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公开(公告)号：KR102241680B1
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：KR1020150123916A
申请日：2015-09-02
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/041 , G06F2203/04103
Abstract: 본 발명은 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 전극으로 활성화되는 센서전극을 1회적 공정에 의하여 함께 구현함으로써, 전극물질의 충진 특성 및 배선전극과 센서전극의 정렬 작업 특성을 동시에 만족할 수 있는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명은, 제1위상전이마스크와, 상기 제1위상전이마스크와 직교된 방향으로 패턴이 구현된 제2위상전이마스크를 준비하는 위상전이마스크 준비단계; 기판 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제1위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 패턴이 일방향으로 형성된 일방향패턴 금속시편을 형성하는 일방향패턴 형성단계; 상기 일방향패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제2위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 메시패턴이 형성된 메시패턴 금속시편을 형성하되, 상대적으로 넓은 피치의 센서패턴을 갖는 센서패턴영역과 상대적으로 좁은 피치의 배선패턴을 갖는 배선패턴영역으로 이루어진 메시패턴 형성단계; 및 상기 메시패턴 금속시편을 이용하여, 상기 배선패턴영역 중 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 상기 센서패턴영역 중 전극으로 활성화되는 센서전극을 형성하는 전극 형성단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법을 기술적 요지로 한다.-
公开(公告)号：WO2023068555A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2022/013600
申请日：2022-09-13
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 스텐실 제조방법에 관한 것으로서, 미세 인쇄 패턴에 대응되는 스텐실 홀과; 상기 스텐실 홀을 가로지르며 스텐실 홀 높이보다 작은 높이로 형성되어 스텐실 홀 형상을 지지하는 브리지를; 포함하여 구성되는 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 스텐실 제조방법으로서, 유리 기판 상층의 Cr 박막에 상기 브리지 패턴을 구현시킨 브리지 패턴 제작용 크롬 마스크 상단에 감광제를 도포하고, 상기 감광제 상단에 스텐실 홀 패턴에 형성된 스텐실 홀 제작용 포토마스크를 올리는 a 단계; 상측에서 자외선 노광하는 상단노광 후, 상기 감광제에 상부에 스텐실 홀 패턴을 감광시킨 후, 스텐실 홀 제작용 포토마스크를 제거하는 단계; 하측에서 자외선 노광하는 하단 노광 후, 상기 감광제에 하부에 브리지 패턴을 감광시키는 단계; 상기 감광제를 현상하여 유리 기판 상층의 Cr 박막에, 저부에 브리지가 음각 형성된 양각 스텐실 홀 패턴을 형성시키는 단계; 상기 감광제 스텐실 패턴에 금속도금 전주공정을 실행하여 금속 도금층을 형성시키는 단계; 상기 금속 도금층을 분리하여 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 스텐실 마스크를 획득하는 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2022270685A1
公开(公告)日：2022-12-29
申请号：PCT/KR2021/013346
申请日：2021-09-29
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 면상발열체 및 면상발열체 제조방법에 관한 것으로서, 상기 면상발열체는 기판의 상측에 메쉬 패턴 형상으로 형성되는 발열부를 포함하여 구성되는 면상 발열체에 관한 것으로서, 상기 메쉬 패턴 형상이 반복 주기를 가지는 곡선으로 된 위사 패턴과, 반복 주기를 가지는 곡선으로 된 경사 패턴이 교차되어 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하여, 면상발열체를 투명하게 제작하며, 스타버스터 현상이 없으면서 면저항을 설계에 따라 정할 수 있는 면상발열체 및 면상발열체 제조방법이 제공되는 이점이 있다.
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公开(公告)号：WO2017039129A1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：PCT/KR2016/006519
申请日：2016-06-20
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/041
Abstract: 본 발명은 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 전극으로 활성화되는 센서전극을 1회적 공정에 의하여 함께 구현함으로써, 전극물질의 충진 특성 및 배선전극과 센서전극의 정렬 작업 특성을 동시에 만족할 수 있는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 제1위상전이마스크와, 상기 제1위상전이마스크와 직교된 방향으로 패턴이 구현된 제2위상전이마스크를 준비하는 위상전이마스크 준비단계; 기판 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제1위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 패턴이 일방향으로 형성된 일방향패턴 금속시편을 형성하는 일방향패턴 형성단계; 상기 일방향패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제2위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 메시패턴이 형성된 메시패턴 금속시편을 형성하되, 상대적으로 넓은 피치의 센서패턴을 갖는 센서패턴영역과 상대적으로 좁은 피치의 배선패턴을 갖는 배선패턴영역으로 이루어진 메시패턴 형성단계; 및 상기 메시패턴 금속시편을 이용하여, 상기 배선패턴영역 중 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 상기 센서패턴영역 중 전극으로 활성화되는 센서전극을 형성하는 전극 형성단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법을 기술적 요지로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造具有布线电极的透明电极的方法，更具体地说，涉及一种具有布线电极的透明电极的制造方法，该方法一次性实现了块布线电极 其中一个或多个要作为电极被激活的布线电极被电耦合，以及作为电极被激活的传感器电极，从而能够实现电极材料的填充特性和布线电极和传感器的对准作业特性 电极要满足。 本发明的主题是一种制造具有布线电极的透明电极的方法，包括：相移掩模制备步骤，准备第一相移掩模和第二相移掩模，所述相移掩模具有沿正交方向 第一相移掩模; 单向图案形成步骤，通过用光敏剂涂布基板的上部，在其上放置第一相移掩模，然后进行曝光，形成具有单向形成图案的单向图案金属样品 电镀; 网格图案形成步骤，通过用光敏剂涂覆单向图案金属样品的上部，在其上放置第二相移掩模，然后进行曝光和电镀，形成具有网状图案的网格图案金属样品 由具有相对较宽间距的传感器图案的传感器图案区域和具有相对较窄间距的布线图案的布线图案区域组成的网格图案; 以及电极形成步骤，其中形成块布线电极，其中一个或多个要作为电极被激活的布线电极电耦合，从所述布线图案区域和传感器电极到所述传感器图案区域作为电极被激活， 使用网格图金属样品。
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公开(公告)号：KR1020170033530A
公开(公告)日：2017-03-27
申请号：KR1020150131355
申请日：2015-09-17
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본체; 상기본체에양 단이단차를갖게결합되는경사회전축; 상기경사회전축에회전력을제공하는모터부; 상기본체의내부또는외부에서공급되는액상도포제를분사하는노즐유닛;를포함하는코팅장치를제공한다.
