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公开(公告)号:KR102236273B1
公开(公告)日:2021-04-05
申请号:KR1020150137270A
申请日:2015-09-30
Applicant: 한국전자기술연구원
IPC: G06F3/01
CPC classification number: G06F3/016
Abstract: 발생변위는 유지되면서도 커패시턴스를 감소시켜 발생하는 전류값이 작아 제품신뢰성이 향상된 햅틱 디바이스 구동용 압전소자가 제안된다. 본 발명에 따른 햅틱 디바이스 구동용 압전소자는 압전물질을 포함하는 압전부, 압전부의 일면에 형성된 제1나선구조의 제1전극 및 압전부의 타면에 형성된 제2나선구조의 제2전극을 포함한다.
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公开(公告)号:KR102252956B1
公开(公告)日:2021-05-17
申请号:KR1020160075700
申请日:2016-06-17
Applicant: 한국전자기술연구원
Abstract: 고품질의그래핀및 투명전도성층을이용한우수한특성의고신뢰성투명기판기반전자소자용전극및 그의제조방법이제안된다. 본발명에따른투명기판기반전자소자용전극제조방법은전도성성장기판상에서그래핀을성장시키는그래핀성장단계; 그래핀층상에원자층증착공정을수행하여원자층을형성하는단계; 원자층상에투명전도성층을형성하는투명전도성층형성단계; 전도성성장기판의일부를제거하여버스전극을형성하는단계; 및버스전극을연성기판에부착하는단계;를포함한다.
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