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公开(公告)号：KR1020130106641A
公开(公告)日：2013-09-30
申请号：KR1020120028348
申请日：2012-03-20
Applicant: 한국전자통신연구원
Inventor： 이수재
Abstract: PURPOSE: A production method of a metal oxide thin film is provided to produce the metal oxide thin film at low temperatures by the chemical reaction among catalyst solution particles and metal oxide precursor solution particles. CONSTITUTION: A production method of a metal oxide thin film comprises the following steps: preparing a metal oxide precursor solution and a catalyst solution (S10); applying electrostatic force to the metal oxide precursor solution and the catalyst solution, and spraying metal oxide precursor solution particles and catalyst solution particles to a substrate at the same time (S20); and producing the metal oxide thin film by the chemical bonding among the metal oxide precursor solution particles and the catalyst solution particles on the substrate (S30). The metal oxide precursor solution is a sol-gel solution containing a metal oxide precursor and a solvent. The spraying step uses an electrostatic spray process. The temperature of the substrate is 120-300°C. [Reference numerals] (S10) Injecting a first solution into a first nozzle and a second solution into a second nozzle; (S20) Applying high electrostatic force between sprayer and substrate supporter to form first solution particles and second solution particles; (S30) Forming a thin film by simultaneously spraying the first and the second particles on the substrate
Abstract translation: 目的：提供金属氧化物薄膜的制造方法，通过催化剂溶液颗粒和金属氧化物前体溶液颗粒之间的化学反应在低温下制造金属氧化物薄膜。 构成：金属氧化物薄膜的制造方法包括以下步骤：制备金属氧化物前体溶液和催化剂溶液（S10）; 对金属氧化物前体溶液和催化剂溶液施加静电力，同时将金属氧化物前体溶液颗粒和催化剂溶液颗粒喷涂到基材上（S20）; 并且通过金属氧化物前体溶液颗粒与基板上的催化剂溶液颗粒之间的化学键合来制造金属氧化物薄膜（S30）。 金属氧化物前体溶液是含有金属氧化物前体和溶剂的溶胶 - 凝胶溶液。 喷涂步骤使用静电喷涂工艺。 基板的温度为120-300℃。 （附图标记）（S10）将第一溶液注入第一喷嘴，将第二溶液注入第二喷嘴; （S20）在喷雾器和基板支撑体之间施加高静电力以形成第一溶液颗粒和第二溶液颗粒; （S30）通过在基板上同时喷射第一和第二颗粒来形成薄膜
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公开(公告)号：KR101191386B1
公开(公告)日：2012-10-15
申请号：KR1020080130398
申请日：2008-12-19
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/407 , B82B1/00 , H01L21/20 , B82B3/00
CPC classification number: H01L21/02628 , G01N27/127 , H01L21/0242 , H01L21/02422 , H01L21/02565 , H01L21/02603
Abstract: 본 발명은 환경유해가스 센서에 대한 것으로서, 이 센서는 절연 기판, 상기 절연 기판 상에 형성되어 있는 금속 전극, 그리고 상기 금속 전극 상에 형성되어 있으며, 산화물 반도체 La
n+1 Ni
n O
3n+1 (n=1,2,3) 나노섬유를 포함하는 감지층을 포함한다. 따라서 산화물 반도체 La
n+1 Ni
n O
3n+1 (n=1,2,3)는 ABO
3 형의 기본 결정구조를 가지므로 구조적으로 안정하며, 산소결함에 의한 비화학량론적인 조성을 갖는 대표적인 물질로서 표면에 많은 산소결함을 갖기 때문에 산화물 표면에서 반응 가스 흡착 및 산화/환원 반응에 의해 큰 전기저항의 변화를 가질 수 있다.
산화물 반도체, 나노섬유, 가스센서, 전기방사법-
公开(公告)号：KR101067276B1
公开(公告)日：2011-09-26
申请号：KR1020080118748
申请日：2008-11-27
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 근접장 전기방사 방식의 직접 인쇄법을 이용한 미세패턴 형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 미세패턴 형성방법은 패턴 제작용 소재를 유기 용매 중에 혼합하여 전기방사 용액을 준비하는 단계; 상기 전기방사 용액을 전압이 인가된 상태로 분사 노즐로부터 토출시키는 단계; 및 분사 노즐로부터 토출된 전기방사 용액을 접지 특성을 갖는 콜렉터의 상부에 위치한 기판 표면에 부착시켜 미세패턴을 형성하는 단계를 포함하며, 여기서 분사 노즐은 테이퍼-팁 형태로 설계하여 선폭이 20㎛ 이하인 미세패턴을 형성한다.
