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公开(公告)号：KR100755482B1
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：KR1020050079915
申请日：2005-08-30
IPC: C07C245/10
Abstract: 본 발명은 유기 박막 트랜지스터 소자 제작에 사용될 수 있는 유기 반도체 물질인 펜타센(pentacene) 전구체과 펜타센, 이들의 제조방법 및 이들을 이용한 유기 박막 트랜지스터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 펜타센 전구체는 방향족 아진화합물과 벤진 유사체를 딜스-알더(Diels-Alder) 반응시켜 합성되며, 이렇게 얻어진 펜타센 전구체를 열분해(pyrolysis)하여 펜타센을 합성한다. 펜타센 전구체 자체는 스핀 코팅과 같은 습식 공정을 이용하여 유기 박막 트랜지스터용 반도체층을 형성할 수 있으며, 또한 펜타센은 진공 증착과 같은 건식 공정에 의해 반도체층을 형성할 수 있다.
펜타센, 펜타센 전구체, 딜스-알더 반응, 유기 반도체, 유기 박막 트랜지스터 소자-
公开(公告)号：KR1020070027939A
公开(公告)日：2007-03-12
申请号：KR1020050079915
申请日：2005-08-30
IPC: C07C245/10
Abstract: Provided are pentacene precursors, which are synthesized by a Diels-Alder reaction, have high solubility in organic solvent, and produce pentacene via a retro Diels-Alder reaction by pyrolysis without using vacuum devices. The pentacene precursor is a Diels-Alder reaction product of an aromatic azine compound and a benzyne equivalent and comprises at least one -N=N- bridge on a 2 to 4-positioned benzene ring of the following formula(I). The aromatic azine compound is selected from phthalazine, pyridazine, or tetrazine. The benzyne equivalent is selected from tetrabromobenzene, 2,3-dibromonaphthalene, or phthalic anhydride.
Abstract translation: 通过Diels-Alder反应合成的并五苯前体在有机溶剂中具有很高的溶解度，并且通过热解而不使用真空装置通过复古Diels-Alder反应产生并五苯。 并五苯前体是芳族吖嗪化合物和苯并对等物的Diels-Alder反应产物，并且在下述式（I）的2至4位苯环上包含至少一个-N = N-桥。 芳族吖嗪化合物选自酞嗪，哒嗪或四嗪。 苯并对当量选自四溴苯，2,3-二溴萘或邻苯二甲酸酐。
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公开(公告)号：KR100576719B1
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：KR1020030096220
申请日：2003-12-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L51/0545 , H01L51/0018 , H01L51/0036 , H01L51/0055 , H01L51/0068
Abstract: 본 발명의 하부 게이트형 유기박막 트랜지스터의 제조방법은, 기판상에 게이트도전막패턴을 형성하는 단계와, 기판의 노출표면 및 게이트도전막 위에 게이트절연막을 형성하는 단계와, 게이트절연막 위에 게이트도전막패턴과 중첩되는 게이트절연막의 일부표면이 노출되도록 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 단계와, 게이트절연막의 노출표면 위에 유기반도체박막을 형성하는 단계와, 유기반도체박막 위에 유기반도체박막의 일부표면을 노출시키는 보호막패턴을 형성하는 단계와, 그리고 보호막패턴을 식각마스크로 이용하여 유기반도체박막의 노출표면이 제거된 유기반도체박막패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
유기박막 트랜지스터,-
公开(公告)号：KR100521696B1
公开(公告)日：2005-10-14
申请号：KR1020030087486
申请日：2003-12-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: C23C16/00
Abstract: 시간 분할 광도움(photo assisted) 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 광을 제공하는 광도움부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号：KR100503425B1
公开(公告)日：2005-07-22
申请号：KR1020030006797
申请日：2003-02-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 저분자 유기물 박막 및 유기물 소자를 위한 증착방법과 장치에 관한 것으로, 콜드월(cold wall) 형태의 저진공 유기물 기상 증착장치 및 이를 이용한 증착방법을 제공한다. 본 발명에 따른 콜드월 형태의 저진공 유기물 기상 증착장치는 콜드월 형태의 반응 챔버를 구비하며, 유기물 소스 재료를 가열하여 유기물 소스 기상으로 만들어 주는 유기물 소스부, 유기물 소스 기상을 기판까지 운반해주는 운반가스를 주입할 수 있는 샤워 링(shower ring) 또는 파이프 형태의 운반가스부, 유기물 박막이 형성될 기판을 지지하며 그 온도를 조절할 수 있는 기판부, 잔류 유기물 부산물들이 챔버 벽면에 증착되는 것을 방지하며 자기 세척(self cleaning)이 가능하도록 온도조절이 가능한 보호부 및, 증착 반응 동안에 챔버의 전체 압력을 수 mTorr 영역에서 수백 Torr 영역까지의 저진공으로 유지할 수 있는 진공 펌프부를 포함하여 구성된다. 이러한 증착장치를 이용하면 기존의 진공 증착법보다 고압에서 표면이 매우 평탄한(smooth) 유기물 박막을 형성할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050064648A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：KR1020030096220
申请日：2003-12-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L51/0545 , H01L51/0018 , H01L51/0036 , H01L51/0055 , H01L51/0068
Abstract: 본 발명의 하부 게이트형 유기박막 트랜지스터의 제조방법은, 기판상에 게이트도전막패턴을 형성하는 단계와, 기판의 노출표면 및 게이트도전막 위에 게이트절연막을 형성하는 단계와, 게이트절연막 위에 게이트도전막패턴과 중첩되는 게이트절연막의 일부표면이 노출되도록 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 단계와, 게이트절연막의 노출표면 위에 유기반도체박막을 형성하는 단계와, 유기반도체박막 위에 유기반도체박막의 일부표면을 노출시키는 보호막패턴을 형성하는 단계와, 그리고 보호막패턴을 식각마스크로 이용하여 유기반도체박막의 노출표면이 제거된 유기반도체박막패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020050054152A
公开(公告)日：2005-06-10
申请号：KR1020030087486
