公开(公告)号：KR1020040034175A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：KR1020020064259

申请日：2002-10-21

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 엄용성 ,  박흥우 ,  이종현 ,  윤호경 ,  최병석

IPC: H01L31/12

CPC classification number: G02B6/3582 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/3584

Abstract: PURPOSE: A silicon optical bench for the packaging of an optical switch device, an optical switch package using the same, a manufacturing method thereof are provided to be capable of exactly carrying out an aligning process between the optical switch device, a light input part, and a light output part. CONSTITUTION: A silicon optical bench(100) includes a silicon substrate(110). At this time, the silicon substrate includes the first region for loading an optical switch device, the second region located at the first side of the first region for forming a light input part, and the third region located at the second side of the first region for forming a light output part. A vacant space(120) is formed through the silicon substrate at the first region. A plurality of grooves(131,132,133) formed on the silicon substrate at the second and third region for loading a lens and an optical fiber.

Abstract translation: 目的：提供一种用于光开关器件封装的硅光学台，使用其的光开关封装件及其制造方法，以能够精确地执行光开关器件，光输入部件， 和光输出部。 构成：硅光学台（100）包括硅衬底（110）。 此时，硅衬底包括用于加载光开关器件的第一区域，位于第一区域的第一侧的第二区域，用于形成光输入部分，第三区域位于第一区域的第二侧 用于形成光输出部分。 在第一区域通过硅衬底形成空白空间（120）。 在第二和第三区域的硅衬底上形成用于加载透镜和光纤的多个凹槽（131,132,133）。

公开(公告)号：KR1020040005238A

公开(公告)日：2004-01-16

申请号：KR1020020039726

申请日：2002-07-09

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 문종태 ,  이종현 ,  박흥우

IPC: H01L21/60

CPC classification number: H01L24/27 ,  H01L2224/11 ,  H01L2224/1308 ,  H01L2224/2908 ,  H01L2924/00012

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating an Au-Sn solder layer and an Au-Sn solder bump is provided to simplify a fabrication process and reduce a manufacturing cost by depositing an Au layer and an Sn layer and performing a heat treatment process. CONSTITUTION: An Au/Sn laminating structure(70) is formed by depositing Au and Sn on a metallic substance. The Au/Sn laminating structure(70) is heated under the temperature of 280 degrees centigrade. The alloy of Sn and Au is formed by using the liquefied Sn and a solid state of Au. An Au/Sn/Au laminating structure is formed by depositing Au and Sn on the metal substance and depositing Au thereon. The Au/Sn/Au laminating structure is heated under the temperature of 280 degrees centigrade. The alloy of Sn and Au is formed by using the liquefied Sn and the solid state of Au.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造Au-Sn焊料层和Au-Sn焊料凸块的方法，以通过沉积Au层和Sn层并进行热处理工艺来简化制造工艺并降低制造成本。 构成：通过在金属物质上沉积Au和Sn来形成Au / Sn层压结构（70）。 Au / Sn层压结构（70）在280摄氏度的温度下被加热。 Sn和Au的合金通过使用液化的Sn和Au的固态形成。 通过在金属物质上沉积Au和Sn并在其上沉积Au来形成Au / Sn / Au层压结构。 Au / Sn / Au层压结构在280摄氏度的温度下加热。 Sn和Au的合金通过使用液化的Sn和Au的固态形成。

公开(公告)号：KR100503411B1

公开(公告)日：2005-07-25

申请号：KR1020020039726

申请日：2002-07-09

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 문종태 ,  이종현 ,  박흥우

IPC: H01L21/60

CPC classification number: H01L24/27 ,  H01L2224/11 ,  H01L2224/1308 ,  H01L2224/2908 ,  H01L2924/00012

