바이오센서 기판의 패턴형성방법 및 이를 이용한바이오센서
    2.
    发明授权
    바이오센서 기판의 패턴형성방법 및 이를 이용한바이오센서 失效
    生物传感器基板的图案形成方法和使用其的生物传感器

    公开(公告)号:KR100968546B1

    公开(公告)日:2010-07-08

    申请号:KR1020080057861

    申请日:2008-06-19

    Abstract: 본 발명은 기판 상에 아민층을 형성하는 단계; 상기 아민층 상에 OHP 필름으로 구성되며 투과영역과 비투과영역을 포함하는 마스크를 위치시키는 단계; 및 상기 아민층 상에 상기 마스크를 이용하여 UV를 조사하여 선택적으로 상기 아민층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오센서 기판의 패턴 형성방법 및 이를 이용한 바이오센서에 관한 것이다.
    인쇄, 패터닝, 고분자, 폴리에틸렌이민, 바이오 물질, 셀, 고분자, 고정화

    바이오센서 기판의 패턴형성방법 및 이를 이용한바이오센서
    3.
    发明公开
    바이오센서 기판의 패턴형성방법 및 이를 이용한바이오센서 失效
    生物传感器基板的图案形成方法和使用其的生物传感器

    公开(公告)号:KR1020090131885A

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:KR1020080057861

    申请日:2008-06-19

    CPC classification number: G01N33/4875 H01L21/0271

    Abstract: PURPOSE: A method for forming pattern of bio-sensor substrate is provided to selectively generate amine group when treating surface of the substrate and reduce production cost using printer and OHP film. CONSTITUTION: A method for forming a pattern of bio-sensor substrate comprises: a step of supplying a substrate; a step of forming amine layer on the substrate; a step of positioning a mask containing transmission region and non-transmission region; a step of irradiating UV on the amine layer using the mask to selectively remove amine layer; a step of preparing the substrate; and a step of forming silicon oxide layer or metal layer on the substrate.

    Abstract translation: 目的:提供一种形成生物传感器基板图案的方法,以便在处理基材表面时选择性地产生胺基,并使用打印机和OHP薄膜降低生产成本。 构成:用于形成生物传感器基板的图案的方法包括:提供基板的步骤; 在衬底上形成胺层的步骤; 定位包含透射区域和非透射区域的掩模的步骤; 使用掩模对UV层照射UV以选择性地除去胺层的步骤; 制备基材的步骤; 以及在基板上形成氧化硅层或金属层的工序。

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