광학적 스텝퍼를 이용한 금속 반도체 전계 효과 트랜지스터의 미세선폭 형성 방법
    1.
    发明公开
    광학적 스텝퍼를 이용한 금속 반도체 전계 효과 트랜지스터의 미세선폭 형성 방법 无效
    利用光学步进器形成金属半导体场效应晶体管的细线宽度的方法

    公开(公告)号:KR1019950021158A

    公开(公告)日:1995-07-26

    申请号:KR1019930029349

    申请日:1993-12-23

    Abstract: 본 발명은 금속 반도체 전계효과 트랜지스터소자의 제조방법에 관한 것으로특히 패턴전사과정에서 광학적스탭퍼를 이용하여 포토레지스트막을 2중 노광하여 미세한 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 반절연GaAs기판(1)상에 포지티브 포토레지스트막(2)을 도포하고 열처리를 한 후, 마스크(3)상의 패턴크기로부터 일정배율 축소하여 광학적 스텝퍼로 1차 노광시키는 공정과, 상기 광학적 스텝퍼의 스테이지를 횡방향으로 일정거리 이동시켜 상기 포토레지스트막(2)에 2차 노광시켜 미세한 패턴의 크기를 형성하는 공정과, 상기 포토레지스트막(2)을 현상시키는 공정을 거쳐 완성된다. 따라서 본 발명은 금속 반도체 전계효과 트랜지스터의 게이트를 형성하는데 적용되며, 또한 미세한 선폭의 배선과 HEMT의 제작과 다른 미세한 패턴을 필요로 하는 소자의 제작에 이용된다.

    코드분할다중접속시스템의 부분 병렬 간섭잡음 제거장치 및 방법
    2.
    发明授权
    코드분할다중접속시스템의 부분 병렬 간섭잡음 제거장치 및 방법 有权
    CDMA的部分并行干扰消除系统的装置和方法

    公开(公告)号:KR100343773B1

    公开(公告)日:2002-07-19

    申请号:KR1019990025032

    申请日:1999-06-28

    CPC classification number: H04L25/03057 H04L2025/03414 H04L2025/03611

    Abstract: 본발명은코드분할다중접속(CDMA : Code Division Multiple Access)시스템에서, 현재단에서의임시비트판정결과만을이용하여간섭잡음을재생하고, 이에가중치를곱한후, 수신신호에서가중재생된간섭신호를감산하여다중접속간섭(MAI : Multiple Access Interference)을감소시킴으로써성능이향상되는부분병렬간섭잡음제거장치및 방법에관한것이다. 이러한부분병렬간섭잡음제거장치는, 코드분할다중접속시스템의수신기에서, 사용자 1 내지사용자 M의수신신호들이다중화된기저대역수신신호를각 사용자마다역확산및 위상변화보상한후, 각사용자의수신신호에포함된다중간섭잡음을제거하는부분병렬간섭잡음제거장치에있어서, 상기부분병렬간섭잡음제거장치는임의의사용자 m의수신신호에포함된다중간섭잡음을반복적으로제거하는 K개의간섭잡음제거단을포함하며, 상기각각의간섭잡음제거단은, 임의의사용자 m의역확산신호로부터임시비트를판정하는검출수단과; 상기검출수단과병렬접속되고, 비트 '1'을확산및 위상변화보상한후 상기검출수단의판정결과와곱하는재생수단; 및상기검출수단의사용자 m의수신신호와해당단의신뢰도에따른가중치를이용하여, 사용자 m에대한다중간섭잡음이제거된신호를얻는감산수단을포함한다.

    이중노광에 의한 T-형 게이트의 제조방법
    5.
    发明授权
    이중노광에 의한 T-형 게이트의 제조방법 失效
    双曝光制造T型门的方法

    公开(公告)号:KR1019970007105B1

    公开(公告)日:1997-05-02

    申请号:KR1019930027214

    申请日:1993-12-10

    Abstract: A method of fabricating a T-shape gate using double exposure includes a step (a) of coating photoresist layer 2 on a semi-insulating GaAs substrate 1, firstly exposing the photoresist layer 2 using a photomask 3 on which an opaque pattern 4 is formed and optical stepper, moving the substrate 1 by a predetermined distance and secondarily exposing the photoresist layer 2 to form a fine unexposed region therein, a step (b) of developing the unexposed portion of the photoresist layer 2 to remove it, thereby forming a fine line width 9 of the photoresist layer, a step (c) of hardening the photoresist layer having the fine line width at a temperature of above 150 deg. c, to form a hardened photoresist layer 10, a step (d) of coating photoresist 11 on the hardened photoresist layer 10, the photoresist layer 11 having a pattern wider than the fine line width, the photoresist pattern having inverse-imgae slope, and exposing and developing the photoresist layer 11 using the optical stepper and photomask, a step (e) of cleaning the substrate and depositing metals 12 and 13 thereon, a step (f) of lifting off the metal layer 13 on the photoresist layer 11 by dipping the substrate in a photoresist solvent and removing the hardened photoresist layer 10 through dry etching process using oxygen plasma, thereby forming a T-shape gate 12.

