파장가변 광 필터 및 그 제조방법
    1.
    发明授权
    파장가변 광 필터 및 그 제조방법 有权
    可调波长光学滤波器及其制造方法

    公开(公告)号:KR100489801B1

    公开(公告)日:2005-05-16

    申请号:KR1020020078443

    申请日:2002-12-10

    Abstract: 본 발명은 패브리-패럿 구조의 능동형 파장가변 광 필터에 관한 것이다. 본 발명은, 실리콘막 및 산화막이 순차적으로 다층 적층되고 최상부에 실리콘막이 적층된 형태의 하부 거울과, 상기 하부 거울과 소정 거리 이격되어 실리콘막 및 산화막이 순차적으로 다층 적층되고 최상부에 실리콘막이 적층된 형태의 상부 거울과, 상기 하부 거울 및 상기 상부 거울을 반도체 기판에 연결하여 지지하기 위한 연결 수단 및 상기 하부 거울 및 상기 상부 거울 사이의 간극을 정전력으로 제어하기 위한 전극패드를 포함하는 파장가변 광 필터 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 실리콘막 및 산화막의 다층 구조로 이루어진 상부 및 하부 거울을 정전력에 의하여 미소하게 구동함으로써 입사광에 대한 투과광 파장을 선택적으로 송출할 수가 있다.

    파장 의존성을 조절할 수 있는 가변 감쇠기
    2.
    发明公开
    파장 의존성을 조절할 수 있는 가변 감쇠기 失效
    可变衰减器可控制波长依赖性

    公开(公告)号:KR1020040042989A

    公开(公告)日:2004-05-22

    申请号:KR1020020070965

    申请日:2002-11-15

    Abstract: PURPOSE: A variable attenuator capable of controlling a wavelength dependency is provided to overcome the alignment problem as well as to remove the insertion loss generated during the integration of the wavelength selection filter and the optical attenuator. CONSTITUTION: A variable attenuator capable of controlling a wavelength dependency includes at least two reflecting mirrors(13,14) and a plurality of driving units(15,16). The reflecting mirrors(13,14) are installed in the middle of the optical waveguide or the optical fiber(11,12) and are arranged in parallel to each other with inclining at a predetermined angle with respect to an optical axis. And, each of the plurality of driving units(15,16) is connected to the reflecting mirrors(13,14) and is capable of rotatably driving the reflecting mirrors(13,14) with respect to the vertical or horizontal axis.

    Abstract translation: 目的:提供一种能够控制波长依赖性的可变衰减器,以克服对准问题,并消除在波长选择滤波器和光衰减器的积分期间产生的插入损耗。 构成:能够控制波长依赖性的可变衰减器包括至少两个反射镜(13,14)和多个驱动单元(15,16)。 反射镜(13,14)安装在光波导或光纤(11,12)的中间,并且相对于光轴以预定角度倾斜地彼此平行地布置。 并且,多个驱动单元(15,16)中的每一个连接到反射镜(13,14),并且能够相对于垂直轴或水平轴可旋转地驱动反射镜(13,14)。

    열구동 파장가변 필터
    3.
    发明授权
    열구동 파장가변 필터 失效
    热致振动波长可调滤光片

    公开(公告)号:KR100533535B1

    公开(公告)日:2005-12-06

    申请号:KR1020030079987

    申请日:2003-11-13

    CPC classification number: G02B6/29358 G02B6/29395

    Abstract: 본 발명은 미소기전집적시스템(MEMS: Micro-Electro-Mechanical System) 형태의 파장가변 필터에 관한 것으로, 광축이 정렬된 두 개의 광섬유 혹은 광 도파로, 상기 광섬유 혹은 광 도파로 앞단에서 빛을 모아주는 두 개의 렌즈, 하나의 기판에 형성된 두 개 혹은 그 이상의 반사경, 적어도 하나의 상기 반사경을 지지하는 열구동체를 포함하며, 전류의 흐름에 따른 열구동체의 열팽창에 의해 상기 반사경이 구동된다. 반사경들이 하나의 기판에 모두 형성되므로 서로 다른 기판에 형성된 반사경을 조립하는 구조에 비하여 제작 과정이 간단하고 초기 공진 파장을 정밀하게 조절할 수 있으며, 열구동체에 직접 전류를 흘려 열팽창시키므로 적은 소모 전력으로 구동이 가능하다. 또한, 반사경을 움직이는 데 정전력을 이용하지 않으므로 반사경들 사이의 고착 현상이 일어나지 않아 정전구동에 의한 파장가변 필터에 비하여 더 넓은 범위의 파장가변이 가능하며, 평면 형태의 반사경이 서로 평행하게 배열되므로 광정렬이 쉽고 선폭이 일정하며 삽입 손실이 적다.

