公开(公告)号：KR1020110015797A

公开(公告)日：2011-02-17

申请号：KR1020090073199

申请日：2009-08-10

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 임실묵 ,  정상묵 ,  이경우

IPC: H01L21/203

CPC classification number: H01L21/2855 ,  C23C14/35 ,  H01L21/324

Abstract: PURPOSE: A lead zirconate titanate(PZT)-based thin film and a method for manufacturing the same are provided to miniaturize the size of particles by setting the deposition power of a PZT-based lower film with low level. CONSTITUTION: A substrate(21) is prepared. A lower electrode(25) is formed on the substrate. A PZT-based lower film(26) is formed on the lower electrode. The chemical formula of the PZT is PbZr_xTi_x-1O_3. The PZT-based upper film(27) is formed in the PZT-based lower film. An upper electrode(29) is formed on the PZT-based upper film. An insulating film is formed between the substrate and the lower electrode.

Abstract translation: 目的：提供一种基于钛酸铅钛酸盐（PZT）的薄膜及其制造方法，通过将低浓度PZT的下层膜的沉积功率设定为使颗粒尺寸小型化。 构成：制备基材（21）。 在基板上形成下电极（25）。 在下电极上形成有基于PZT的下膜（26）。 PZT的化学式为PbZr_xTi_x-10_3。 基于PZT的下部薄膜形成基于PZT的上部薄膜（27）。 上部电极（29）形成在基于PZT的上部膜上。 在基板和下电极之间形成绝缘膜。

公开(公告)号：KR100913553B1

公开(公告)日：2009-08-21

申请号：KR1020070061631

申请日：2007-06-22

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 정종국 ,  정상묵 ,  윤의한 ,  임실묵

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/203

Abstract: 본 발명은 폴리머 기판과 투명전도막 사이에 세라믹 중간층 구조를 갖는 투명전극 기판에 관한 것으로, TFT-LCD 소자와 디스플레이의 구동을 위해 필요한 전극재료로 활용되고 있는 ITO(In
2 O
3 :SnO
2 )를 대체하기 위해 연구되는 XZO(X : Al, Ga, In doped ZnO) 투명전도막 중, Al을 전하운반자인 불순물(dopant)로 첨가한 AZO(Al doped ZnO)을 이용한 폴리머 기판과 투명전도막 사이에 세라믹 중간층 구조를 갖는 투명전극 기판에 관한 것이다. 산화아연을 주성분으로 하는 투명전극재료를 건식법(진공증착법 또는 스퍼터링법)으로 형성시키는 구조에 있어서, 모재(10)를 폴리머로 사용하고, 상기 모재(10)와 산화아연 물질의 투명전도막(30) 사이에 세라믹재료로 중간층(20)을 형성시키는 폴리머 기판과 투명전도막 사이에 세라믹 중간층 구조를 갖는 투명전극 기판으로 구성된다. 따라서, 본 발명은 폴리머 기판과 세라믹 투명전도막(AZO)과의 기계적인 밀착력을 향상시켜 수명을 증가시키고, 폴리머 기판으로부터 투명전도막으로 확산침투되는 가스를 차단하는 효과가 있다.
폴리머 기판, 투명전도막, 세라믹 중간층

公开(公告)号：KR1020080112778A

公开(公告)日：2008-12-26

申请号：KR1020070061631

申请日：2007-06-22

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 정종국 ,  정상묵 ,  윤의한 ,  임실묵

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/203

CPC classification number: H01L31/1884 ,  G02F1/13439 ,  H01L31/022483

Abstract: A transparency electrode plate having a ceramics intermediate layer structure between a polymer substrate and a transparent conductive film is provided to extend life by improving mechanical cohesive power between a polymer substrate and a transparent conductive film. A transparency electrode plate uses polymer as a base material(10). An intermediate layer(20) is formed of a ceramic material between a transparent conductive film(30) of a zinc oxide material and a base material. A transparency electrode plate has a ceramics intermediate layer structure between the polymer substrate and transparent conductive film.

Abstract translation: 提供了在聚合物基板和透明导电膜之间具有陶瓷中间层结构的透明电极板，通过提高聚合物基板和透明导电膜之间的机械粘结力来延长使用寿命。 透明电极板使用聚合物作为基材（10）。 中间层（20）由氧化锌材料的透明导电膜（30）和基材之间的陶瓷材料形成。 透明电极板在聚合物基板和透明导电膜之间具有陶瓷中间层结构。