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公开(公告)号：KR102241680B1
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：KR1020150123916A
申请日：2015-09-02
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/041 , G06F2203/04103
Abstract: 본 발명은 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 전극으로 활성화되는 센서전극을 1회적 공정에 의하여 함께 구현함으로써, 전극물질의 충진 특성 및 배선전극과 센서전극의 정렬 작업 특성을 동시에 만족할 수 있는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명은, 제1위상전이마스크와, 상기 제1위상전이마스크와 직교된 방향으로 패턴이 구현된 제2위상전이마스크를 준비하는 위상전이마스크 준비단계; 기판 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제1위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 패턴이 일방향으로 형성된 일방향패턴 금속시편을 형성하는 일방향패턴 형성단계; 상기 일방향패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제2위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 메시패턴이 형성된 메시패턴 금속시편을 형성하되, 상대적으로 넓은 피치의 센서패턴을 갖는 센서패턴영역과 상대적으로 좁은 피치의 배선패턴을 갖는 배선패턴영역으로 이루어진 메시패턴 형성단계; 및 상기 메시패턴 금속시편을 이용하여, 상기 배선패턴영역 중 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 상기 센서패턴영역 중 전극으로 활성화되는 센서전극을 형성하는 전극 형성단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법을 기술적 요지로 한다.-
公开(公告)号：WO2023068555A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2022/013600
申请日：2022-09-13
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 스텐실 제조방법에 관한 것으로서, 미세 인쇄 패턴에 대응되는 스텐실 홀과; 상기 스텐실 홀을 가로지르며 스텐실 홀 높이보다 작은 높이로 형성되어 스텐실 홀 형상을 지지하는 브리지를; 포함하여 구성되는 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 스텐실 제조방법으로서, 유리 기판 상층의 Cr 박막에 상기 브리지 패턴을 구현시킨 브리지 패턴 제작용 크롬 마스크 상단에 감광제를 도포하고, 상기 감광제 상단에 스텐실 홀 패턴에 형성된 스텐실 홀 제작용 포토마스크를 올리는 a 단계; 상측에서 자외선 노광하는 상단노광 후, 상기 감광제에 상부에 스텐실 홀 패턴을 감광시킨 후, 스텐실 홀 제작용 포토마스크를 제거하는 단계; 하측에서 자외선 노광하는 하단 노광 후, 상기 감광제에 하부에 브리지 패턴을 감광시키는 단계; 상기 감광제를 현상하여 유리 기판 상층의 Cr 박막에, 저부에 브리지가 음각 형성된 양각 스텐실 홀 패턴을 형성시키는 단계; 상기 감광제 스텐실 패턴에 금속도금 전주공정을 실행하여 금속 도금층을 형성시키는 단계; 상기 금속 도금층을 분리하여 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 스텐실 마스크를 획득하는 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2022270685A1
公开(公告)日：2022-12-29
申请号：PCT/KR2021/013346
申请日：2021-09-29
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 면상발열체 및 면상발열체 제조방법에 관한 것으로서, 상기 면상발열체는 기판의 상측에 메쉬 패턴 형상으로 형성되는 발열부를 포함하여 구성되는 면상 발열체에 관한 것으로서, 상기 메쉬 패턴 형상이 반복 주기를 가지는 곡선으로 된 위사 패턴과, 반복 주기를 가지는 곡선으로 된 경사 패턴이 교차되어 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하여, 면상발열체를 투명하게 제작하며, 스타버스터 현상이 없으면서 면저항을 설계에 따라 정할 수 있는 면상발열체 및 면상발열체 제조방법이 제공되는 이점이 있다.