Abstract: 무플럭스 솔더링 공정의 솔더 재료로 주로 사용되는 Au-Sn계 합금으로 된 솔더범프 또는 솔더층의 저가격 형성 공정을 제안한다. 본 발명에서는 다층 박막금속 또는 UBM(Under Bump Metallurgy)과 같은 금속 기재 상에 Au/Sn의 2층 구조 또는 Au/Sn/Au의 3층 구조를 형성한 후, 280℃ 이상으로 가열하여 고상의 Au와 액상의 Sn을 반응시켜 Au-Sn계 솔더를 제조한다. 본 발명에 따르면, 균일한 조성을 가진 Au-Sn계 솔더층이나 솔더범프를 수-수십 초 내에 매우 신속하게 제조할 수 있다. 따라서, Au-Sn계 솔더 제조공정이 저가격화되며, 합금화 과정에서 발생할 수 있는 조성의 편차 발생을 최소화할 수 있으므로 후속 공정에서의 무플럭스 솔더 접합을 안정화시킬 수 있다.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造Au-Sn焊料层和Au-Sn焊料凸块的方法，以通过沉积Au层和Sn层并进行热处理工艺来简化制造工艺并降低制造成本。 构成：通过在金属物质上沉积Au和Sn来形成Au / Sn层压结构（70）。 Au / Sn层压结构（70）在280摄氏度的温度下被加热。 Sn和Au的合金通过使用液化的Sn和Au的固态形成。 通过在金属物质上沉积Au和Sn并在其上沉积Au来形成Au / Sn / Au层压结构。 Au / Sn / Au层压结构在280摄氏度的温度下加热。 Sn和Au的合金通过使用液化的Sn和Au的固态形成。

公开(公告)号：KR1020040024073A

公开(公告)日：2004-03-20

申请号：KR1020020055573

申请日：2002-09-13

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 엄용성 ,  이종현 ,  최병석 ,  윤호경 ,  박흥우

IPC: G02B6/42

Abstract: PURPOSE: A module for optical alignment of an optical switch device and an optical fiber is provided to align optical fiber arrangement and an optical axis of the optical switch device accurately and easily as reducing fabrication cost of the module. CONSTITUTION: A silicon optical bench(SiOB) has a number of grooves(3) formed on an upper part of edges of two sides, and has a cavity(2) on one edge, and has metal lines(5) on a bottom of the cavity. An optical fiber arrangement(8) is inserted into the groove respectively. A lens(9) is inserted into the groove between the optical fiber and the cavity respectively. And an optical switch device has a mirror aligned to the optical fiber through the lens and a bonding pad located on the cavity to contact a pad of the metal line.

Abstract translation: 目的：提供一种用于光开关器件和光纤的光学对准的模块，用于将光纤布置和光开关器件的光轴准确且容易地对准，以降低模块的制造成本。 构成：硅光学台（SiOB）具有形成在两侧边缘上部的多个凹槽（3），并且在一个边缘上具有空腔（2），并且在底部具有金属线（5） 空腔。 光纤布置（8）分别插入槽中。 透镜（9）分别插入到光纤和空腔之间的凹槽中。 并且光开关器件具有通过透镜与光纤对准的反射镜，以及位于空腔上的接合焊盘以接触金属线的焊盘。

公开(公告)号：KR100499273B1

公开(公告)日：2005-07-01

申请号：KR1020020064259

申请日：2002-10-21

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 엄용성 ,  박흥우 ,  이종현 ,  윤호경 ,  최병석

IPC: H01L31/12

CPC classification number: G02B6/3582 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/3584

Abstract: 본 발명의 실리콘 광학 벤치는, 광 스위치 소자의 패키징을 위한 실리콘 광학 벤치에 관한 것이다. 이 실리콘 광학 벤치는, 광 스위치 소자가 장착될 제1 영역, 광 입력부가 형성되도록 제1 영역의 제1 측면에 배치된 제2 영역, 및 광 출력부가 형성되도록 제1 영역의 제2 측면에 배치된 제3 영역을 구비하는 실리콘 기판으로 이루어지되, 제1 영역에는 실리콘 기판을 관통하는 빈 공간이 마련되고, 제2 영역 및 제3 영역에는 광 경로를 한정하는 렌즈 및 광섬유가 장착되도록 실리콘 기판 상부에 홈들을 배치되고, 상기 실리콘 기판의 측면들 중에서 상기 제2 영역 및 제3 영역과 반대되는 측면들의 실리콘 기판 위에는 패키징될 광 스위치 소자의 전극과 컨택되도록 배치된 복수개의 단자들을 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100476319B1