    Abstract translation: 使用双重曝光制造T形栅极的方法包括在半绝缘GaAs衬底1上涂覆光致抗蚀剂层2的步骤(a),首先使用其上形成有不透明图案4的光掩模3曝光光致抗蚀剂层2 和光学步进器,将基板1移动预定距离,并且二次曝光光致抗蚀剂层2以在其中形成微细的未曝光区域;使光致抗蚀剂层2的未曝光部分显影以除去的步骤(b),从而形成微细 光致抗蚀剂层的线宽9,使在高于150度的温度下具有细线宽度的光致抗蚀剂层硬化的步骤(c) c,以形成硬化的光致抗蚀剂层10,在硬化的光致抗蚀剂层10上涂覆光致抗蚀剂11的步骤(d),具有比细线宽度更宽的图案的光致抗蚀剂层11,具有反斜率的光刻胶图案,以及 使用光学步进机和光掩模曝光和显影光致抗蚀剂层11,清洁基板并在其上沉积金属12和13的步骤(e);通过浸渍剥离光致抗蚀剂层11上的金属层13的步骤(f) 该基板在光致抗蚀剂溶剂中,并通过使用氧等离子体的干蚀刻工艺去除硬化的光致抗蚀剂层10,由此形成T形门12。

    제로비트 삽입을 이용한 길쌈 부호방법
    6.
    发明公开
    제로비트 삽입을 이용한 길쌈 부호방법 无效
    使用零位插入的转换代码方法

    公开(公告)号:KR1020010017664A

    公开(公告)日:2001-03-05

    申请号:KR1019990033318

    申请日:1999-08-13

    Inventor: 이정구 강석봉

    CPC classification number: H03M13/6375 H03M13/23 H03M13/413

    Abstract: PURPOSE: A convolution code method using zero bit insertion is provided to insert a zero bit in a designated position of a data bit to utilize the information during a viterbi decoding operation, thereby decreasing an average bit error rate. CONSTITUTION: In a step(401), a zero bit of 16 bits and an information bit of 300 bits are muxed to match a code symbol rate and a transfer symbol rate. In steps(402,403), a tail bit is attached to initialize a coder and then a convolution code is performed by a convolution coder having the code rate(R) of 1/2 and a constraint length of 5 to make the code symbol rate and the transfer symbol rate to become same. The information that the code symbol rate and the transfer symbol rate become same is utilized during a viterbi decoding process.

    Abstract translation: 目的:提供使用零位插入的卷积码方法,以在数据位的指定位置插入零位,以在维特比解码操作期间利用该信息,从而降低平均误码率。 构成:在步骤(401)中,将16比特的零比特和300比特的信息比特复用以匹配码符号速率和传送符号速率。 在步骤(402,403)中,附加尾比特以初始化编码器,然后由码率(R)为1/2并且约束长度为5的卷积编码器执行卷积码,以使代码符号率和 转移符号率变为相同。 在维特比解码处理期间利用代码符号率和传输符号率相同的信息。

    코드분할 다중접속 시스템에서 파일럿 심벌을 이용한 동기식이중 채널 큐피에스케이 송수신기의 구조
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:KR100246537B1

    公开(公告)日:2000-03-15

    申请号:KR1019970062904

    申请日:1997-11-25

    Abstract: 본 발명은 코드분할 다중접속(Code Division Multiple Access ;CDMA) 시스템에서 파일럿 심벌을 이용한 동기식 이중 채널 큐피에스케이 송수신기의 구조에 관한 것이다.
    CDMA 시스템에서 일반적으로 사용되는 동기식 변복조 방법은 칩간 간섭을 야기시키고 데이터가 변하는 순간 전송 캐리어의 위상이 급격히 변화하므로 증폭기의 비선형 특성에 따라 송수신기의 성능이 감소되며 또한 동상 신호와 직교 신호 상호간의 누화 잡음이 완전히 제거되지 않는 문제점이 있다.
    이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에서는 데이터 비트 열에 파일럿 심벌을 삽입하므로써 전체 송신 신호 크기의 변화 폭을 감소시키고 입력 정보 비트를 두 개의 채널로 분리하고 각각의 채널에 서로 다른 직교 코드를 할당하므로써 누화 잡음을 제거하므로써 전체 시스템의 오율 성능을 향상시킬 수 있는 코드분할 다중접속 시스템에서 파일럿 심벌을 이용한 동기식 이중 채널 QPSK 송수신기의 구조가 제시된다.