    파장 의존성을 조절할 수 있는 가변 감쇠기
    4.
    发明授权
    파장 의존성을 조절할 수 있는 가변 감쇠기 失效
    具有可变波长依赖性的可变光学衰减器

    公开(公告)号:KR100490754B1

    公开(公告)日:2005-05-24

    申请号:KR1020020070965

    申请日:2002-11-15

    Abstract: 특정 파장을 선택하여 투과시키는 파장 가변 광 필터 기능과 광 투과량을 연속적으로 조절하는 광 감쇠기 기능을 갖는 본 발명의 가변 광 감쇠기는 광도파로 또는 광섬유의 중간에 설치되며, 광축에 기 설정된 각도로 서로 평행하게 배열된 적어도 두 개 이상의 반사경과, 각각의 반사경들에 연결되어 반사경들을 광축에 평행 및 수직한 방향으로 전후진 구동 혹은 상기 광축에 수직 및 수평한 축을 중심으로 회전 구동시키는 구동부들을 포함한다.
    본 발명의 가변 광 감쇠기는 파장 가변 광 필터 기능과 광 감쇠기 기능을 동시에 갖기 때문에 종래의 파장 선택 필터와 광 감쇠기를 별도로 집적함으로써 발생하는 삽입손실과 광 정렬상의 문제점을 해결할 수 있다.
    또한, 본 발명은 하나의 소자로 파장 가변 광 필터 기능과 광 투과량을 연속적으로 조절하는 광 감쇠기 기능을 구현함으로써, 광 감쇠기를 사용하는 시스템을 소형화시킬 수 있는 효과가 있다.

    파장가변 광 필터 및 그 제조방법
    5.
    发明公开
    파장가변 광 필터 및 그 제조방법 有权
    可变波长光学滤波器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020040050586A

    公开(公告)日:2004-06-16

    申请号:KR1020020078443

    申请日:2002-12-10

    Abstract: PURPOSE: A variable wavelength optical filter and its fabrication method are provided, which have a Fabry-Perot structure using a mirror of high reflectivity stacked with a silicon film and an oxide film. CONSTITUTION: A bottom mirror(180) is formed by stacking silicon film and oxide film in sequence and a silicon film is stacked on the uppermost layer. A top mirror(182) is separated from the bottom mirror and is formed by stacking silicon films and oxide films in sequence, and a silicon film is stacked on the uppermost layer. A connection unit(155) connects the bottom mirror and the top mirror to a semiconductor substrate(100). And electrode pads(140,142) control a gap between the bottom mirror and the top mirror with electrostatic force.

    Abstract translation: 目的:提供一种可变波长光学滤波器及其制造方法,其具有使用层叠有硅膜和氧化物膜的高反射率的镜面的法布里 - 珀罗结构。 构成:依次层叠硅膜和氧化膜形成底镜(180),在最上层层叠硅膜。 顶镜(182)与底镜分离,依次层叠硅膜和氧化膜形成,在最上层层叠硅膜。 连接单元(155)将底部反射镜和顶部反射镜连接到半导体衬底(100)。 并且电极焊盘(140,142)利用静电力来控制底部反射镜和顶部反射镜之间的间隙。