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公开(公告)号：WO2017039129A1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：PCT/KR2016/006519
申请日：2016-06-20
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/041
Abstract: 본 발명은 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 전극으로 활성화되는 센서전극을 1회적 공정에 의하여 함께 구현함으로써, 전극물질의 충진 특성 및 배선전극과 센서전극의 정렬 작업 특성을 동시에 만족할 수 있는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 제1위상전이마스크와, 상기 제1위상전이마스크와 직교된 방향으로 패턴이 구현된 제2위상전이마스크를 준비하는 위상전이마스크 준비단계; 기판 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제1위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 패턴이 일방향으로 형성된 일방향패턴 금속시편을 형성하는 일방향패턴 형성단계; 상기 일방향패턴 금속시편 상부에 감광제를 도포한 다음, 상기 제2위상전이마스크를 위치시킨 후 노광 및 도금하여 메시패턴이 형성된 메시패턴 금속시편을 형성하되, 상대적으로 넓은 피치의 센서패턴을 갖는 센서패턴영역과 상대적으로 좁은 피치의 배선패턴을 갖는 배선패턴영역으로 이루어진 메시패턴 형성단계; 및 상기 메시패턴 금속시편을 이용하여, 상기 배선패턴영역 중 전극으로 활성화되는 배선전극이 1개 이상 전기적으로 결합된 블록배선전극과, 상기 센서패턴영역 중 전극으로 활성화되는 센서전극을 형성하는 전극 형성단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법을 기술적 요지로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造具有布线电极的透明电极的方法，更具体地说，涉及一种具有布线电极的透明电极的制造方法，该方法一次性实现了块布线电极 其中一个或多个要作为电极被激活的布线电极被电耦合，以及作为电极被激活的传感器电极，从而能够实现电极材料的填充特性和布线电极和传感器的对准作业特性 电极要满足。 本发明的主题是一种制造具有布线电极的透明电极的方法，包括：相移掩模制备步骤，准备第一相移掩模和第二相移掩模，所述相移掩模具有沿正交方向 第一相移掩模; 单向图案形成步骤，通过用光敏剂涂布基板的上部，在其上放置第一相移掩模，然后进行曝光，形成具有单向形成图案的单向图案金属样品 电镀; 网格图案形成步骤，通过用光敏剂涂覆单向图案金属样品的上部，在其上放置第二相移掩模，然后进行曝光和电镀，形成具有网状图案的网格图案金属样品 由具有相对较宽间距的传感器图案的传感器图案区域和具有相对较窄间距的布线图案的布线图案区域组成的网格图案; 以及电极形成步骤，其中形成块布线电极，其中一个或多个要作为电极被激活的布线电极电耦合，从所述布线图案区域和传感器电极到所述传感器图案区域作为电极被激活， 使用网格图金属样品。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160145952A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：KR1020150082369
申请日：2015-06-11
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본발명은마스터몰드및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는기판자체에원하는선폭과높이의패턴을형성하여패턴정밀도를향상시키며, 공정의간소화로비용절감화를달성할수 있는마스터몰드및 이의제조방법에관한것이다. 이러한본 발명은, 기판; 상기기판의상부에일정패턴으로형성되는크롬층; 및상기크롬층을포함하는기판의상부에도포된양각형감광제가선택적으로노광및 현상되어상기크롬층의상부에형성되는감광층;을포함하여이루어지는것을특징으로하는마스터몰드및 이의제조방법을기술적요지로한다.
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公开(公告)号：KR101416628B1
公开(公告)日：2014-07-08
申请号：KR1020120142434
申请日：2012-12-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B5/30
Abstract: 본 발명은 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 나노패턴을 갖는 금형 및 전주 도금공정을 이용하여 단순하면서도 생산 효율이 높은 구조로 제조되는 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 나노 패턴이 가공된 평판형 금형 또는 원통 금형과, 자외선 또는 열에 경화되는 고분자 재료를 구비하여, 기판의 금속층 표면에 레진 패턴을 형성함과 함께 전주 도금 공정을 이용하여 레진 패턴 사이에 도금 패턴이 형성되도록 한 후, 레진 패턴 및 금속 도금 패턴이 유연성 기판의 투명 접착제에 접착되며 전사되도록 함으로써, 연속 공정으로 와이어 그리드 편광자 제조가 가능하고, 제조 시간 및 생산 단가를 크게 줄일 수 있도록 한 와이어 그리드 편광자와 이의 제조 장치 및 방법을 제공하고자 한 것이다.-
公开(公告)号：KR1020130113552A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：KR1020120035781
申请日：2012-04-06
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G03F7/26 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/265 , B05D3/061 , G03F7/001 , H01L21/0274
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of articles having micro-patterns is provided to be able to solve the conventional process defect problem while the low cost production is possible, and to be able to reduce the failure rate and the cost, and to improve the production yield. CONSTITUTION: A manufacturing method of articles having micro-patterns is characterized in that micro-patterns (12b) distinguished by a transparency difference within a resin layer (12) on a substrate (11) are formed by causing the transparency difference between the light-irradiated part and the light-not-irradiated part by coating a photoreactive resin (12a) reacting with light on the substrate and irradiating light in a selected