    코드분할다중접속시스템의 부분 병렬 간섭잡음 제거장치 및 방법
    9.
    发明公开
    코드분할다중접속시스템의 부분 병렬 간섭잡음 제거장치 및 방법 有权
    取消代码段多路访问系统的部分并行干扰的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020010004401A

    公开(公告)日:2001-01-15

    申请号:KR1019990025032

    申请日:1999-06-28

    CPC classification number: H04L25/03057 H04L2025/03414 H04L2025/03611

    Abstract: PURPOSE: An apparatus for cancelling a partial parallel interference of a code division multiple access(CDMA) system is provided to replay an interference noise by using a temporary bit decision result only, in a present stage, to multiply a weight, and to subtract a weight-replayed interference signal from receiving signals to reduce multiple access interferences(MAIs), so as to obtain a MAI-removed signal by using the bit decision result only. CONSTITUTION: A detector comprises as follows. A real number collector(104) obtains real numbers of reverse spread signals of users 'm' having maximum signal to noise ratios(SNRs). A gain controller(105) controls sizes according to reliability of signals outputted from the real number collector(104). A bit determiner(106) inputs gain-controlled signals to determine temporary bits. A player comprises as follows. A spread code multiplier(108) multiplies a bit '1' by spread codes of the users 'm' to spread the bit '1'. A molding filter(109) controls the size of a signal outputted from the spread code multiplier(108). A channel phase multiplier(110) multiplies the output signal of the molding filter(109) by channel phases of the users 'm', to reflect phase changes by channels. Multipliers(111) multiply output signals of the channel phase multiplier(110) by signals of the detector, and output receiving signals of the users 'm'. A subtracting circuit comprises as follows. Weight multipliers(112) multiply the receiving signals by weight decided according to reliability in a corresponding stage. A first adder(113) adds all the weight-multiplied receiving signals of the users 'm'. A subtracter(114) subtracts output signals of the first adder(113) from baseband received signals. Second adders(115) add the weight-multiplied receiving signals to the output signals of the subtracter(114), and obtain multiple access interference(MAI)-removed receiving signals of the users 'm'.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于消除码分多址(CDMA)系统的部分并行干扰的装置,用于通过仅使用临时位决策结果来重放干扰噪声,在目前阶段,乘以权重,并减去 来自接收信号的重放干扰信号以减少多址接入干扰(MAI),从而仅通过使用比特决策结果来获得MAI去除的信号。 构成:检测器包括如下。 实数收集器(104)获得具有最大信噪比(SNR)的用户m'的实数反向扩展信号的实数。 增益控制器(105)根据从实数收集器(104)输出的信号的可靠性来控制尺寸。 位确定器(106)输入增益控制信号以确定临时位。 玩家包括如下。 扩展码乘法器(108)将用户'm'的扩展码乘以位'1'以扩展位'1'。 模制过滤器(109)控制从扩展码乘法器(108)输出的信号的大小。 通道相位乘法器(110)将模制过滤器(109)的输出信号乘以用户m'的通道相位,以反映通过通道的相位变化。 乘法器(111)通过信号相位乘法器(110)的输出信号乘以检测器的信号,并输出用户m'的接收信号。 减法电路如下。 权重乘数(112)将接收信号乘以相应级别的可靠性所决定的权重。 第一加法器(113)将用户'm'的所有加权接收信号相加。 减法器(114)从基带接收信号中减去第一加法器(113)的输出信号。 第二加法器(115)将加权乘数接收信号添加到减法器(114)的输出信号,并获得用户m'的多址接入干扰(MAI) - 接收信号。

    코드분할다중액세스 시스템에서의 패킷 트래픽 서비스 지원 방법
    10.
    发明授权
    코드분할다중액세스 시스템에서의 패킷 트래픽 서비스 지원 방법 失效
    CDMA系统中的分组业务协助方法

    公开(公告)号:KR100211033B1

    公开(公告)日:1999-07-15

    申请号:KR1019960054094

    申请日:1996-11-14

    Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
    코드분할다중액세스 시스템에서의 패킷 트래픽 서비스 지원 방법.
    2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
    하나의 패킷 트래픽 채널을 여러 단말기 정합장치들에서 공유하여 사용하는 구조에서도 다른 사용자들에 의한 간섭 등의 영향을 줄이도록 하고자함.
    3. 발명의 해결방법의 요지
    여러 단말기 정합장치들 사이에 공유된 패킷 트래픽 채널은 사용하지 않고, 전력 제어 시도를 위하여는 기지국과 단말기 정합장치사이에 하나의 별도의 트래픽 채널을 임시로 할당하여 이를 통하여 전력 제어를 함으로써 다른 사용자에 미치는 간섭 잡음을 최소화할 수 있고, 랜덤 액세스 시도는 패킷 데이터를 가지고 패킷 트래픽 채널을 통해 직접 액세스 시도하는 대신 단말기 정합장치의 고유번호와 패킷의 크기와 같은 적은 양의 정보만을 가지고 액세스 채널을 통하여 훨씬 적은 송신 전력으로 랜덤 액세스를 시도하고, 기지국으로부터 특정 패킷 트래픽 슬롯을 할당받은 후 그 슬롯을 통하여 패킷 전송을 수행함.
    4. 발명의 중요한 용도
    CDMA에서의 패킷 트래픽 서비스 제공에 이용됨.

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