    수직 방향 가속도 측정 장치
    6.
    发明授权
    수직 방향 가속도 측정 장치 有权
    垂直加速度计装置

    公开(公告)号:KR100986221B1

    公开(公告)日:2010-10-08

    申请号:KR1020080056396

    申请日:2008-06-16

    CPC classification number: G01P15/125

    Abstract: 본 발명은 수직 방향 가속도 측정 장치에 관한 것이다.
    본 발명에 따르면 기판, 상기 기판과 분리되며 가동하는 질량추, 상기 질량추의 상단에 일정한 방향으로 형성되는 복수의 가동 전극판, 상기 질량추의 상단에 형성되며 상기 가동 전극판을 지지하는 가동 전극판 지지부, 상기 기판의 상단에 형성되는 고정체, 상기 고정체와 결합하며 상기 질량추의 상단과 인접하여 형성되는 고정 전극판 지지부, 상기 고정 전극판 지지부에 의해 지지되며 상기 가동 전극판과 평행하게 대면하도록 배열되는 복수의 고정 전극판 및 상기 고정체 및 상기 가동 전극판 지지부를 연결하는 연결 스프링을 포함하는 수직 방향 가속도 측정 장치를 제공할 수 있다.
    가속도 측정, 수직 방향

    파장가변 필터
    7.
    发明授权
    파장가변 필터 失效
    波长可调滤光片

    公开(公告)号:KR100595999B1

    公开(公告)日:2006-07-07

    申请号:KR1020030094749

    申请日:2003-12-22

    CPC classification number: G02B26/001 G02B2006/12109

    Abstract: 본 발명은 파브리-페로 형태의 파장가변 필터에 관한 것으로, 하부 반사경, 하부 반사경 상부에 광축이 일치되도록 위치된 상부 반사경, 하부 반사경 상부에 위치되며 양측 종단부가 스페이서를 통해 하부 반사경에 고정된 구동체, 구동체의 양측 종단부에 각각 형성된 전극들, 구동체의 중앙부와 상부 반사경을 연결하는 막대구조체, 막대구조체 양측의 하부 반사경에 스페이서를 통해 각각 고정된 고정수단들, 막대구조체와 고정수단들을 연결하며 회전축 역할을 하는 탄성체들을 포함한다. 열팽창이나 전자기력, 혹은 외부의 힘에 의해 구동체의 휨이 발생되면, 탄성체를 회전축으로 지렛대 역할을 하는 막대구조체의 반대편에 연결된 반사경이 구동된다. 따라서 파장가변 범위가 기존보다 넓고 낮은 전력으로 구동할 수 있다. 또한, 두 반사경이 가까워지는 방향과 멀어지는 방향으로 양방향 구동이 가능하며, 구동체와 반사경이 분리되어 있어 전류에 의한 빛의 흡수 및 굴절률 변화가 최소화된다.
    파장가변 필터, 반사경, 고정수단, 구동체, 지렛대

    전자기력에 의해 양방향으로 구동되는 파장가변 필터
    8.
    发明公开
    전자기력에 의해 양방향으로 구동되는 파장가변 필터 失效
    用于通过使用电磁力执行双向驾驶操作的变化过滤器,关于根据电流方向改变电磁方向

    公开(公告)号:KR1020040097460A

    公开(公告)日:2004-11-18

    申请号:KR1020030029763

    申请日:2003-05-12

    CPC classification number: G02B6/29358 G02B6/29389 G02B6/29395 G02B6/32

    Abstract: PURPOSE: A variable wavelength filter for performing a bidirectional driving operation by using electromagnetic force is provided to change direction of electromagnetic force according to the current direction by using a plurality of permanent magnets or a plurality of electromagnets. CONSTITUTION: Two optical fibers or two optical waveguides(11,12) are arrayed by optical axes thereof. A plurality of lenses(21,22) for receiving and transmitting beams are installed between the optical fibers or the optical waveguides. A plurality of reflectors(31,32) are installed at opposite sides of a pneumatic layer between the lenses. A plurality of elastic members(41,42) are used for supporting the reflectors. A plurality of spacers(71,72) are used for maintaining a gap between the reflectors. A conductive pattern(51) is used for applying the current to the reflectors and the elastic members. A plurality of electrode parts(61,62) are connected to both ends of the conductive pattern. A plurality of permanent magnets or a plurality of electromagnets(81,82) are used for forming the magnetic field to the horizontal direction to the reflectors.

