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公开(公告)号：WO2023068555A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2022/013600
申请日：2022-09-13
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 스텐실 제조방법에 관한 것으로서, 미세 인쇄 패턴에 대응되는 스텐실 홀과; 상기 스텐실 홀을 가로지르며 스텐실 홀 높이보다 작은 높이로 형성되어 스텐실 홀 형상을 지지하는 브리지를; 포함하여 구성되는 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 스텐실 제조방법으로서, 유리 기판 상층의 Cr 박막에 상기 브리지 패턴을 구현시킨 브리지 패턴 제작용 크롬 마스크 상단에 감광제를 도포하고, 상기 감광제 상단에 스텐실 홀 패턴에 형성된 스텐실 홀 제작용 포토마스크를 올리는 a 단계; 상측에서 자외선 노광하는 상단노광 후, 상기 감광제에 상부에 스텐실 홀 패턴을 감광시킨 후, 스텐실 홀 제작용 포토마스크를 제거하는 단계; 하측에서 자외선 노광하는 하단 노광 후, 상기 감광제에 하부에 브리지 패턴을 감광시키는 단계; 상기 감광제를 현상하여 유리 기판 상층의 Cr 박막에, 저부에 브리지가 음각 형성된 양각 스텐실 홀 패턴을 형성시키는 단계; 상기 감광제 스텐실 패턴에 금속도금 전주공정을 실행하여 금속 도금층을 형성시키는 단계; 상기 금속 도금층을 분리하여 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 스텐실 마스크를 획득하는 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2022270685A1
公开(公告)日：2022-12-29
申请号：PCT/KR2021/013346
申请日：2021-09-29
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 면상발열체 및 면상발열체 제조방법에 관한 것으로서, 상기 면상발열체는 기판의 상측에 메쉬 패턴 형상으로 형성되는 발열부를 포함하여 구성되는 면상 발열체에 관한 것으로서, 상기 메쉬 패턴 형상이 반복 주기를 가지는 곡선으로 된 위사 패턴과, 반복 주기를 가지는 곡선으로 된 경사 패턴이 교차되어 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하여, 면상발열체를 투명하게 제작하며, 스타버스터 현상이 없으면서 면저항을 설계에 따라 정할 수 있는 면상발열체 및 면상발열체 제조방법이 제공되는 이점이 있다.
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