公开(公告)号：KR102252956B1

公开(公告)日：2021-05-17

申请号：KR1020160075700

申请日：2016-06-17

Applicant: 한국전자기술연구원

Inventor： 김형근 ,  한승호 ,  김예경 ,  서진우 ,  이상진

IPC: G02F1/155 ,  H01B1/02 ,  C08L67/03 ,  C08L69/00

Abstract: 고품질의그래핀및 투명전도성층을이용한우수한특성의고신뢰성투명기판기반전자소자용전극및 그의제조방법이제안된다. 본발명에따른투명기판기반전자소자용전극제조방법은전도성성장기판상에서그래핀을성장시키는그래핀성장단계; 그래핀층상에원자층증착공정을수행하여원자층을형성하는단계; 원자층상에투명전도성층을형성하는투명전도성층형성단계; 전도성성장기판의일부를제거하여버스전극을형성하는단계; 및버스전극을연성기판에부착하는단계;를포함한다.

公开(公告)号：KR102170863B1

公开(公告)日：2020-10-28

申请号：KR1020160039029

申请日：2016-03-31

Applicant: 한국전자기술연구원

Inventor： 김형근 ,  유세현 ,  김예경 ,  김예나

IPC: G01N21/88 ,  G01Q60/10 ,  G03H1/24