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公开(公告)号：WO2021194032A1
公开(公告)日：2021-09-30
申请号：PCT/KR2020/014458
申请日：2020-10-22
Applicant: 한국전자기술연구원
IPC: G03F1/62 , C01B32/184
Abstract: 열부하 안전성, 높은 EUV 투과율, 우수한 화학적 내구성 및 기계적 특성을 갖는 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 및 그의 제조방법이 제안된다. 본 발명에 따른 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 제조방법은 실리콘기판 상에 금속촉매층을 형성하는 단계; 금속촉매층 상에 그래핀을 성장시켜 코어층을 형성하는 단계; 코어층 상에 제1보호층을 형성하는 단계; 제1보호층 상에 방열층을 형성하는 단계; 및 실리콘기판 측에서 금속촉매층까지 식각하여 코어층을 노출시켜, 실리콘기판-금속촉매층으로 구성된 펠리클프레임을 형성하는 단계;를 포함한다.
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