더롤러와상기의열칼렌더롤러에서압축된화장솜을길이방향으로재단하는재단부와상기의길이방향재단부에의하여길이가재단된화장솜의폭 방향길이재단하기위한로터리커터부를포함하는가공부와상기의가공부에서가공을완료한후 화장솜의개수를헤아리는스택킹장치와적층된화장솜이일정한개수에도달하면분리시키는화장솜분리장치와분리된일정개수의화장솜을이송하는이송장치와상기의이송장치에의하여이송된화장솜을포장케이스에넣어주는푸시장치를포함하는포장부및 상기의입력부와가공부및 포장부를각각제어하는제어부로구성되어화장솜의제조와포장을일체형장비에서진행함으로생산속도한계성과포장인원및 포장속도의한계를극복하여, 적은원단폭을사용하면서도고속생산으로생산량의증가와작업인원은줄어들게하여생산원가를크게줄이는효과가있다.
-
公开(公告)号：KR100949955B1
公开(公告)日：2010-03-29
申请号：KR1020080047446
申请日：2008-05-22
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: 본 발명에 의한 능동형 보행 보조기 및 그 구동 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 능동형 보행 보조기는 사용자의 팔꿈치를 지지하는 지지대, 지지대의 좌우측에 설치되어, 사용자로부터 작용하는 힘의 크기를 감지하기 위한 적어도 하나의 센서를 각각 구비하는 제1 및 제2 핸들바 및 감지된 힘의 크기와 그 크기변화를 퍼지 알고리즘에 적용하여 보행 방향을 결정하여, 결정된 보행 방향 및 힘의 크기에 따라 바퀴의 모터를 구동하기 위한 구동 신호를 출력하는 제어기를 포함하고, 상기 제어부는 상기 힘의 크기와 그 크기 변화를 상기 퍼지 알고리즘에 적용하되, 기 설정된 입력 멤버쉽 함수와 룰베이스에 적용하여 출력값을 결정하고 결정된 상기 출력값에 따라 상기 보행방향을 결정한다. 이를 통해, 본 발명은 보행 방향을 정확하게 결정하고 보행 보조기를 최적으로 구동할 수 있다.
보행 보조기, 핸들바, 보행 의지, 보행 방향, 보행 속도, 퍼지 알고리즘, 적분 제어-
公开(公告)号：KR1020150145783A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140074909
申请日：2014-06-19
Applicant: 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0286 , G01J1/44 , G01J5/061 , G01J2001/448 , G01J2005/062
Abstract: 본발명에따른분광기는광원, 상기광원으로부터방사되는광을분광기내부로입사시키는슬릿을포함하는광입사부, 상기광입사부를통해입사되는광의광경로를형성하고분광시키는광학계, 상기광학계에의해분광된광을감지하는광 센서및 냉각부를포함하고, 상기광학계및 CCD 센서를내부에보유하는하우징과상기하우징의상부에배치되어상기하우징을기밀되도록밀폐하는커버를포함한다. 상기분광기는상기하우징과상기커버사이에배치되는오링과상기하우징또는상기커버에형성되어상기오링이안착되는홈을더 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的光谱仪包括：光源; 光源单元，包括用于将从光源发射的光馈送到光谱仪中的狭缝; 光学系统，用于形成用于通过所述光进给单元馈送的光的光通路，并分割光; 用于感测由光学系统分割的光的光传感器; 和冷却单元。 光谱仪包括：具有光学系统的壳体和其中的CCD传感器; 以及设置在所述壳体上并盖住所述壳体的盖。 光谱仪还包括：设置在壳体和盖之间的O形环; 以及形成在壳体或盖中的凹槽，使得O形环安放在其上。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
16
records
(took 0.022 seconds)
