公开(公告)号：KR102225752B1

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：KR1020180109531A

申请日：2018-09-13

Applicant: 한국전자기술연구원

Inventor： 이우성 ,  양형우 ,  오혜령 ,  이규현

IPC: H01F41/28 ,  C23C18/12 ,  H01F10/20 ,  H01F41/22

CPC classification number: H01F41/28 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/1258 ,  C23C18/1291 ,  H01F10/20 ,  H01F41/22

Abstract: 외부 자극에 반응할 수 있어 고기능성을 갖는 광 감응성 페라이트 박막 및 그 제조방법이 제안된다. 본 발명에 따른 광 감응성 페라이트 박막 제조방법은 회전장치 상에 기판을 위치시키는 단계; 및 회전하는 기판 상에 원료물질을 분사하여 M-Ni-Zn 페라이트 박막을 형성하는 단계;를 포함한다.

公开(公告)号：WO2021194032A1

公开(公告)日：2021-09-30

申请号：PCT/KR2020/014458

申请日：2020-10-22

Applicant: 한국전자기술연구원

Inventor： 김형근 ,  김현미 ,  이규현 ,  김혜영

IPC: G03F1/62 ,  C01B32/184

Abstract: 열부하 안전성, 높은 EUV 투과율, 우수한 화학적 내구성 및 기계적 특성을 갖는 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 및 그의 제조방법이 제안된다. 본 발명에 따른 그래핀을 포함하는 그래핀-금속복합 펠리클 제조방법은 실리콘기판 상에 금속촉매층을 형성하는 단계; 금속촉매층 상에 그래핀을 성장시켜 코어층을 형성하는 단계; 코어층 상에 제1보호층을 형성하는 단계; 제1보호층 상에 방열층을 형성하는 단계; 및 실리콘기판 측에서 금속촉매층까지 식각하여 코어층을 노출시켜, 실리콘기판-금속촉매층으로 구성된 펠리클프레임을 형성하는 단계;를 포함한다.

公开(公告)号：KR102239950B1

公开(公告)日：2021-04-14

申请号：KR1020170109819

申请日：2017-08-30

Applicant: 한국전자기술연구원

Inventor： 이우성 ,  양형우 ,  이규현

IPC: H01F41/24 ,  H01F1/03 ,  H01F1/44 ,  H01F1/42

Abstract: 고투자율을갖는다층페라이트박막및 그의제조방법이제안된다. 본발명에따른다층페라이트박막제조방법은기판상에스핀스프레이방식으로제1페라이트층을형성하는단계, 제1페라이트층상에버퍼층을형성하는단계및 버퍼층상에스핀스프레이방식으로제2페라이트층을형성하는단계를포함하는데, 버퍼층은다층페라이트박막내부의응력을감소시킨다.

公开(公告)号：KR102225752B1

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：KR1020180109531

申请日：2018-09-13

Applicant: 한국전자기술연구원

Inventor： 이우성 ,  양형우 ,  오혜령 ,  이규현

IPC: H01F41/28 ,  H01F10/20 ,  H01F41/22 ,  C23C18/12

Abstract: 외부자극에반응할수 있어고기능성을갖는광 감응성페라이트박막및 그제조방법이제안된다. 본발명에따른광 감응성페라이트박막제조방법은회전장치상에기판을위치시키는단계; 및회전하는기판상에원료물질을분사하여 M-Ni-Zn 페라이트박막을형성하는단계;를포함한다.