    Abstract translation: 目的:提供一种通过使用电磁力进行双向驱动操作的可变波长滤波器,通过使用多个永久磁铁或多个电磁铁来改变与电流方向相对应的电磁力的方向。 构成:两个光纤或两个光波导(11,12)由其光轴排列。 用于接收和发射光束的多个透镜(21,22)安装在光纤或光波导之间。 多个反射器(31,32)安装在透镜之间的气动层的相对侧。 多个弹性构件(41,42)用于支撑反射器。 多个间隔件(71,72)用于保持反射器之间的间隙。 导电图案(51)用于将电流施加到反射器和弹性部件。 多个电极部分(61,62)连接到导电图案的两端。 使用多个永磁体或多个电磁体(81,82)来形成与反射器的水平方向的磁场。

    수직 방향 가속도 측정 장치
    9.
    发明公开
    수직 방향 가속도 측정 장치 有权
    垂直加速度计的装置

    公开(公告)号:KR1020090130671A

    公开(公告)日:2009-12-24

    申请号:KR1020080056396

    申请日:2008-06-16

    CPC classification number: G01P15/125

    Abstract: PURPOSE: A vertical acceleration measuring system is provided to prevent malfunction by removing the change of whole capacitance through offsetting. CONSTITUTION: A fixture(601) supports a fixing part and a moving part. A connection spring(617) connects the fixture and an operational electrode plate support part(615). The connection spring supports the elasticity to the moving part. The connection spring transmits current to the operational electrode plate. The operational electrode plate supporting part supports a first operational electrode plate(603). The operational electrode plate supporting part is made of conductive materials. The first operational electrode plate and the second operational electrode plate(605) measure the displacement according to the acceleration. The first and the second operational electrode plates and the first and second fixing electrode plates(611,613) function as a parallel plate capacitor. A mass sinker(621) applies mass on the moving part.

    Abstract translation: 目的:提供垂直加速度测量系统,通过抵消整个电容的变化来防止故障。 构成:固定装置(601)支撑固定部件和移动部件。 连接弹簧(617)连接固定装置和操作电极板支撑部分(615)。 连接弹簧支撑到移动部件的弹性。 连接弹簧将电流传递到操作电极板。 操作电极板支撑部件支撑第一操作电极板(603)。 操作电极板支撑部分由导电材料制成。 第一操作电极板和第二操作电极板(605)根据加速度测量位移。 第一和第二操作电极板以及第一和第二固定电极板(611,613)用作平行板电容器。 质量沉降片(621)在移动部件上施加质量。

    전자기력에 의해 양방향으로 구동되는 파장가변 필터
    10.
    发明授权
    전자기력에 의해 양방향으로 구동되는 파장가변 필터 失效
    可通过电磁力双向致动的波长可调滤波器

    公开(公告)号:KR100489810B1

    公开(公告)日:2005-05-17

    申请号:KR1020030029763

    申请日:2003-05-12

    CPC classification number: G02B6/29358 G02B6/29389 G02B6/29395 G02B6/32

    Abstract: 본 발명은 외부 자기장에 대해 수직 방향으로 흐르는 전류의 방향에 따라 전자기력의 방향이 바뀌는 원리를 이용하여 두 반사경 사이의 거리가 가까워지는 방향과 멀어지는 방향으로 구동되도록 한 파장가변 필터에 관한 것이다. 본 발명의 파장가변 필터는 한쪽 방향으로만 구동되는 기존의 파장가변 필터와 동일한 기계적 구조 및 파장가변 범위을 필요로 하는 경우에는 필터 구동에 필요한 힘을 절반으로 낮추고 고착현상이 발생할 가능성을 줄일 수 있으며, 같은 구동력으로 동일한 파장가변 범위를 구현하는 경우에는 공진 주파수를 높게 하여 소자의 구동 시간을 줄일 수 있다. 또한 정전기력으로 구동되는 구조에 비하여 낮은 전압으로 구동이 가능하다.

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