전기방사법, 근접장, 직접인새, 인쇄회로기판, 포토레지스트-
公开(公告)号：KR1020110062216A
公开(公告)日：2011-06-10
申请号：KR1020090118868
申请日：2009-12-03
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: D01D5/0076 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: An electrospinning device and a method for manufacturing the aligned nanofiber using the same are provided to control spinning direction of the nanofiber and to fabricate aligned nanofiber. CONSTITUTION: An electrospinning device comprises: a spinning nozzle unit(100), a grounding electrode(200), a first high voltage direct current generator(300), an electric filed lens(400), a second high voltage direct current generator(500), and switching device(600). The spinning nozzle unit discharges a polymer solution which is a nanofiber ingredient. The grounding electrode is placed on an insulation board(201) for collecting spun fibers.
Abstract translation: 目的：提供一种静电纺丝装置及使用其的排列的纳米纤维的制造方法，以控制纳米纤维的纺丝方向并制造排列的纳米纤维。 一种静电纺丝装置，包括：纺丝喷嘴单元（100），接地电极（200），第一高压直流发生器（300），电场透镜（400），第二高压直流发生器（500） ）和切换装置（600）。 纺丝喷嘴单元排出作为纳米纤维成分的聚合物溶液。 接地电极放置在用于收集纺丝纤维的绝缘板（201）上。
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公开(公告)号：KR1020110055894A
公开(公告)日：2011-05-26
申请号：KR1020090112510
申请日：2009-11-20
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: B82B3/0095
Abstract: PURPOSE: A method for forming organic patterns using an electro-spinning method is provided to obtain desired patterns on a desired substrate by transferring the patterns using surface energy difference between two substrates. CONSTITUTION: Nano-scale or micro-scale wires(20) are formed on a first substrate(10) using an electro-spinning method. A second substrate(30) is arranged on the first substrate. The nano-scale or micro-scale wires are transferred from the first substrate to the second substrate using surface energy difference between two substrates. The first substrate is a conductive substrate, and the second substrate is an insulating substrate.
Abstract translation: 目的：提供使用电纺法形成有机图案的方法，以通过使用两个基板之间的表面能差传递图案来在期望的基板上获得期望的图案。 构成：使用电纺法在第一基板（10）上形成纳米级或微尺度的导线（20）。 第二基板（30）布置在第一基板上。 使用两个基板之间的表面能量差将纳米尺度或微尺度布线从第一基板转移到第二基板。 第一基板是导电基板，第二基板是绝缘基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100071618A
公开(公告)日：2010-06-29
申请号：KR1020080130398
申请日：2008-12-19
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/407 , B82B1/00 , H01L21/20 , B82B3/00
CPC classification number: H01L21/02628 , G01N27/127 , H01L21/0242 , H01L21/02422 , H01L21/02565 , H01L21/02603
Abstract: PURPOSE: An oxide semiconductor nanofiber manufacturing method for a sensor and a gas sensor using the same are provided to cancel a large variation of electric resistance due to reaction gas suction and oxidation/reduction reaction on the oxide surface. CONSTITUTION: An oxide semiconductor nanofiber manufacturing method for a sensor is as follows. Oxide semiconductor/polymer composite solution is manufactured. The oxide semiconductor/polymer composite solution is applied on a substrate. The substrate on which the oxide semiconductor/polymer composite solution is applied is thermally treated. The step of manufacturing the oxide semiconductor/polymer composite solution is as follows. The oxide semiconductor Lan+1NinO3n+ 1(n=1,2,3) nanofiber is formed. A metal oxide precursor, polymer, and solvent are taken and mixed with a predetermined weight and a volume ratio. The mixed material is stirred above a room temperature to manufacture the oxide semiconductor/polymer composite solution.
