질소산화물가스(NOX)검출용반도체검지물질과그제조방법및이를이용한가스센서
    1.
    发明授权
    질소산화물가스(NOX)검출용반도체검지물질과그제조방법및이를이용한가스센서 失效
    NOX敏感半导体元件及其制造方法和传感器

    公开(公告)号:KR100167852B1

    公开(公告)日:1999-05-01

    申请号:KR1019960038869

    申请日:1996-09-09

    Abstract: 본 발명은 질소 산화물 가스 검출용 반도체 검지물질과 및 이를 이용한 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것으로 각종 연소기, 보일러 및 자동차등에서 발생하는 유해가스인 질소산화물(NO
    X )의 검지 및 농도계측용으로 사용할 수 있게 한 것이다.
    입도크기 3미크론(㎛)이하의 WO
    3 에 촉매활성제로 TiO
    2 을 1~10%, Ru(혹은 Au)를 0.5~5.0%씩 각각 첨가한 것을 특징으로 하는 질소 산화물가스 검출용 반도체 검질 물질 [Ru(혹은 Au)-TiO
    2 -WO
    3 ]이며 이 제조방법은 센서의 모물질로 사용하기 위해 고순도의 산화텅스텐 분말을 체(sieve) 및 침강분리를 하여서 3미크론(㎛)이하의 미세한 물질만을 수집하고, 활성 촉매 첨가제로는 TiO
    2 를 10wt%이내로 혼합하여, 이것을 볼밀에 넣고 3시간이상 분쇄 혼합한 후, 시료를 공기분위기의 600℃~900℃에서, 3시간이내로 열처리 하는 공정과 이 분말에 귀금속 중량비가 0.5~5.0%되도록 Ru(Au)Cl
    4 와 터어빈올을 10%이내의 유기 바인더를 사용하여 1시간이상 핸드밀로 혼합분쇄하여 점액성물질인 센서검지물질(폐이스트)을 제조한다.

    질소산화물가스(NOX)검출용반도체검지물질과그제조방법및이를이용한가스센서

    公开(公告)号:KR1019980020390A

    公开(公告)日:1998-06-25

    申请号:KR1019960038869

    申请日:1996-09-09

    Abstract: 본 발명은 질소 산화물 가스 검출용 반도체 검지물질과 및 이를 이용한 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것으로 각종연소기, 보일러 및 자동차 등에서 발생하는 유해가스인 질소산화물(NOx)의 검지 및 농도계측용으로 사용할 수 있게 한 것이다.
    입도크기 3미크론(㎛)이하의 WO
    3 에 촉매활성제로 TiO
    2 을 1~10%, Ru(혹은Au)를 0.5~5.0% 씩 각각 첨가한 것을 특징으로 하는 질소 산화물 가스 검출용 반도체 검지 물질[Ru(혹은Au)-TiO
    2 -WO
    3 ]이며 이 제조방법은 센서의 모물질로 사용하기 위해 고순도의 산화텅스텐분말을 체(sieve) 및 침강분리를 하여서 3 미크론(㎛)이하의 미세한 물질만을 수집하고, 활성 촉매첨가제로서는 TiO
    2 를 10wt%이내로 혼합하여, 이것을 볼밑에 넣고 3시간이상 분쇄 혼합한 후, 시료를 공기분위기의 600℃~900℃에서, 3시간이내로 열처리 하는 공정과 이 분말에 귀금속 중량비가 0.5~5.0% 되도록 Ru(Au)Cl
    4 와 터어핀올을 10%이내의 유기 바인더를 사용하여 1시간이상 핸드밀로 혼합분쇄하여 점액성물질인 센서검지물질(페이스트)을 제조한다.

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