申请日：2003-12-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/52 , B05D1/60 , C23C16/4485 , C23C16/45565 , C23C16/482 , Y10S261/65
Abstract: 시간 분할 광도움(photo assisted) 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 광을 제공하는 광도움부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号：KR100479269B1
公开(公告)日：2005-03-28
申请号：KR1020030006798
申请日：2003-02-04
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명의 전기유변(ER) 유체는 절연 유체에 전하를 띤 나노 크기의 전기 영동 입자가 분산되어 있는 마이크로 캡슐과, 상기 마이크로 캡슐이 분산된 절연 유체를 포함하여 이루어진다. 상기 절연 유체는 광물유, 합성유, 식물유, 또는 이들의 혼합유로 이루어질 수 있다. 상기 전기 영동 입자의 크기가 10 ~ 500nm로 이루어질 수 있다. 상기 마이크로 캡슐의 내부에 균일하게 분산되어 있는 구형의 전기 영동 나노 입자들의 전하량은 전하조절제에 의해 조절 가능하여 충분한 항복응력값을 얻을 수 있어 ER 유체의 실용적 가치를 증진시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020040070624A
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：KR1020030006798
申请日：2003-02-04
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: C10M171/001 , F16F9/532
Abstract: PURPOSE: An electrorheological fluid using a microcapsule containing electrophoresis nanoparticles and its preparation method are provided, to improve the uniformity of particle shape, to allow the charge amount of particles to be controlled and to obtain sufficient yield stress. CONSTITUTION: The electrorheological fluid comprises 50-90 vol% of an insulating fluid(300); and 10-50 vol% of a microcapsule(100) where charged electrophoresis nanoparticles(10, 30) are dispersed in the insulating fluid. Preferably the microcapsule has a size of 5-30 micrometers, and the polymer surrounding the microcapsule has a thickness of 0.1-0.3 micrometers; the electrophoresis nanoparticles have a size of 10-500 nm; and the insulating fluid is at least one selected from the group consisting of a mineral oil, a synthetic oil and a vegetable oil. The method comprises the steps of preparing nanoparticles; introducing charge to the nanoparticles to prepare electrophoresis nanoparticles; dispersing the electrophoresis nanoparticles in an insulating fluid to prepare an electrophoresis nanoparticle suspension; preparing a microcapsule from the suspension; and dispersing the microcapsule in an insulating fluid.
Abstract translation: 目的：提供使用含有电泳纳米颗粒的微胶囊的电流变流体及其制备方法，以改善颗粒形状的均匀性，从而控制颗粒的电荷量并获得足够的屈服应力。 构成：电流变流体包含50-90vol％的绝缘流体（300）; 和10-50vol％的带电电泳纳米粒子（10,30）分散在绝缘流体中的微胶囊（100）。 优选地，微胶囊具有5-30微米的尺寸，并且围绕微胶囊的聚合物的厚度为0.1-0.3微米; 电泳纳米颗粒的尺寸为10-500nm; 所述绝缘液为选自矿物油，合成油，植物油中的至少一种。 该方法包括制备纳米颗粒的步骤; 向纳米颗粒引入电荷以制备电泳纳米颗粒; 将电泳纳米颗粒分散在绝缘流体中以制备电泳纳米颗粒悬浮液; 从悬浮液中制备微胶囊; 并将微胶囊分散在绝缘流体中。
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公开(公告)号：KR1020040070623A
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：KR1020030006797
申请日：2003-02-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: PURPOSE: A cold wall type low-vacuum organic vapor deposition system for an organic thin film and an organic device and a depositing method thereof are provided to form a high-pressure organic thin film by using a carrier gas for transporting organic source vapor of a low molecular organic source to the surface of a substrate. CONSTITUTION: A substrate part(139) is installed within a process chamber(110) of a cold wall type in order to support a substrate and maintain the temperature of the substrate. An organic source part(115) is used for generating an organic source gas deposited on the surface of the substrate. A vacuum pump part(200) is used for maintaining total pressure of the process chamber under the low-vacuum state during a deposition process. A carrier gas part(300) is installed within the chamber in order to distribute uniformly the organic source vapor to the surface of the substrate.
Abstract translation: 目的：提供一种用于有机薄膜的冷壁型低真空有机气相沉积系统及其有机装置及其沉积方法，以通过使用载气输送有机源蒸气形成高压有机薄膜 低分子有机源到基底表面。 构成：衬底部分（139）安装在冷壁型处理室（110）内，以便支撑衬底并保持衬底的温度。 有机源部分（115）用于产生沉积在基板表面上的有机源气体。 真空泵部件（200）用于在沉积过程中将处理室的总压力保持在低真空状态。 载体气体部分（300）安装在腔室内，以将有机源蒸气均匀地分布到基底表面。
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