Abstract translation: 目的：提供一种用于传感器和使用其的气体传感器的氧化物半导体纳米纤维制造方法，以消除由于氧化物表面上的反应气体吸附和氧化/还原反应引起的电阻的大的变化。 构成：用于传感器的氧化物半导体纳米纤维制造方法如下。 制造氧化物半导体/聚合物复合溶液。 将氧化物半导体/聚合物复合物溶液施加在基板上。 对其上施加有氧化物半导体/聚合物复合溶液的基板进行热处理。 制造氧化物半导体/聚合物复合溶液的步骤如下。 形成氧化物半导体Lan + 1NinO3n + 1（n = 1,2,3）纳米纤维。 取金属氧化物前体，聚合物和溶剂并以预定的重量和体积比混合。 将混合材料在室温以上搅拌以制造氧化物半导体/聚合物复合溶液。
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公开(公告)号：KR1020100063608A
公开(公告)日：2010-06-11
申请号：KR1020090025688
申请日：2009-03-26
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: A capacitive environment-harmful gas sensor and a manufacturing method thereof are provided to decrease the number of processes and to ensure easy processing by forming metal electrodes and a micro thin film heater on the same plane. CONSTITUTION: A capacitive environment-harmful gas sensor comprises an insulating substrate(210), a metal electrode(200), a micro thin film heater wire(230), and an oxide detection layer(240). The metal electrode and the micro thin film heater wire are integrally formed on the same plane of the insulating substrate. The oxide detection layer is coated on the metal electrode and the micro thin film heater wire. An electric signal filtering circuit is supplied to the same plane as the metal electrode and the micro thin film heater wire. The electric signal filtering circuit prevents the distortion of electric signals due to the electrical interference of the metal electrode with the micro thin film heater wire.
Abstract translation: 目的：提供一种电容环境有害气体传感器及其制造方法，以减少工艺数量，并通过在同一平面上形成金属电极和微薄膜加热器来确保容易的加工。 构成：电容式环境有害气体传感器包括绝缘基板（210），金属电极（200），微薄膜加热丝（230）和氧化物检测层（240）。 金属电极和微薄膜加热丝一体形成在绝缘基板的同一平面上。 氧化物检测层涂覆在金属电极和微薄膜加热丝上。 电信号滤波电路被提供给与金属电极和微薄膜加热丝相同的平面。 电信号滤波电路由于金属电极与微薄膜加热丝的电干扰而防止电信号的失真。
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公开(公告)号：KR100946701B1
公开(公告)日：2010-03-12
申请号：KR1020070127778
申请日：2007-12-10
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: C04B35/4682 , C04B2235/3251 , C23C14/08 , G01N27/125
Abstract: 본 발명은 환경 가스 센서용 나노결정의 복합 산화물 박막, 이를 이용한 환경 가스 센서 및 환경 가스 센서의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 나노결정 복합 산화물 박막은 서로 독립된 결정상을 갖는 이종 산화물 나노 결정 입자로 이루어지며, 이를 구비한 환경 가스 센서는 고감도, 고선택성, 고안정성 및 저전력의 우수한 특성을 갖는다.
나노결정, 복합 산화물 박막, 환경 가스 센서-
公开(公告)号：KR100915637B1
公开(公告)日：2009-09-04
申请号：KR1020070132745
申请日：2007-12-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H05K13/00
Abstract: 본 발명은 손잡이의 일단과 결합하고 지지기판과 평행하게 결합하는 수평부, 상기 수평부의 타단에서 두 개의 가지로 분지되고 상기 분지된 두 가지 사이의 거리는 상기 지지기판의 상부에 접착된 플랙서블 기판의 수평 길이보다 더 길며, 상기 두 가지의 끝단은 분리세사로 연결되어 있는 지지기판 접촉부, 상기 수평부의 상단에 축설되는 실타래와 상기 수평부 및 지지기판 접촉부의 상단에 형성되고 상기 실타래에서 인출되는 상기 분리세사를 상기 지지기판 접촉부의 끝단으로 인도하는 복수의 도르래 및 고정구, 상기 수평부의 상단에서 상기 인출된 분리세사와 인접하게 형성되며 용제 저장통 및 상기 용제 저장통의 하단에 삽설되고 상기 인출된 분리세사와 접촉하는 용제 접촉부로 구성된 용제 인가부 및 상기 수평부의 양 측면에 축설되는 이동 바퀴로 구성된 플랙서블 기판 분리 장치를 제공할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020090059473A
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：KR1020070126345
申请日：2007-12-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/12 , G01N27/407
Abstract: A single-layered porous metal oxide sensor and a manufacturing method thereof are provided to improve the gas sensing performance of the metal oxide layer of the sensor by inserting a contact-type heating coil between the insulation diaphragm and the substrate. A single-layered porous metal oxide sensor comprises a substrate(103), multi-stepped electrodes(201) which are located apart from each other on the substrate, a bead structure formed on the substrate so that bead particles are arranged between the electrodes in a single layer, and metal oxide(104) formed on the surface of the bead structure.
Abstract translation: 提供单层多孔金属氧化物传感器及其制造方法，以通过在绝缘膜和基板之间插入接触式加热线圈来改善传感器的金属氧化物层的气体感测性能。 单层多孔金属氧化物传感器包括基板（103），在基板上彼此分离的多阶梯电极（201），形成在基板上的珠状结构，使得珠粒子布置在电极之间 单层，和形成在珠结构的表面上的金属氧化物（104）。
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