domain on the photoreactive resin coated on the substrate. The manufacturing method of articles having micro-patterns is characterized in that light is irradiated after a selective light-transmitting member (13) having a through region of a pattern layout in which light passes through is positioned on the resin coated on the substrate, or light focused by a condenser lens is directly irradiated on the desired resin domain so that light is irradiated only on the selected domain on the photoreactive resin. [Reference numerals] (AA) Ultraviolet rays
Abstract translation: 目的：提供具有微图案的制品的制造方法，以便能够在低成本生产的同时解决传统的工艺缺陷问题，并且能够降低故障率和成本，并且提高生产率 。 构成：具有微图案的制品的制造方法的特征在于，通过使基板（11）上的树脂层（12）内的透明度差异区分的微图案（12b） 通过将与光反应的光反应性树脂（12a）涂覆在基板上并在涂布在基板上的光反应性树脂上的选定域中照射光，照射部分和未照射光的部分。 具有微图形的制品的制造方法的特征在于，在具有光通过的图案布局的通过区域的选择性透光构件（13）位于涂覆在基板上的树脂上之后照射光，或 由聚光透镜聚焦的光直接照射在所需的树脂结构域上，使得仅在光反应性树脂上的选择的区域上照射光。 （附图标记）（AA）紫外线
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公开(公告)号：KR1020120076805A
公开(公告)日：2012-07-10
申请号：KR1020100138525
申请日：2010-12-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/68 , H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: H02K7/09 , H02K16/00 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70775 , G03F9/7003 , H01L21/02027 , H01L21/0274
Abstract: PURPOSE: A cylindrical magnetic levitation stage is provided to directly process a pattern of nanometer size on the cylinder surface of large size by actively controlling the location of a cylinder with an error of the nanometer size. CONSTITUTION: A cylinder movable unit is composed of a rotary cylinder movable unit(110b) and a linear transfer cylinder movable unit(110a). A base unit supports the cylinder movable unit which can be rotated without contact. The base unit comprises electromagnet arrangement bodies(122a, 123a, 122b, 123b). A horizontal magnetic levitation auxiliary unit(140) controls the horizontal direction location of a cylinder mold and the cylinder movable unit. The horizontal magnetic levitation auxiliary unit comprises an electromagnet arrangement body(141).
Abstract translation: 目的：提供圆柱形磁悬浮台，通过主动控制圆柱体的位置，以纳米尺寸的误差直接处理大尺寸圆柱体表面的纳米尺寸图案。 构成：缸体可动单元由旋转圆筒可动单元（110b）和直线传动滚筒活动单元（110a）构成。 基座单元支撑可旋转而不接触的气缸可动单元。 基座单元包括电磁铁排列体（122a，123a，122b，123b）。 水平磁悬浮辅助单元（140）控制气缸模具和气缸活动单元的水平方向位置。 水平磁悬浮辅助单元包括电磁体排列体（141）。
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公开(公告)号：KR1020110067237A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：KR1020090123745
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H02K21/12 , G03F7/18 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , B05D7/00 , H01L21/67709
Abstract: PURPOSE: A coating apparatus for a cylindrical substrate using magnetic levitation is provided to perform thin coating with high accuracy over the area of the cylindrical structure by rotating a substrate fixing unit in contactless through magnetic levitation. CONSTITUTION: A base unit(20) comprises a coil assembly. The base unit supports a substrate fixing unit from a lower part without contacting it and is rotatable. A magnetic levitating type substrate fixing unit comprises a magnetism assembly(12) which is arranged on the coil assembly. A cylindrical substrate(1) is mounted in the magnetic levitating type substrate fixture A nozzle unit(30) ejects a coating solution through a nozzle on the surface of the cylindrical substrate which is magnetically levitated and rotated.
Abstract translation: 目的：提供一种使用磁悬浮的圆柱形基板的涂覆装置，通过磁悬浮将基板固定单元非接触地旋转而在圆柱形结构的区域上以高精度执行薄涂层。 构成：基座单元（20）包括线圈组件。 基座单元从下部支撑基板固定单元，而不与其接触并且是可旋转的。 磁悬浮型基板固定单元包括布置在线圈组件上的磁组件（12）。 圆筒状基板（1）安装在磁悬浮式基板固定装置（A）中。喷嘴单元（30）通过喷嘴喷射在圆柱形基板的磁悬浮和旋转的表面上。
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