Abstract:
본 발명은 반도체 웨이퍼 관통 비아홀 금속 필링장치 및 이를 이용한 필링방법에 관한 것으로, 그 목적은 기존 전기도금법 비하여 공정이 쉽고 간단하여 공정비용을 낮출 수 있는 반도체 웨이퍼 관통 비아홀 내의 금속 필링장치 및 이를 이용한 필링방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 관통 비아홀이 형성된 웨이퍼를 고정하는 지그를 갖는 지그 베이스; 상기 지그 베이스의 상부에 설치되는 상부챔버; 상기 지그 베이스의 하부에 설치되는 하부챔버; 상기 상부챔버의 내부에 설치되며, 웨이퍼 상에 올려진 필링금속에 열을 가하여 용융시키는 히터; 상기 하부챔버의 공기를 외부로 배출시켜 하부챔버의 압력을 감소시킴으로써 상부챔버와 하부챔버의 압력차를 유발시켜 용융된 필링금속을 관통 비아홀에 충진시키는 진공펌프로 구성된 반도체 웨이퍼 관통 비아홀 금속 필링장치 및 이를 이용한 필링방법에 관한 것을 기술적 요지로 한다.
Abstract:
본 출원은 차량 충돌시 충돌을 감지하기 위하여 차체의 변형량을 감지하며 접착방식으로 차체에 부착되는 에어백 센서모듈 및 에어백 센서모듈이 통합된 차체에 관한 것으로서, 본 출원의 일 실시예에 따르면, 차체에 접착방식으로 부착되는 메인기판, 상기 메인기판상에 형성되며, 차체의 충돌에 따른 차체의 변형에 따라 같이 변형되어 그 변형량을 측정하는 스트레인 센서를 포함하여 이루어져, 차체의 충돌여부를 감지하는 충돌감지 센서부를 포함하는 접착방식으로 장착되는 에어백 센서모듈이 개시된다.
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본 발명의 밀폐공간이 형성된 구리부재는, 구리 재질의 상부 결합판 및 상기 상부 결합판에 결합되는 구리 재질의 하부 결합판을 포함하고, 상기 상부 결합판 및 상기 하부 결합판 사이에는 기능성 물질이 충진되는 밀폐공간이 형성되며, 상기 상부 결합판 및 상기 하부 결합판에는 상기 밀폐공간의 둘레를 따라 접착제가 도포되는 접착면이 형성되는 몸체부 및 상기 상부 결합판 및 하부 결합판의 접착면 사이에 설치되어 상기 상부 결합판 및 하부 결합판을 고정하는 고정부를 포함한다.
Abstract:
A multi-layered nano thin film adhesive of the present invention comprises a curable adhesive cured by an applied heat and a heating element heating according to a heat applied to the adhesive. The adhesive can be cured at a lower temperature than a curing temperature of a general curable adhesive. Therefore, the adhesion is possible by using the curable adhesive even when the adhering object is weak to the temperature.
Abstract:
본 발명의 오버레이 용접용 메탈코어드 와이어는, 외피 및 상기 외피 내에 충진되는 충진재를 포함하는 오버레이 용접용 와이어에 있어서, 상기 충진재는 합금분말 및 플럭스분말을 포함하며, 상기 합금분말은 Fe-Cr-C 합금을 기본 조성으로 하고, 비드의 희석률에 따라 Cr 및 C의 질량 비율을 조절함으로써, 용접 완료 후 용착부의 최종 합금 조성이 오스테나이트로부터 마르텐사이트로 변태되는 순간인 변형유기 상변태 경계선에 근접하도록 형성되며, 상기 플럭스분말은 Mn, Al, Si, Ti, ZrO 2 , NaF 및 MgF 2 가 각각 소정 질량 비율로 첨가되어 조성되고, 각 조성 성분의 질량 비율에 따라 비드의 희석률 조절이 가능하다.
Abstract:
본 발명의 밀폐공간이 형성된 구리부재는, 구리 재질의 상부 결합판 및 상기 상부 결합판에 결합되는 구리 재질의 하부 결합판을 포함하고, 상기 상부 결합판 및 상기 하부 결합판 사이에는 기능성 물질이 충진되는 밀폐공간이 형성되며, 상기 상부 결합판 및 상기 하부 결합판에는 상기 밀폐공간의 둘레를 따라 접착제가 도포되는 접착면이 형성되는 몸체부 및 상기 상부 결합판 및 하부 결합판의 접착면 사이에 설치되어 상기 상부 결합판 및 하부 결합판을 고정하는 고정부를 포함한다.