公开(公告)日：2005-03-16

申请号：KR1020020074013

申请日：2002-11-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최광성 ,  박흥우 ,  윤호경 ,  최병석 ,  엄용성 ,  이종현 ,  문종태

IPC: G02B6/42

CPC classification number: H04B10/572

Abstract: 본 발명은 광수신소자 어레이를 갖는 내장형 파장안정화 모듈 및 그 제조방법에 관한 것으로, 레이저 빔이 전면 및 후면으로 방출되는 레이저 다이오드를 갖는 내장형 파장안정화 모듈에 있어서, 후면으로 방출되는 레이저 빔을 평행화시키는 시준기와, 시준기를 통과한 레이저 빔을 두방향으로 분기시키는 빔 스플리터와, 분기된 일방향의 레이저 빔을 수신하는 제1 광수신소자와, 분기된 타방향의 레이저 빔의 특정 파장을 통과시키는 필터와, 필터를 통과한 레이저 빔을 수신하는 제2 광수신소자 어레이 및 제1 광수신소자 및 제2 광수신소자 어레이로부터 출력된 신호를 이용하여 레이저 다이오드의 출력 파장을 조절하는 제어부가 포함되고, 필터 및 제2 광수신소자 어레이는 레이저 빔의 반사 손실을 줄이기 위하여 소정 각도로 기울어져 배치되는 � �을 특징으로 한다. 따라서, 조밀한 파장 간격의 WDM 응용에 효과적으로 사용 가능한 다채널 가변 파장 광원용 내장형파장 안정화 모듈을 제조할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020040046174A

公开(公告)日：2004-06-05

申请号：KR1020020074013

申请日：2002-11-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최광성 ,  박흥우 ,  윤호경 ,  최병석 ,  엄용성 ,  이종현 ,  문종태

IPC: G02B6/42

CPC classification number: H04B10/572

Abstract: PURPOSE: An internal wavelength stabilization module having a light receiving device array is provided to reduce the reflective noise of laser beam and stabilize wavelength by tilting a filter and a photo diode to the laser beam. CONSTITUTION: An internal wavelength stabilization module having a light receiving device array includes a collimator, a beam splitter, a first light receiving device, a filter, a second light receiving device, and a controller. The collimator(110) is used for forming a parallel laser beam radiated to a rear side. The beam splitter(112) is used for branching the laser beam of the collimator to two paths. The first light receiving device is used for receiving one of the branched laser beams. The filter(122) is used for passing a particular wavelength of the branched laser beam. The second light receiving device is used for receiving the other of the branched laser beams. The controller is used for controlling an output wavelength of a laser diode. The filter and the second light receiving device are tilted at a predetermined angle to the laser beam.

Abstract translation: 目的：提供具有光接收装置阵列的内部波长稳定模块，以通过将滤光器和光电二极管倾斜到激光束来减少激光束的反射噪声并稳定波长。 构成：具有光接收装置阵列的内部波长稳定模块包括准直器，分束器，第一光接收装置，滤光器，第二光接收装置和控制器。 准直器（110）用于形成辐射到后侧的平行激光束。 分束器（112）用于将准直器的激光束分支成两条路径。 第一光接收装置用于接收分支激光束之一。 滤光器（122）用于通过分支激光束的特定波长。 第二光接收装置用于接收另一个分支激光束。 控制器用于控制激光二极管的输出波长。 滤光器和第二光接收装置以与激光束成预定角度倾斜。