Abstract translation: 身体; 倾斜的旋转轴，连接到主体以在两端处具有台阶; 马达单元，用于向倾斜旋转轴提供旋转力; 以及用于喷射从主体的内部或外部供应的液体涂布剂的喷嘴单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101641144B1
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：KR1020140109455
申请日：2014-08-22
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
Abstract: 본발명은터치패널용투명전극제조방법에관한것으로, 보다상세하게는터치패널의감지전극및 배선전극의제조공정을단순화시킨터치패널용투명전극제조방법에관한것이다. 특히, 본발명에서는상대적으로작은선폭의감지전극과큰 선폭을갖는배선전극을 1회적공정에의하여간단하게제작할수 있는터치패널용투명전극제조방법을제공하고자한다. 이를위해본 발명에서는위상마스크를이용하여, 위상마스크의돌출된패턴부분과함몰된패턴부분이만나는경계부에대한패터닝을수행하되, 위상마스크상부에광투과조절층을위치시켜투과도조절을통해선폭을조절하도록구성된다.
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公开(公告)号：KR1020140074463A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：KR1020120142434
申请日：2012-12-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B5/30
CPC classification number: G02B5/3058 , C08J5/18 , G02B1/04 , G02B1/12 , G02F1/133536 , G02F2001/133548
Abstract: The present invention relates to a wire grid polarizer, and a device and a method for manufacturing the same. More specifically, the wire grid polarizer is manufactured in a structure of simple and high production efficiency by using a mold having nanopatterns and the electrocast plating process. The method for manufacturing a wire grid polarizer includes the steps of: forming resin patterns on the metal layer surface of a substrate with a flat mold or a cylindrical mold on which nanopatters are processed, and a polymer material which is cured by ultraviolet rays or heat; forming plating patterns between the resin patterns by using the electrocast plating process; and adhering and transferring the resin patterns and the plating patterns to a transparent adhesive of a flexible substrate, thereby manufacturing a wire grid polarizer by consecutive processes and remarkably reducing the manufacturing time and production costs.
Abstract translation: 线栅偏振器及其制造方法技术领域本发明涉及线栅型偏振器及其制造方法。 更具体地，线栅偏振器通过使用具有纳米图案的模具和电子电镀工艺以简单且高生产效率的结构制造。 线栅型偏振器的制造方法包括以下步骤：在平坦的模具或圆柱形模具上在基板的金属层表面上形成树脂图案，在该模具上加工纳米颗粒，以及通过紫外线或热固化的聚合物材料 ; 通过电镀方法在树脂图案之间形成电镀图案; 并将树脂图案和电镀图案粘合并转印到柔性基板的透明粘合剂上，从而通过连续的工艺制造线栅偏振器，并且显着地减少制造时间和生产成本。
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公开(公告)号：KR101385976B1
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：KR1020120095459
申请日：2012-08-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법에 관한 것으로서, 노광 공정 없이 저렴한 공정 비용으로 나노-마이크로 복합 패턴 형성용 몰드를 제조할 수 있는 방법을 제공하는데 그 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 제품 표면에 나노 패턴과 마이크로 패턴을 형성하는데 이용되는 몰드의 제조 방법에 있어서, 마이크로 패턴을 갖는 몰드용 기판을 제조하는 과정; 나노 패턴을 갖는 나노 패턴 기판을 제조하는 과정; 상기 나노 패턴 기판의 나노 패턴 위에 수지를 도포한 뒤 경화시켜 나노 패턴 몰드 층을 형성하고, 상기 나노 패턴 몰드 층 위에 접착층을 적층하는 과정; 상기 나노 패턴 기판의 나노 패턴 몰드 층을 상기 접착층을 이용하여 몰드용 기판의 마이크로 패턴 위에 부착하는 과정; 및 상기 나노 패턴 기판을 나노 패턴 몰드 층으로부터 분리하여 제거함으로써 몰드용 기판 위의 마이크로 패턴 영역에 나노 패턴 몰드 층의 나노 패턴이 복합적으로 존재하는 몰드를 완성하는 과정;을 포함하는 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR101087584B1
公开(公告)日：2011-11-29
申请号：KR1020090123745
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H02K21/12 , G03F7/18 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18
Abstract: PURPOSE: A coating apparatus for a cylindrical substrate using magnetic levitation is provided to perform thin coating with high accuracy over the area of the cylindrical structure by rotating a substrate fixing unit in contactless through magnetic levitation. CONSTITUTION: A base unit(20) comprises a coil assembly. The base unit supports a substrate fixing unit from a lower part without contacting it and is rotatable. A magnetic levitating type substrate fixing unit comprises a magnetism assembly(12) which is arranged on the coil assembly. A cylindrical substrate(1) is mounted in the magnetic levitating type substrate fixture A nozzle unit(30) ejects a coating solution through a nozzle on the surface of the cylindrical substrate which is magnetically levitated and rotated.
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